含铒感应材料的长波红外传感器、其制备方法及应用技术

本发明专利技术提供一种含铒感应材料的长波红外传感器、其制备方法及应用，传感器包括：衬底，衬底上形成有测试焊盘；导电桥墩，连接于衬底，导电桥墩通过位于衬底上的互连线连接测试焊盘；桥面，悬浮于衬底之上，桥面的两端由导电桥墩支撑；含铒材料电阻，位于桥面上，含铒材料电阻呈蜿蜒状延伸，含铒材料电阻的两端通过电极通孔及布线层连接导电桥墩，含铒材料电阻在长波红外传辐射下具有电阻值变化；碳纳米管，覆盖于含铒材料电阻及桥面上，用于吸收及增强经由被测物体发射的红外辐射。本发明专利技术通过在长波红外传感器设计配置含铒材料电阻，极大提高了传感器的感应单元对长波红外的能量敏感性，可有效解决辅助驾驶中长波红外信号获取的问题。有效解决辅助驾驶中长波红外信号获取的问题。有效解决辅助驾驶中长波红外信号获取的问题。

【技术实现步骤摘要】
含铒感应材料的长波红外传感器、其制备方法及应用


[0001]本专利技术属于红外探测器设计与制造领域，特别是涉及一种含铒感应材料的长波红外传感器、其制备方法及应用。

技术介绍

[0002]目前三大传感器：光学摄像头、毫米波雷达与激光雷达，已然成为自动驾驶领域中企业标配的传感器。一方面，除激光雷达外，光学摄像头与毫米波雷达其成本已下降到非常可观的地步，企业可大胆的“多”使用这两类传感器；另一方面，从产品性能表现看，三类传感器在不同的应用场景中能互补彼此的短板，如雨雾天中光学摄像头受影响，毫米波雷达依旧能探测范围内是否有障碍物，从而一定程度弥补摄像头“罢工”所带来的后果。
[0003]但是，随着自动驾驶企业路测增多，在不同天气、不同路况、面对不同目标物等等问题后，上述传感器显得不再牢固了。如在夜晚会车时因对方远光灯而使得自动驾驶车辆摄像头眩光，此时只剩下毫米波雷达与激光雷达可工作。而毫米波雷达自身又难以识别行人。而能识别行人的激光雷达，在考虑种种现实条件后，能有效覆盖的车前距离只有50m甚至更低，超出部分所探测得到的数据，不足以支持算法做出判本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种含铒感应材料的长波红外传感器，其特征在于，所述长波红外传感器包括：衬底，所述衬底上形成有测试焊盘；导电桥墩，连接于所述衬底，所述导电桥墩通过位于所述衬底上的互连线连接所述测试焊盘；桥面，悬浮于所述衬底之上，所述桥面的两端由所述导电桥墩支撑；含铒材料电阻，位于所述桥面上，所述含铒材料电阻呈蜿蜒状延伸，所述含铒材料电阻的两端通过电极通孔及布线层连接所述导电桥墩，所述含铒材料电阻在长波红外传辐射下具有电阻值变化；碳纳米管，覆盖于所述含铒材料电阻及所述桥面上，用于吸收及增强经由被测物体发射的红外辐射。2.根据权利要求1所述的含铒感应材料的长波红外传感器，其特征在于：所述含铒材料电阻的材料为铒铝合金，其中，所述铒铝合金中铒的质量百分比为0.1％-10％。3.根据权利要求1所述的含铒感应材料的长波红外传感器，其特征在于：所述含铒材料电阻的宽度介于3微米～8微米之间。4.根据权利要求1所述的含铒感应材料的长波红外传感器，其特征在于：对于波长介于8微米～11微米的红外辐射，所述含铒感应材料的长波红外传感器的相对灵敏度大于3。5.根据权利要求4所述的含铒感应材料的长波红外传感器，其特征在于：对于波长介于8微米～10.3微米的红外辐射，所述含铒感应材料的长波红外传感器的相对灵敏度大于4。6.根据权利要求1所述的含铒感应材料的长波红外传感器，其特征在于：所述含铒材料电阻表面还覆盖有氮化硅包层，所述碳纳米管覆盖于所述氮化硅包层上，所述氮化硅包层用以保护所述含铒材料电阻并提高含铒材料电阻的灵敏度。7.根据权利要求1所述的含铒感应材料的长波红外传感器，其特征在于：所述桥面的材料包括多层氮化硅，且所述多层氮化硅中形成有所述电极通孔及所述布线层，所述含铒材料电阻的两端通过所述电极通孔与所述布线层连接所述导电桥墩。8.一种含铒感应材料的长波红外传感器的制备方法，其特征在于，包括步骤：1)提供衬底，在所述衬底上形成测试焊盘以及互连线；2)于所述衬底上制作导电桥墩，所述导电桥墩通过所述互连线连接所述测试焊盘；3)于所述衬底上形成牺牲层，用于临时支撑桥面；4)于所述牺牲层上形成桥面，所述桥面的两端连接所述导电桥墩支撑；5)于所述桥面上形成含铒材料电阻，所述含铒材料电阻呈蜿蜒...

【专利技术属性】
技术研发人员：王华，李宏，李嘉彦，
申请(专利权)人：上海桐钻光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：