一种硅片研磨废液过滤装置制造方法及图纸

技术编号:32984668 阅读:21 留言:0更新日期:2022-04-09 12:31
一种硅片研磨废液过滤装置,包括废料桶,废料桶内固定有支撑桶,废料桶、支撑桶的底部均设置漏液孔,废料桶底部内侧或支撑桶底部外侧设置支脚,使支撑桶底部与废料桶底部留有间隙;支撑桶内可拆卸嵌套有废料袋,废料袋的材质为编织袋,废液注入废料袋内,其中的杂质被过滤留在废料袋内,其余的废水通过漏液孔排出。与现有技术相比,该实用新型专利技术的有益之处在于:本实用新型专利技术充分利用了废弃的废料桶以及废料袋,将废料袋套在支撑桶上,并将支撑桶固定在废料桶内,废液排放到废料袋内,对废液进行过滤,防止废液中的杂质堵塞排水沟,同时也实现了废物回收利用。现了废物回收利用。现了废物回收利用。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片研磨废液过滤装置


[0001]本技术涉及硅片加工废液处理领域,具体为一种硅片研磨废液过滤装置。

技术介绍

[0002]在对硅片使用研磨机进行研磨过程中,会产生很多废液,废液中含有从硅片磨削下来的杂质,如果直接排放到排水沟中,杂质在排水沟中沉淀,容易造成排水沟的堵塞,而且杂质随着排水沟排放,也容易对环境造成影响。研磨机在对硅片进行研磨时,需要用到磨料和磨削液,磨料一般使用编织袋盛放,磨削液一般采用塑料桶盛放,在磨料和磨削液使用完毕后,废料袋和废料桶作为废品被丢弃,没有回收利用,造成资源的浪费。

技术实现思路

[0003]针对上述废液排放容易造成排水沟堵塞和废料袋、废料桶被丢弃浪费的技术问题,本技术的目的在于提供一种硅片研磨废液过滤装置,充分利用磨料用完之后的废料袋、磨削液用完之后的废料桶,对废液进行过滤,避免排水沟堵塞。
[0004]本技术的目的是采用以下技术方案来实现。依据本技术提出的一种硅片研磨废液过滤装置,包括废料桶,废料桶内固定有支撑桶,废料桶、支撑桶的底部均设置漏液孔,废料桶底部内侧或支撑桶底部外侧设置支脚,使支撑桶底部与废料桶底部留有间隙;支撑桶内可拆卸嵌套有废料袋,废料袋的材质为编织袋,废液注入废料袋内,其中的杂质被过滤留在废料袋内,其余的废水通过漏液孔排出。
[0005]进一步的,所述废料桶的壁体与支撑桶的壁体之间通过多个拉簧连接固定,多个拉簧均匀布置在废料桶的壁体与支撑桶的壁体之间。
[0006]进一步的,所述废料桶、支撑桶两者壁体的靠上位置对应设有固定孔,拉簧两端的挂钩挂在对应的固定孔内。
[0007]进一步的,所述废料桶的壁体与支撑桶的壁体之间通过多根拉绳固定,多根拉绳均匀布置在废料桶的壁体与支撑桶的壁体之间。
[0008]进一步的,所述废料桶、支撑桶两者壁体的靠上位置对应设有固定孔或固定销,拉绳的两端固定在对应的固定孔或固定销上。
[0009]进一步的,所述废料袋嵌套在支撑桶内后,将废料袋的开口边沿折叠覆盖在支撑桶的开口边沿,并使用夹子夹紧废料袋的开口边沿,使废料袋固定在支撑桶上。
[0010]进一步的,所述夹子通过绳子固定在废料桶上,废料桶上均匀布置多个夹子。
[0011]与现有技术相比,该技术的有益之处在于:本技术充分利用了废弃的废料桶以及废料袋,将废料袋套在支撑桶上,并将支撑桶固定在废料桶内,废液排放到废料袋内,对废液进行过滤,防止废液中的杂质堵塞排水沟,同时也实现了废物回收利用。
[0012]上述说明仅是本技术技术方案的概述,为了能够更清楚了解本技术的技术手段,而可依照说明书的内容予以实施,并且为了让本技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂,以下特举较佳实施例,并配合附图,详细说明如下。
附图说明
[0013]图1为本技术一种硅片研磨废液过滤装置实施例的俯视图;
[0014]图2为图1中A处的剖视图。
[0015]【附图标记】
[0016]1‑
废料桶,101

