本实用新型专利技术属于树脂合成纯化技术领域，公开了一种用于去除树脂溶液中金属离子的过滤装置，包括釜体、过滤层、隔膜泵和离子交换树脂柱，釜体包括一进料口和出料口，树脂从进料口进入，从出料口输出，过滤层设置在釜体内部，且将釜体分隔成分别与进料口和出料口连通的第一部分和第二部分，该过滤层用于对第一部分的树脂溶液过滤除杂后输入第二部分，隔膜泵的输入端与釜体的第二部分连通，用于抽取釜体第二部分内的树脂，离子交换树脂柱的输入端与隔膜泵的输出端连接，其输出端与釜体的第一部分连接，用于交换树脂溶液中的金属离子。本实用新型专利技术的过滤装置既能去除树脂中的金属离子，又能对树脂中的颗粒性杂质进行过滤，提升树脂的品质。质。质。
【技术实现步骤摘要】
一种用于去除树脂溶液中金属离子的过滤装置
[0001]本技术属于树脂合成纯化
，具体涉及一种用于去除树脂溶液中金属离子的过滤装置。
技术介绍
[0002]光刻胶主要由树脂、交联剂、溶剂和助剂组成，其中，树脂作为主要成膜物质决定了涂层的主体性能，半导体制程对光刻胶中的金属离子含量要求非常低，一般低于10ppb以下，由于树脂合成使用的原料与生产过程都会引入金属离子，树脂中金属离子含量也直接影响光刻胶金属离子含量，因此，去除树脂中的金属离子尤为重要。
[0003]目前，树脂中的金属离子主要采用离子交换树脂循环去除，但这种方式会从离子交换树脂中带入少量的颗粒性杂质，同时树脂本身也含有一定的颗粒性杂质，这些颗粒性杂质会影响树脂及其产品的品质；因此，提供一种既能去除树脂中金属离子，又能对树脂中颗粒性杂质进行过滤的过滤装置是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]本技术的目的是为了解决现有树脂中金属离子去除时会带入颗粒性杂质，影响树脂及其产品品质的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：
[0008]釜体，该釜体包括一进料口和出料口；
[0009]过滤层，该过滤层设置在所述釜体内部，且将所述釜体分隔成分别与所述进料口和出料口连通的第一部分和第二部分，该过滤层用于对所述第一部分的树脂溶液过滤除杂后输入所述第二部分；
[0010]隔膜泵，该隔膜泵的输入端与所述釜体的第二部分连通，用于抽取所述第二部分内的树脂；
[0011]离子交换树脂柱，其输入端与所述隔膜泵的输出端连接，其输出端与所述釜体的第一部分连接，用于交换树脂溶液中的金属离子；
[0012]真空泵，该真空泵与所述釜体的第一部分连接，并用于使所述釜体在进料状态下形成负压；
[0013]其中，所述进料口、出料口、真空泵与釜体之间、隔膜泵与釜体之间、离子交换树脂柱与釜体之间设有控制管路开关的阀门，在所述进料状态下，所述隔膜泵与釜体之间、离子交换树脂柱与釜体之间及出料口的阀门关闭，且所述真空泵与釜体之间及进料口的阀门打开。
[0014]进一步地，所述釜体包括可分离的上、下釜体，所述下釜体的内壁设有支撑筋，该支撑筋与所述内壁形成支撑槽，所述上釜体设有一朝向所述支撑筋设置的压筋；所述过滤
层包括：
[0015]滤芯，该滤芯侧面设有第一定位孔；
[0016]箍体，所述箍体数量为两个且呈半环状，所述箍体之间一端铰接，另一端通过卡扣连接，并形成环状外壳，所述外壳底端同轴设置一卡置所述滤芯的第一卡槽，该第一卡槽的槽底设有第二定位孔，该第二定位孔与所述第一定位孔同轴设置，所述第一卡槽背离所述滤芯一侧设有卡置所述支撑筋的第二卡槽，该第二卡槽背离所述第一卡槽一侧设有卡置于所述支撑槽内的支撑壁；
[0017]复位组件，其包括可伸缩设置于所述支撑壁内且朝向所述支撑槽设置的复位销以及连接在所述复位销与所述支撑壁之间的第一复位弹簧。
[0018]进一步地，还包括定位组件，该定位组件包括可伸缩设置于所述支撑筋内的插销及连接于所述插销和支撑筋之间的第二复位弹簧，所述插销一端可伸入所述支撑槽设置且其端面包括一朝向所述支撑壁的楔形面，另一端可伸入所述第一定位孔及第二定位孔设置；所述支撑壁沿支撑槽方向活动连接于箍体上；
[0019]其中，在所述釜体分离状态下，所述复位组件推顶所述支撑壁，所述支撑槽内形成空间，所述插销在所述第二复位弹簧作用下伸入所述空间并脱离所述第一定位孔和第二定位孔；在所述釜体闭合状态下，所述压筋将所述支撑壁壁压入所述支撑槽，所述支撑壁压迫所述楔形面将所述插销推入所述第一定位孔及第二定位孔内。
[0020]进一步地，所述离子交换树脂柱包括依次螺纹密封连接的柱体、过滤柱和盖体，所述柱体与所述隔膜泵连接且内部设有离子交换树脂，所述过滤柱及盖体内设有与所述柱体连通且供树脂通过的通道，所述过滤柱在所述通道内设有辅助过滤层，该辅助过滤层用于对树脂进行过滤除杂且其孔径小于所述过滤层，所述盖体的通道通过管道与所述釜体的第一部分连通。
[0021]进一步地，所述釜体体积为10
‑
1000L，材质为玻璃、不锈钢内衬搪瓷或不锈钢内衬PTFE。
