下载含铒感应材料的长波红外传感器、其制备方法及应用的技术资料

文档序号:33014182

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本发明提供一种含铒感应材料的长波红外传感器、其制备方法及应用,传感器包括:衬底,衬底上形成有测试焊盘;导电桥墩,连接于衬底,导电桥墩通过位于衬底上的互连线连接测试焊盘;桥面,悬浮于衬底之上,桥面的两端由导电桥墩支撑;含铒材料电阻,位于桥面上...
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