下载一种带有隔热圈的单晶生长用石英管的技术资料

文档序号:33040902

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本实用新型公开了一种带有隔热圈的单晶生长用石英管,包括隔热圈、石英管本体、石英帽、抽气接口和O型圈;隔热圈包括支撑圈和防护筒;防护筒设在支撑圈一侧,支撑圈上内环到防护筒内侧之间留有间隔,支撑圈和防护筒均由陶瓷纤维材料制备;石英管一端为敞口结...
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