人造金刚石离子溅射仪用稳压模块制造技术

本实用新型专利技术属于人造金刚石的离子溅射仪技术领域，特别涉及一种人造金刚石离子溅射仪用稳压模块，在V

【技术实现步骤摘要】
人造金刚石离子溅射仪用稳压模块


[0001]本技术属于人造金刚石的离子溅射仪
，特别涉及一种人造金刚石离子溅射仪用稳压模块。

技术介绍

[0002]特殊领域用的人造金刚石，需要通过离子溅射仪在人造金刚石外表面溅射一层特殊的材料，以达到满足特殊用途的要求。
[0003]目前的离子溅射仪一般不是真多人造金刚石领域设计、生产和制造的。人造金刚石对于溅射的要求比一般领域高。现在市面上能采购的离子溅射仪由于其使用的稳压模块收到外界干扰及电路本身的影响而不够稳定，造成不能满足人造金刚石领域的离子溅射的需要。同时现有技术中的离子溅射仪的稳压模块的电路结构比较复杂，功耗比极高因此需要设置专门的散热设备，造价相对也比较高。

技术实现思路

[0004]本技术公开了一种人造金刚石离子溅射仪用稳压模块，包括依次连接的变压电路、AC/DC电路和稳压电路，所述稳压电路包括：电阻R1～R4、电容C1、电容C3、稳压二极管VD1、继电器K、TL431型可控精密稳压电源VD2、CW317型可调式三端稳压器U1、可变电阻器RP。AC/DC电路即交直流转换电路，一般用电桥即可实现。
[0005]输入端V
in
的负极与输出端V
out
的负极直接相连；电容C1耦合于输入端V
in
的正负极之间，电容C3耦合于输出端V
out
的正负极之间；继电器K的一端通过电阻R1连接输入端V
in
的正极，另一端与TL431型可控精密稳压电源VD2的阴极连接；CW317型可调式三端稳压器U1的1脚通过可调电阻PR连接输出端V
out
的负极，2脚连接输出端V
out
的正极，3脚连接输入端V
in
的正极；电阻R2耦合于CW317型可调式三端稳压器U1的1脚和2脚之间；TL431型可控精密稳压电源VD2阳极连接输出端V
out
的负极；电阻R3耦合于TL431型可控精密稳压电源VD2的阴极和参考极之间，电阻R4耦合于TL431型可控精密稳压电源VD2的阳极和参考极之间；稳压二极管VD1的阴极与电阻R1和继电器K的公共端连接，阳极与输入端V
in
的负极连接。
[0006]上述的：电阻R1的阻值为50Ω，电阻R2的阻值为500Ω，电阻R3的阻值为5.1KΩ，电阻R4的阻值为1KΩ；电容C1的容值为2200μF，电容C3的容值为470μF；可变电阻器RP的最大阻值为5.1KΩ；稳压二极管VD1的稳定压值为24V。还包括容值为0.33μF电容C2；电容C2耦合于CW317型可调式三端稳压器U1的3脚与输入端V
in
的正极之间。
[0007]本技术的离子溅射仪的稳压模块，性能上在现有技术上能提高16.7
‑
18.8％，能满足人造金刚石领域的使用要求；同时电路结构简单，造价低，功耗低，不用单独设置散热装置。
附图说明
[0008]本技术将通过例子并参照附图的方式说明，其中：
[0009]图1是人造金刚石离子溅射仪用稳压模块的原理框图；
[0010]图2是人造金刚石离子溅射仪用稳压模块的稳压电路实施例的电路原理图。
具体实施方式
[0011]本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。
[0012]本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。
[0013]下面结合附图对本技术做进一步详细的说明。
[0014]如图1所示，是本实施例的人造金刚石离子溅射仪用稳压模块的原理框图；
[0015]图2是人造金刚石离子溅射仪用稳压模块的稳压电路实施例的电路原理图。下面结合附图1和附图2对本实施例做进一步的详述。
[0016]一种人造金刚石离子溅射仪用稳压模块，包括依次连接的变压电路、AC/DC电路和稳压电路，所述稳压电路包括：电阻R1～R4、电容C1、电容C3、稳压二极管VD1、继电器K、TL431型可控精密稳压电源VD2、CW317型可调式三端稳压器U1、可变电阻器RP。AC/DC电路即交直流转换电路，一般用电桥即可实现。
[0017]输入端V
in
的负极与输出端V
out
的负极直接相连；电容C1耦合于输入端V
in
的正负极之间，电容C3耦合于输出端V
out
的正负极之间；继电器K的一端通过电阻R1连接输入端V
in
的正极，另一端与TL431型可控精密稳压电源VD2的阴极连接；CW317型可调式三端稳压器U1的1脚通过可调电阻PR连接输出端V
out
的负极，2脚连接输出端V
out
的正极，3脚连接输入端V
in
的正极；电阻R2耦合于CW317型可调式三端稳压器U1的1脚和2脚之间；TL431型可控精密稳压电源VD2阳极连接输出端V
out
的负极；电阻R3耦合于TL431型可控精密稳压电源VD2的阴极和参考极之间，电阻R4耦合于TL431型可控精密稳压电源VD2的阳极和参考极之间；稳压二极管VD1的阴极与电阻R1和继电器K的公共端连接，阳极与输入端V
in
的负极连接。
[0018]上述的：电阻R1的阻值为50Ω，电阻R2的阻值为500Ω，电阻R3的阻值为5.1KΩ，电阻R4的阻值为1KΩ；电容C1的容值为2200μF，电容C3的容值为470μF；可变电阻器RP的最大阻值为5.1KΩ；稳压二极管VD1的稳定压值为24V。还包括容值为0.33μF电容C2；电容C2耦合于CW317型可调式三端稳压器U1的3脚与输入端V
in
的正极之间。
[0019]上述的CW317型可调式三端稳压器，能输出连续可调的直流电压，稳压效果稳定，是现有稳压电路的最佳选择。其特性参数Vo＝1.2V～37V，Io max＝1.5A，最小输入、输出压差(Vi－Vo)min＝3V，最大输入、输出压差(Vi－Vo)max＝40V。
[0020]上述的TL431型可控精密稳压源，它的输出电压用两个电阻就可以设置从Vref(2.5V)到36V范围内的任何值。在本实施例中代替稳压二极管，使其稳压效果更好，更稳定。
[0021]以上所述仅为本技术的较佳实施例而已，并不用以限制本技术，凡在本技术的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.人造金刚石离子溅射仪用稳压模块，包括依次连接的变压电路、AC/DC电路和稳压电路，其特征在于，所述稳压电路包括：电阻R1～R4、电容C1、电容C3、稳压二极管VD1、继电器K、TL431型可控精密稳压电源VD2、CW317型可调式三端稳压器U1、可变电阻器RP；输入端V
in
的负极与输出端V
out
的负极直接相连；电容C1耦合于输入端V
in
的正负极之间，电容C3耦合于输出端V
out
的正负极之间；继电器K的一端通过电阻R1连接输入端V
in
的正极，另一端与TL431型可控精密稳压电源VD2的阴极连接；CW317型可调式三端稳压器U1的1脚通过可调电阻PR连接输出端V
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的负极，2脚连接输出端V
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的正极，3脚连接输入端V
in
的正极；电阻R2耦合于CW317型可调式三端...

【专利技术属性】
技术研发人员：秦少辉，吴康康，张淑君，
申请(专利权)人：新郑市理查德科技有限公司，
类型：新型
国别省市：