一种贴膜盘更换治具制造技术

本申请公开了一种贴膜盘更换治具，包括用于连接贴膜盘的至少两个连接件；以及用于抓握的手持件，所述连接件分设于所述手持件的两端。本申请的更换治具通过设置手持件，在更换贴膜盘时易于抓取和施加拉力，且有效避免了贴膜盘卸载过程中可能发生的脱手，使得贴膜盘的更换更加安全、便捷。便捷。便捷。

【技术实现步骤摘要】
一种贴膜盘更换治具


[0001]本申请一般涉及半导体
，具体涉及一种贴膜盘更换治具。

技术介绍

[0002]在半导体集成电路和各种微机电的制造过程中，其中一道步骤是在晶圆表面或背面贴上薄膜，以便进行后续相关的晶圆制程。操作方法为：将晶圆按规定放置在贴膜机的晶圆贴膜盘上，开启真空，晶圆被吸附固定于贴膜盘上；拉出保护膜贴合在晶圆表面；转动切刀，切刀沿晶圆周边轨迹切除未粘贴在晶圆上的保护膜。
[0003]现有的贴膜机的贴膜盘仅对应单一的晶圆尺寸，例如3寸、4寸、5寸、6寸、8寸、12寸等，当需要对不同尺寸的晶圆进行贴膜时，需要更换与晶圆尺寸相对应的贴膜盘。现行的更换方式是使用两个长螺栓连接贴膜盘(图1)，手握长螺栓取下贴膜盘，这种更换方式存在如下缺点：1)拿取不方便，易脱手，容易造成安全事故；2)贴膜盘被取下后无法水平放置，易造成贴膜盘下方基座受损，引起真空吸附不足；3)长螺栓被取下后易丢失或隐藏于不易被发现的角落；以上缺点使得贴膜盘的更换和切换十分繁琐。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请期望提供一种贴膜盘更换治具，以实现方便、快捷、安全地更换贴膜盘。
[0005]作为本申请的第一方面，本申请提供了一种贴膜盘更换治具。
[0006]作为优选，所述贴膜盘更换治具包括：
[0007]用于连接贴膜盘的至少两个连接件；以及
[0008]用于抓握的手持件，所述连接件分设于所述手持件的两端。
[0009]作为优选，所述连接件包括连接杆以及连接于所述连接杆一个端部的限位凸台，所述手持件的两端分别具有让所述连接杆穿过的安装孔，所述安装孔与所述连接杆之间设有活动间隙；
[0010]所述连接杆上设有向外延伸的挡止件，所述手持件限位于所述挡止件与所述限位凸台之间。
[0011]作为优选，所述挡止件为形成在所述连接杆上的凸起。
[0012]作为优选，所述凸起的数量为多个，环绕所述连接杆间隔设置。
[0013]作为优选，所述凸起环绕所述连接杆一周设置。
[0014]作为优选，所述挡止件为可拆卸连接在所述连接杆上的卡扣或螺母。
[0015]作为优选，所述连接杆至少与所述限位凸台相对应的另一个端部设有螺纹。
[0016]作为优选，所述限位凸台上设有用于支撑所述贴膜盘的支撑平台，所述支撑平台的横截面积大于所述限位凸台的横截面积。
[0017]作为优选，所述手持件为矩形板状结构，所述连接件对称设置在所述手持件的两端。
[0018]本申请的有益效果：
[0019]本申请的更换治具通过设置手持件，在更换贴膜盘时易于抓取和施加拉力，且有效避免了贴膜盘卸载过程中可能发生的脱手，使得贴膜盘的更换更加安全、便捷。
附图说明
[0020]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0021]图1为现有技术的贴膜盘与长螺栓的连接示意图；
[0022]图2为本申请一种实施方式的贴膜盘更换治具的侧视图；
[0023]图3为图2所示的贴膜盘更换治具的顶视图；
[0024]图4为本申请一种实施方式的连接件的结构示意图；
[0025]图5为本申请一种实施方式的凸起的结构示意图；
[0026]图6为本申请另一种实施方式的凸起的结构示意图。
具体实施方式
[0027]下面结合附图和实施例对本申请作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术，而非对该专利技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与专利技术相关的部分。
[0028]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0029]需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度、“厚度”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请的限制。
[0030]需要说明的是，在本申请的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。
[0031]需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0032]请参照图2
‑
4，示出了本申请一种优选的实施方式的贴膜盘更换治具，包括用于连接贴膜盘的至少两个连接件1和用于抓握的手持件2，所述连接件分设于所述手持件2的两端。
[0033]在使用时，使至少两个连接件1与待卸载的贴膜盘进行至少两个位点的连接，手握手持件2，向贴膜盘施加向上的拉力即可将待卸载的贴膜盘从贴膜机上取下；在安装另一尺寸的贴膜盘时，将连接件1 与待安装的贴膜盘连接，通过手持件2将贴膜盘安装在贴膜机的
相应位置；本申请通过手持件2使得更换贴膜盘时易于抓取并易于施加拉力，且不容易脱手，使得贴膜盘的更换安全便捷；此外，本申请的治具尺寸适当，在不使用时不容易丢失，被收纳后也易于找到，对工作人员带来了极大的便利。
[0034]在本申请中，贴膜盘为贴膜机上用于固定晶圆以便于在晶圆表面粘贴保护膜的台盘，其具有本领域常规贴膜盘的基本结构，如图1所示，一般包括固定环构件31和晶圆台32，固定环构件31环绕晶圆台 32一周设置，晶圆台32的上表面高于固定环构件31的上表面，在晶圆台32上表面具有若干条定位线33和若干气孔34，在晶圆台32的下表面具有基座，真空发生器通过基座与气孔34连通，其中，定位线 33用于切割保护膜时的定位；在固定环构件31上具有用于将贴膜盘3 固定在贴膜机上的安装孔，以及具有至少两个固定孔35，在现有技术中所述固定孔35用于与长螺栓4连接以进行贴膜盘1的更换，在本申请中所述固定孔35用于连接所述贴膜盘更换治具的连接件1，以进行贴膜盘1的更换。
[0035]进一步地，如图2和4所示，所述连接件1包括连接杆11以及连接于所述连接杆11一个端部的限位凸台12，所述手持件2的两端分别具有让所述连接杆11穿过的安装孔(图中未示出)，所述安装孔与所述连接杆11之间设有活动间隙；
[0036]所述连本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种贴膜盘更换治具，其特征在于，包括：用于连接贴膜盘的至少两个连接件；以及用于抓握的手持件，所述连接件分设于所述手持件的两端；所述连接件包括连接杆以及连接于所述连接杆一个端部的限位凸台，所述手持件的两端分别具有让所述连接杆穿过的安装孔，所述安装孔与所述连接杆之间设有活动间隙；所述连接杆上设有向外延伸的挡止件，所述手持件限位于所述挡止件与所述限位凸台之间；所述限位凸台上设有用于支撑所述贴膜盘的支撑平台，所述支撑平台的横截面积大于所述限位凸台的横截面积。2.根据权利要求1所述的贴膜盘更换治具，其特征在于，所述挡止件为形成在所述连...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂伟，陈志远，林育全，
申请(专利权)人：厦门通富微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：