漏液孔I,2

支撑桶,201

漏液孔II,3

废料袋,4

拉簧,5

夹子,501

绳子,6

支脚。
具体实施方式
[0017]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本技术保护的范围。
[0018]本技术一种硅片研磨废液过滤装置的一个实施例,如图1至图2所示,包括废料桶1、支撑桶2、废料袋3、拉簧4、夹子5。
[0019]在塑料桶中的磨削液使用完毕后,将塑料桶作为废料桶1,在废料桶1的底部开漏液孔I101,便于废液从漏液孔I101中排出,废料桶1一般为方形的柱状桶,相对其高度来说,废料桶1的直径较大,容易稳定地放置在地面上。在使用该过滤装置时,将废料桶1稳定地放置在排水沟上方的支架上,废液从废料桶1排出后,流到排水沟内。
[0020]编织袋盛放的磨料使用完毕后,将编织袋作为废料袋,由于废料袋3的开口直径小于废料桶1的外径,废料袋3无法直接套在废料桶1,因此需要在废料桶1内放置一个支撑桶2,在支撑桶2上套上废料袋3。支撑桶2的底部开设有漏液孔II201,废液从漏液孔II201排出,然后再从漏液孔I101中排出。支撑桶2可以是自身带有孔的圆形垃圾桶,方便直接将废料袋3套在支撑桶2上后使用;支撑桶2也可以采用其他的圆形桶,在底部打上漏液孔II201后再使用。
[0021]支撑桶2通过固定装置固定在废料桶1上。在本实施例中,固定装置为拉簧4;在废料桶1的侧壁以及支撑桶2对应位置处的侧壁打上固定孔,固定孔设置在废料桶1、支撑桶2的靠上位置,拉簧4两端的挂钩分别挂在废料桶1、支撑桶3上的固定孔上;在废料桶1与支撑桶2之间通过多个均匀布置的拉簧4对支撑桶2进行固定,在本实施例中,采用四个拉簧4;当硅片的磨削机排出的废液对支撑桶2产生冲击力时,拉簧4能够缓冲废液的冲击力,防止支撑桶2倾倒后直接将废液排出,丧失过滤效果。
[0022]在另一实施例中,将拉簧4替换为拉绳,来对支撑桶2进行固定;对应的,废料桶1的侧壁以及支撑桶2对应位置处的侧壁设置固定孔或固定销,将拉绳的端部固定在对应的固定孔或固定销上。
[0023]支撑桶2的底部外侧或废料桶1的底部内侧设置支脚6,使支撑桶2的底部外侧或废料桶1的底部内侧留有间隙,防止支撑桶2完全压在废料桶1的底部,堵塞支撑桶2的底部或废料桶1的底部的漏液孔,导致废液排出不畅。
[0024]由于废料袋3的材质为编织袋,其上有较小的间隙,磨削机排出的废液排入废料袋3,可以将废液中的杂质过滤出来,将过滤后的废液排出。将废料袋3嵌套在支撑桶2内,废料袋3的开口边沿折叠覆盖在支撑桶2的开口边沿,使废料袋3固定在支撑桶2上。在本实施例
中,采用夹子5夹住废料袋3的开口边沿以及支撑桶2的开口边沿,使废料袋3的开口固定在支撑桶2的开口处,防止废液的冲击力将废料袋3冲掉,影响过滤效果。在废料桶1上通过绳子501均匀布置固定多个夹子5,在本实施例中,共设置4个夹子5。
[0025]工作原理:在使用前,支撑桶2的底部以及废料桶1的底部已经设置漏液孔,并将支撑桶2固定在废料桶1内,废料桶1上设置夹子5;将废料袋3嵌套在支撑桶2内,并使用夹子5固定,将废料桶1放置在排水沟的支架上,然后将磨削机的废液排放管的排放口放置在废料袋3内,启动磨削机对硅片进行磨削,产生的废液排放到废料袋3内,杂质留在废料袋3内,其余的废液排放到废料袋3外的支撑桶2内,废液顺着漏液孔II201排出到废料桶1内,然后再顺着漏液孔I101排放到废本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片研磨废液过滤装置,其特征在于:包括废料桶,废料桶内固定有支撑桶,废料桶、支撑桶的底部均设置漏液孔,废料桶底部内侧或支撑桶底部外侧设置支脚,使支撑桶底部与废料桶底部留有间隙;支撑桶内可拆卸嵌套有废料袋,废料袋的材质为编织袋,废液注入废料袋内,其中的杂质被过滤留在废料袋内,其余的废水通过漏液孔排出。2.根据权利要求1所述的一种硅片研磨废液过滤装置,其特征在于:所述废料桶的壁体与支撑桶的壁体之间通过多个拉簧连接固定,多个拉簧均匀布置在废料桶的壁体与支撑桶的壁体之间。3.根据权利要求2所述的一种硅片研磨废液过滤装置,其特征在于:所述废料桶、支撑桶两者壁体的靠上位置对应设有固定孔,拉簧两端的挂钩挂在对应的固定孔内。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员:徐力
申请(专利权)人:洛阳杰芯电子科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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