[0022]进一步地，所述过滤层孔径为5
‑
50μm，材质为玻璃砂芯或PTFE。
[0023]所述隔膜泵为电动隔膜泵和气动隔膜泵。
[0024]进一步地，所述隔膜泵为PP或衬四氟塑料隔膜泵。
[0025]进一步地，所述离子交换树脂柱的离子交换树脂为苯乙烯系或丙烯酸系，其离子交换柱为玻璃、衬四氟塑料或搪瓷。
[0026]进一步地，所述真空泵为循环水真空泵。
[0027]进一步地，所述釜体设有底座和固定架，底座上设有用于移动所述釜体的轮子。
[0028]进一步地，所述阀门材质为PTFE塑料。
[0029](三)有益效果
[0030]与现有技术相比，本技术提供的用于去除树脂溶液中金属离子的过滤装置具备以下有益效果：
[0031](1)本技术的过滤装置通过进料口向釜体的第一部分输送树脂，过滤层对第一部分的树脂进行过滤，去除颗粒性杂质，过滤后的树脂进入第二部分，然后在隔膜泵的作用下输送到离子交换树脂柱内，经离子交换树脂柱对金属离子吸附后输送回釜体的第一部分，再经过滤层过滤除杂，依次循环，直至出料口或第二部分的树脂中金属离子含量合格；
如此，该过滤装置既能去除树脂中的金属离子，又能对树脂中的颗粒性杂质进行过滤，提升树脂的品质；同时通过真空泵对釜体抽真空，使树脂无需经过抽液泵抽送即可进入釜体内，这种真空抽液方式避免树脂中带入抽液泵内的杂质，进一步提升了树脂的品质；
[0032](2)本技术过滤装置的整个树脂流动路径为密闭式，不会引入空气中的粉尘杂质；
[0033](3)本技术过滤装置的过滤层通过箍体安装在釜体内，在釜体打开时通过复位组件自动弹出，在釜体闭合时通过定位组件自动对箍体和滤芯限位，使得过滤层的更换更加方便，且在使用状态下相对釜体位置固定，结构更加稳定；
[0034](4)本技术的离子交换树脂柱螺纹密封连接柱体、过滤柱和盖体，过滤柱对树脂初步过滤颗粒性杂质，提升过滤效果，过滤柱和柱体还能够单独更换，减少耗材使用；
[0035](5)本技术过滤装置的釜体可根据生产需要设置成大容量釜体，以大批量处理树脂金属离子，满足光刻胶树脂量产的要求。
附图说明
[0036]此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本申请的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中:
[0037]图1为本技术用于去除树脂溶液中金属离子的过滤装置的示意图；
[0038]图2为本实用新本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于去除树脂溶液中金属离子的过滤装置，其特征在于，包括：釜体，该釜体包括一进料口和出料口；过滤层，该过滤层设置在所述釜体内部，且将所述釜体分隔成分别与所述进料口和出料口连通的第一部分和第二部分，该过滤层用于对所述第一部分的树脂溶液过滤除杂后输入所述第二部分；隔膜泵，该隔膜泵的输入端与所述釜体的第二部分连通，用于抽取所述第二部分内的树脂；离子交换树脂柱，其输入端与所述隔膜泵的输出端连接，其输出端与所述釜体的第一部分连接，用于交换树脂溶液中的金属离子；真空泵，该真空泵与所述釜体的第一部分连接，并用于使所述釜体在进料状态下形成负压；其中，所述进料口、出料口、真空泵与釜体之间、隔膜泵与釜体之间、离子交换树脂柱与釜体之间设有控制管路开关的阀门，在所述进料状态下，所述隔膜泵与釜体之间、离子交换树脂柱与釜体之间及出料口的阀门关闭，且所述真空泵与釜体之间及进料口的阀门打开。2.根据权利要求1所述的用于去除树脂溶液中金属离子的过滤装置，其特征在于，所述釜体包括可分离的上、下釜体，所述下釜体的内壁设有支撑筋，该支撑筋与所述内壁形成支撑槽，所述上釜体设有一朝向所述支撑筋设置的压筋；所述过滤层包括：滤芯，该滤芯侧面设有第一定位孔；箍体，所述箍体数量为两个且呈半环状，所述箍体之间一端铰接，另一端通过卡扣连接，并形成环状外壳，所述外壳底端同轴设置一卡置所述滤芯的第一卡槽，该第一卡槽的槽底设有第二定位孔，该第二定位孔与所述第一定位孔同轴设置，所述第一卡槽背离所述滤芯一侧设有卡置所述支撑筋的第二卡槽，该第二卡槽背离所述第一卡槽一侧设有卡置于所述支撑槽内的支撑壁；复位组件，其包括可伸缩设置于所述支撑壁内且朝向所述支撑槽设置的复位销以及连接在所述复位销与所述支撑壁之间的第一复位弹簧。3.根据权利要求2所述的用于去除树脂溶液中金属离子的过滤装置，其特征在于，还包括定位组件，该定位组件包括可伸缩设置于所述支撑筋内的插销及连接于所述插销和支撑筋之间的第二复位弹簧，所述插销一端可伸入所述支撑槽设置且其端...
【专利技术属性】
技术研发人员：曾成财，王静，
申请(专利权)人：厦门恒坤新材料科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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