一种带有隔热圈的单晶生长用石英管制造技术

本实用新型专利技术公开了一种带有隔热圈的单晶生长用石英管，包括隔热圈、石英管本体、石英帽、抽气接口和O型圈；隔热圈包括支撑圈和防护筒；防护筒设在支撑圈一侧，支撑圈上内环到防护筒内侧之间留有间隔，支撑圈和防护筒均由陶瓷纤维材料制备；石英管一端为敞口结构，石英帽位于石英管敞口一端内侧；隔热圈的支撑圈活动套在石英管敞口一端外侧，防护筒指向石英管敞口一端；抽气接口包括连接盖和设在连接盖上的抽气管，连接盖活动盖设在石英管敞口一端端部，O型圈密封在连接盖的侧壁与石英管侧壁之间，连接盖的侧壁位于隔热圈的防护筒与石英管侧壁之间。上述装置有效避免了O型密封圈的烧损；提高了安全性；隔热圈可以反复使用，节省了成本。成本。成本。

【技术实现步骤摘要】
O型圈位于储存槽内侧、并超出储存槽与石英管侧壁紧密贴合。
[0014]作为其中一种具体的实现方案，上述防护筒外侧与支撑圈外环之间留有间隔。这样可起到更好的火焰阻隔效果。
[0015]为了便于安装，隔热圈的支撑圈螺纹连接在石英管敞口一端外侧。这样可通过旋转的方式安装，方便快捷。
[0016]为了确保隔热效果，上述支撑圈的厚度不小于2cm。
[0017]上述支撑圈和防护筒为一体结构。这样可提高装置的稳定性，
[0018]本技术未提及的技术均参照现有技术。
[0019]本技术带有隔热圈的单晶生长用石英管，在石英管和石英帽熔合过程中，可以很好的隔绝热量，保护O型密封圈，有效避免了O型密封圈的烧损；大大降低了工人操作中的危险，提高了安全性；隔热圈可以反复使用，节省了成本；操作简便、装置结构简单、价格低廉，提高了工作效率。
附图说明
[0020]图1为本技术带有隔热圈的单晶生长用石英管的结构示意图；
[0021]图2为本技术隔热圈的安装结构示意图；
[0022]图中，1为隔热圈，11为支撑圈，12为防护筒，2为石英管本体，3为石英帽，4为抽气接口，5为O型圈，6为抽真空的方向，7为高温火焰。
具体实施方式
[0023]为了更好地理解本技术，下面结合实施例进一步阐明本技术的内容，但本技术的内容不仅仅局限于下面的实施例。
[0024]实施例1
[0025]如图1所示，一种带有隔热圈的单晶生长用石英管，包括隔热圈、石英管本体、石英帽、抽气接口和O型圈；
[0026]隔热圈包括支撑圈和防护筒；支撑圈为圆环结构，防护筒为圆筒结构；防护筒设在支撑圈一侧，支撑圈和防护筒同轴线设置，支撑圈上内环到防护筒内侧之间留有间隔，支撑圈和防护筒均由陶瓷纤维材料制备；
[0027]石英管一端为敞口结构，石英帽位于石英管敞口一端内侧；隔热圈的支撑圈活动套在石英管敞口一端外侧，防护筒指向石英管敞口一端；抽气接口包括连接盖和设在连接盖上的抽气管，连接盖活动盖设在石英管敞口一端端部，O型圈密封在连接盖的侧壁与石英管侧壁之间，连接盖的侧壁位于隔热圈的防护筒与石英管侧壁之间。
[0028]上述在O型圈于和火焰之间，安装了隔热圈，可以很好的隔绝高温火焰，保护密封圈，不会被烧坏。上述隔热圈由陶瓷纤维材料制备，陶瓷纤维材料耐高温、不燃烧、隔热效果非常好，导热系数只有0.25
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0.3w/m.k，可以确保隔热效果，避免密封圈被烧坏；支撑圈上内环到防护筒内侧之间留有间隔，也即防护筒的内径是大于支撑圈内环的直径的，这样可以将抽气接口的侧壁包在防护筒和支撑圈之间，以更好地保护密封圈。
[0029]使用时，抽气管与真空管路连通，将装料的石英管抽真空后，采用氢氧焊枪将石英管和石英帽熔合达到密封的目的，隔热圈可以有效阻挡火焰和热量达到O型圈，进而对O 型
圈起到了有效的保护作用，焊缝结束后，依次将抽气接口和隔热圈拆下即可。
[0030]实施例2
[0031]在实施例1的基础上，作了如下改进：为了提高O型圈的密封稳定性，抽气接口上连接盖内侧设有沿周向设置的储存槽，O型圈位于储存槽内侧、并超出储存槽与石英管侧壁紧密贴合。
[0032]实施例3
[0033]在实施例2的基础上，作了如下改进：如图2所示，上述防护筒外侧与支撑圈外环之间留有间隔。这样可起到更好的火焰阻隔效果。
[0034]实施例4
[0035]在实施例3的基础上，作了如下改进：为了便于安装，隔热圈的支撑圈螺纹连接在石英管敞口一端外侧。这样可通过旋转的方式安装，方便快捷。为了确保隔热效果，上述支撑圈的厚度不小于2cm。上述支撑圈和防护筒为一体结构。这样可提高装置的稳定性，
[0036]上述各例带有隔热圈的单晶生长用石英管，在石英管和石英帽熔合过程中，可以很好的隔绝热量，保护O型密封圈，有效避免了O型密封圈的烧损；大大降低了工人操作中的危险，提高了安全性；隔热圈可以反复使用，节省了成本；操作简便、装置结构简单、价格低廉，提高了工作效率。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种带有隔热圈(1)的单晶生长用石英管，其特征在于：包括隔热圈(1)、石英管本体(2)、石英帽(3)、抽气接口(4)和O型圈(5)；隔热圈(1)包括支撑圈(11)和防护筒(12)；支撑圈(11)为圆环结构，防护筒(12)为圆筒结构；防护筒(12)设在支撑圈(11)一侧，支撑圈(11)和防护筒(12)同轴线设置，支撑圈(11)上内环到防护筒(12)内侧之间留有间隔，支撑圈(11)和防护筒(12)均由陶瓷纤维材料制备；石英管一端为敞口结构，石英帽(3)位于石英管敞口一端内侧；隔热圈(1)的支撑圈(11)活动套在石英管敞口一端外侧，防护筒(12)指向石英管敞口一端；抽气接口(4)包括连接盖和设在连接盖上的抽气管，连接盖活动盖设在石英管敞口一端端部，O型圈(5)密封在连接盖的侧壁与石英管侧壁之间，连接盖的侧壁位于隔...

【专利技术属性】
技术研发人员：乔印彬，柯尊斌，王卿伟，
申请(专利权)人：中锗科技有限公司，
类型：新型
国别省市：