一种用于光谱共焦非线性色散量程的高精度标定装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种用于光谱共焦非线性色散量程的高精度标定装置，包括底板、光栅传感器、光谱共焦传感器和移动机构，在所述的底板上安装有第一传感器支架和第二传感器支架，该第二传感器支架与所述的第一传感器支架形成测试空间；在所述的第一传感器支架上安装有对光栅传感器进行固定的第一夹具，所述的第二传感器支架上安装有对光谱共焦传感器进行固定的第二夹具。本实用新型专利技术的优点是：光谱共焦传感器对每次移动固定距离后，由后续的光谱仪记录对应位置的波峰波长值，由此可以得到波长与位移的一一对应关系，获得在量程范围内任意位置点的准确位移值，测量方便。测量方便。测量方便。

【技术实现步骤摘要】
一种用于光谱共焦非线性色散量程的高精度标定装置


[0001]本技术涉及一种用于光谱共焦非线性色散量程的高精度标定装置，属于精密测量


技术介绍

[0002]由于光谱共焦测量系统在制造过程会存在制造和装配误差，从而造成测量系统在量程方向上存在色散分布的非线性，在量程范围内对应位置点不能一一对应波长，需要通过标定装置找出对应位置点的相应波长值，现有的测量工装不能满足实际所需。

技术实现思路

[0003]为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种用于光谱共焦非线性色散量程的高精度标定装置，本技术的技术方案是：
[0004]一种用于光谱共焦非线性色散量程的高精度标定装置，包括底板、光栅传感器、光谱共焦传感器和移动机构，在所述的底板上安装有第一传感器支架和第二传感器支架，该第二传感器支架与所述的第一传感器支架形成测试空间；在所述的第一传感器支架上安装有对光栅传感器进行固定的第一夹具，所述的第二传感器支架上安装有对光谱共焦传感器进行固定的第二夹具，所述的光谱共焦传感器与光栅传感器同轴设置，该移动机构固定安装在所述的底板上，接近所述的第本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于光谱共焦非线性色散量程的高精度标定装置，其特征在于，包括底板、光栅传感器、光谱共焦传感器和移动机构，在所述的底板上安装有第一传感器支架和第二传感器支架，该第二传感器支架与所述的第一传感器支架形成测试空间；在所述的第一传感器支架上安装有对光栅传感器进行固定的第一夹具，所述的第二传感器支架上安装有对光谱共焦传感器进行固定的第二夹具，所述的光谱共焦传感器与光栅传感器同轴设置，该移动机构固定安装在所述的底板上，接近所述的第一传感器支架和第二传感器支架；所述的光谱共焦传感器接入...

【专利技术属性】
技术研发人员：李铭梁，周春卿，徐花，李延磊，
申请(专利权)人：昆山尚瑞智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：