用于测试集成电路产品的装置制造方法及图纸

技术编号:33030126 阅读:12 留言:0更新日期:2022-04-15 09:06
本揭露是关于用于测试集成电路产品的装置。根据本申请一实施例的用于测试集成电路产品的装置可包括输入端口及运动构件。运动构件可与输入端口连接。运动构件可包括第一部分;及第二部分,其与第一部分连接,第一部分经配置以带动第二部分移动,且第二部分经配置以相对于第一部分转动。本揭露提供的用于测试集成电路产品的装置可实现重力斜背式分选机的机台与测试机的测试头的自动对准,不仅提高了生产效率,而且还避免了对测试装置造成损坏。而且还避免了对测试装置造成损坏。而且还避免了对测试装置造成损坏。

【技术实现步骤摘要】
用于测试集成电路产品的装置


[0001]本专利技术涉及集成电路
,特别是涉及一种用于测试集成电路产品的装置。

技术介绍

[0002]在集成电路产品的制造过程中,需要对制造完成的集成电路产品进行测试。通常,使用测试机和重力斜背式分选机筛选出具有结构缺陷或性能不符合要求的集成电路产品。重力斜背式分选机的机台与水平表面具有一定的倾斜角度,首先需要将测试机的测试头调整为与重力斜背式分选机的机台平行,然后将重力斜背式分选机的机台上的转接板的公头与测试机上的负载板的母头对准,以将公头插入母头中,以进行后续测试。
[0003]然而,现有技术只能通过人工手段完成上述动作,这存在着诸多缺陷。一方面,测试头的重量约为100KG,重力斜背式分选机的机台的重量约为200KG,使用人工方式移动测试头和重力斜背式分选机的机台费时费力。另一方面,依靠人工经验调整测试头与重力斜背式分选机的机台,难以使二者准确地平行,而且效率低下。测试机上的负载板的母头通常是塑料材料制成,在将重力斜背式分选机的机台上的转接板的公头与测试机的负载板的母头对准过程中,由于只有母头进行限位,难以顺利地对准,导致在对准过程中母头很容易被插裂。并且,一旦重力斜背式分选机的机台与测试机的测试头之间的接触角度存在偏差,公头与母头之间的连接会很容易松动,进而导致电连接不稳定。并且,若人工移动测试机或重力斜背式分选机的力量过大会导致测试头的引脚与负载板的接触不好,且会导致引脚下陷,后续维修较为困难。再者,部分集成电路产品对公头与母头接触的要求很高,仅依靠人工手段实现上述对准,生产效率低下。
[0004]因而,业内需要一种克服上述问题的用于测试集成电路产品的装置。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供了一种用于测试集成电路产品的装置,其实现了重力斜背式分选机的机台与测试机的测试头的自动对准,提高了生产效率。
[0006]本专利技术的一实施例提供一种用于测试集成电路产品的装置,其包括:输入端口;及运动构件,其与输入端口连接,运动构件包括:第一部分;及第二部分,其与第一部分连接,第一部分经配置以带动第二部分移动,且第二部分经配置以相对于第一部分转动。
[0007]在本专利技术的另一实施例中,第一部分经配置以带动第二部分沿着用于测试集成电路产品的装置的第一方向移动,且/或沿着用于测试集成电路产品的装置的第二方向移动,第一方向垂直于第二方向。
[0008]在本专利技术的又一实施例中,第一部分包括第一臂及与第一臂相对设置的第二臂,第一臂与第二臂均包括经配置以连接至第二部分以带动第二部分移动的第一传动元件,且第一传动元件经配置以在第一臂与第二臂中移动。
[0009]在本专利技术的另一实施例中,第一传动元件为板状元件。
[0010]在本专利技术的又一实施例中,第一臂包括第二传动元件,该第二传动元件经配置以
连接至第一电动机且第二传动元件设置有第一滑块,该第一滑块经配置以在第一电动机的带动下在第二传动元件上移动。
[0011]在本专利技术的另一实施例中,第二传动元件为丝杠。
[0012]在本专利技术的又一实施例中,第一臂包括经配置以连接至第一传动元件的第二滑块,且该第二滑块经配置以在第一滑块的带动下移动。
[0013]在本专利技术的另一实施例中,第二滑块经配置以设置于第一臂内的第一轨道上,或该第二滑块经配置以设置于位于第一臂内的第一轨道上且设置于位于第一臂内的第二轨道上。
[0014]在本专利技术的又一实施例中,第二臂包括经配置以连接至第一传动元件的第三滑块。
[0015]在本专利技术的另一实施例中,第三滑块经配置以设置于第二臂内的第三轨道上,或第三滑块经配置以设置于位于第二臂内的第三轨道上且设置于位于第二臂内的第四轨道上。
[0016]在本专利技术的又一实施例中,第一部分进一步包括连接第一臂与第二臂的第三臂。
[0017]在本专利技术的另一实施例中,用于测试集成电路产品的装置进一步连接至第二部分且经配置以使第二部分相对于第一部分转动的角度调整构件,角度调整构件包括:第二电动机;及第三传动元件,其连接至第二电动机和第二部件,且经配置以在第二电动机的带动下使第二部分转动。
