一种硅外延设备用水流冷却和流量分配装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硅外延设备用水流冷却和流量分配装置，包括：安装底座，其上设有水泵和换热器；换热器包括外循环进水管、外循环出水管、内循环出水管和内循环进水管；水泵分别与外置冷却水箱和内循环进水管连接，用于将冷却水输入换热器内；外循环进水管与厂务端的冷冻水源连接，用于实现冷冻水输入换热器内，并与冷却水进行逆向流动换热；内循环出水管用于输出换热后的冷却水，并将冷却水分为三路，三路冷却水分别流经流量开关、第一流量计和第二流量计后输出，并分别用于冷却硅外延设备的不同部位。本发明专利技术具有结构紧凑、操作简单、调节方便等优点，实现了冷却水快速降温的同时也对冷却水的流量进行了精准调控，提高了硅外延设备的冷却效果。的冷却效果。的冷却效果。

【技术实现步骤摘要】
一种硅外延设备用水流冷却和流量分配装置


[0001]本专利技术属于硅外延设备
，具体涉及一种硅外延设备用水流冷却和流量分配装置。

技术介绍

[0002]满足高压、大功率、大电流等要求的MOSFET、IGBT等功率器件在新能源汽车、5G通信、智能电网、机械装备等领域有着广泛应用。采用硅外延技术制造的MOSFET、IGBT等功率器件，具有良好的热稳定性、频率稳定性、更高的耐久性、更低的噪音、恒定的输入阻抗和更低的热阻等优点。MOSFET、IGBT等功率器件要求外延片缺陷密度低、颗粒污染少、厚度均匀性高，对硅外延设备的反应室洁净度、热场稳定度、气流稳定性提出了更高的要求。
[0003]硅外延生长工艺一般在1150℃左右的温度环境下进行，在工艺完成之后需尽快使外延片的温度降低，以方便运输晶圆的机械手将外延片取出进行下一批工艺，提高设备的使用效率和生产产能。目前，硅外延设备中给高温外延工艺处理后的晶圆降温，一方面是通过风冷，经由鼓风机将常温气体吹过反应腔的表面后由厂务端抽风机带走热量；另一方面是通过水冷循环系统。目前，硅外延设备的水冷循环系本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅外延设备用水流冷却和流量分配装置，其特征在于，包括：安装底座(1)，所述安装底座(1)上设有水泵(3)和换热器(6)；所述换热器(6)包括外循环进水管(11)、外循环出水管(13)、内循环出水管(15)和内循环进水管(18)；所述水泵(3)的进水端通过进水管路(2)与外置冷却水箱连接，水泵(3)的出水端通过软管(8)与内循环进水管(18)连接，水泵(3)用于将冷却水输入换热器(6)内；所述外循环进水管(11)与厂务端的冷冻水源连接，用于实现冷冻水输入换热器(6)内，并与冷却水进行逆向流动换热；内循环出水管(15)用于输出换热后的冷却水，并将冷却水分为三路，第一路冷却水流经流量开关(21)后输出，第二路冷却水和第三路冷却水则分别流经第一流量计(121)和第二流量计(122)后输出，三路冷却水分别用于冷却硅外延设备的不同部位。2.根据权利要求1所述的硅外延设备用水流冷却和流量分配装置，其特征在于，第一路冷却水的输出管道上还设有第七阀门(20)，所述第七阀门(20)用于调节流经流量开关(21)的冷却水流量；第二路冷却水和第三路冷却水的输出管道上均设有第四阀门(14)，所述第四阀门(14)用于调节流经流量计的冷却水流量。3.根据权利要求2所述的硅外延设备用水流冷却和流量分配装置，其特征在于，所述流量开关(21)与报警装置连接，当流经流量开关(21)的冷却水压力低于预设值时，报警装置进行报警。4.根据权利要求1所述的硅外延设备用水流冷却和流量分配装置，其特征在于，所述外循...

【专利技术属性】
技术研发人员：石磊，王娟，李勇，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：