[0018]在本专利技术的又一实施例中,角度调整构件还包括制动元件,该制动元件经配置以在第三传动元件旋转结束后固定第三传动元件。
[0019]在本专利技术的另一实施例中,角度调整构件还包括动力元件,该动力元件经配置以连接至制动元件。
[0020]在本专利技术的又一实施例中,动力元件为气缸。
[0021]在本专利技术的另一实施例中,制动元件经配置以在动力元件处于伸出状态时释放第三传动元件,且经配置以在动力元件处于缩回状态时固定第三传动元件。
[0022]在本专利技术的又一实施例中,角度调整构件还包括连接至第三传动元件的支撑元件。
[0023]在本专利技术的另一实施例中,第二部分包括第一承载表面,该第一承载表面设置有第一测试接口及围绕第一测试接口的定位元件。
[0024]在本专利技术的又一实施例中,输入端口经配置以控制运动构件的运动。
[0025]在本专利技术的另一实施例中,用于测试集成电路产品的装置进一步包括经配置以带动第一部分沿着用于测试集成电路产品的装置的一方向移动的第三部分。
[0026]本专利技术实施例提供的用于测试集成电路产品的装置可实现重力斜背式分选机的机台与测试机的测试头的自动对准,不仅提高了生产效率,而且还避免了对测试装置造成损坏。
附图说明
[0027]图1是根据本专利技术一实施例的用于测试集成电路产品的装置和重力斜背式分选机的示意图
[0028]图2是图1所示的用于测试集成电路产品的装置的运动构件的一部分的示意图
[0029]图3是图1所示的用于测试集成电路产品的装置的角度调整构件和运动构件的第二部分的示意图
[0030]图4是图1所示的用于测试集成电路产品的装置的运动构件的第二部分和重力斜背式分选机的一部分的示意图
具体实施方式
[0031]本申请的实施例将会被详细的描示在下文中。在本申请说明书全文中,将相同或相似的组件以及具有相同或相似的功能的组件通过类似附图标记来表示。在此所描述的有关附图的实施例为说明性质的、图解性质的且用于提供对本申请的基本理解。本申请的实施例不应被解释为对本申请的限制。
[0032]如本文中所使用,术语“约”、“大体上”、“实质上”用以描述及说明小的变化。当与事件或情形键合使用时,术语可指代其中事件或情形精确发生的例子以及其中事件或情形极近似地发生的例子。举例来说,当键合数值使用时,术语可指代小于或等于数值的
±
10%的变化范围,例如小于或等于
±
5%、小于或等于
±
0.5%、或小于或等于
±
0.05%。举例来说,如果两个数值之间的差值小于或等于值的平均值的
±
10%,那么可认为两个数值“大体上”相同。
[0033]再者,为便于描述,“第一”本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于测试集成电路产品的装置,其包括:输入端口;及运动构件,其与所述输入端口连接,所述运动构件包括:第一部分;及第二部分,其与所述第一部分连接,其中所述第一部分经配置以带动所述第二部分移动,且所述第二部分经配置以相对于所述第一部分转动。2.根据权利要求1所述的用于测试集成电路产品的装置,其中所述第一部分经配置以带动所述第二部分沿着所述用于测试集成电路产品的装置的第一方向移动,且/或沿着所述用于测试集成电路产品的装置的第二方向移动,所述第一方向垂直于所述第二方向。3.根据权利要求1所述的用于测试集成电路产品的装置,其中所述第一部分包括第一臂及与所述第一臂相对设置的第二臂,其中所述第一臂与所述第二臂均包括经配置以连接至所述第二部分以带动所述第二部分移动的第一传动元件,且所述第一传动元件经配置以在所述第一臂与所述第二臂中移动。4.根据权利要求3所述的用于测试集成电路产品的装置,其中所述第一传动元件为板状元件。5.根据权利要求3所述的用于测试集成电路产品的装置,其中所述第一臂包括第二传动元件,所述第二传动元件经配置以连接至第一电动机且所述第二传动元件设置有第一滑块,所述第一滑块经配置以在所述第一电动机的带动下在所述第二传动元件上移动。6.根据权利要求5所述的用于测试集成电路产品的装置,其中所述第二传动元件为丝杠。7.根据权利要求5所述的用于测试集成电路产品的装置,其中所述第一臂包括经配置以连接至所述第一传动元件的第二滑块,且所述第二滑块经配置以在所述第一滑块的带动下移动。8.根据权利要求7所述的用于测试集成电路产品的装置,其中所述第二滑块经配置以设置于所述第一臂内的第一轨道上,或所述第二滑块经配置以设置于位于所述第一臂内的第一轨道上且设置于位于所述第一臂内的第二轨道上。9.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:周振山曹军峰陈刚叶峰尚旭涵
申请(专利权)人:日月光半导体昆山有限公司
类型:发明
国别省市:

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