一种压电摆台及半导体设备制造技术

本发明专利技术提供了一种压电摆台及半导体设备，该压电摆台包括：载台、轴承以及压电促动模块，载台与轴承连接，压电促动模块被配置为沿载台的转动轴线的周向切线方向上产生位移，使其沿周向切线方向在钳止和分离的两状态之间切换，以钳止或转动载台；当从钳止状切换为分离状态时，载台形成转动，通过至少两个压电促动模块对载台交替执行转动与钳止，以将载台转动至设定角度。本发明专利技术提供了一种压电摆台及半导体设备，可提高压电摆台的转动速度和可重复性，有效地避免了当转动载台时压电促动模块与载台或轴承之间出现持续的滑动摩擦，并有效地抑制了颗粒的产生。了颗粒的产生。了颗粒的产生。

【技术实现步骤摘要】
一种压电摆台及半导体设备


[0001]本专利技术涉及压电摆台
，尤其涉及一种压电摆台及半导体设备。

技术介绍

[0002]光学显微镜(OM)、聚焦离子束
‑
扫描电子显微镜(FIB
‑
SEM)及带电粒子束缺陷检测设备等半导体设备可包含执行小角度(微角度)转动的压电摆台。现有技术中，压电摆台包括压电促动模块和载台，以压电促动模块为压电陶瓷为例，当采用压电陶瓷驱动载台时，压电陶瓷与载台之间会产生相对滑动，因此彼此之间会产生粘滑运动，并由此导致载台在转动过程中基于粘滑运动而产生反向于转动方向的转动，一方面，降低转动速度；另一方面，由于压电陶瓷始终与载台因粘滑运动而形成滑动摩擦，从而导致彼此之间存在较大的摩擦，并会基于摩擦而产生大量颗粒，从而污染环境，并导致压电摆台的使用寿命较低；又一方面，因为粘滑运动导致压电促动模块产生滞回，所以会降低压电摆台的可重复性。
[0003]有鉴于此，有必要对现有技术中实现小角度转动的压电摆台予以改进，以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种压电摆台，其特征在于，包括：载台、轴承以及压电促动模块，所述载台与轴承连接，所述压电促动模块被配置为沿载台的转动轴线的周向切线方向上产生位移，使其沿周向切线方向在与钳止和分离的两状态之间切换，以钳止或转动所述载台；当从钳止状态切换为分离状态时，所述载台形成转动，通过至少两个所述压电促动模块对所述载台交替执行转动与钳止，以将载台转动至设定角度。2.根据权利要求1所述的压电摆台，其特征在于，所述周向切线方向为轴承上第一圆形轮廓的周向切线方向，所述压电促动模块在与轴承钳止和分离的两状态之间切换，或者当所述载台上包括第二圆形轮廓时，所述周向切线方向为轴承上的第一圆形轮廓或载台上的第二圆形轮廓的周向切线方向，所述压电促动模块在与载台或轴承钳止和分离的两状态之间切换；所述压电促动模块包括第一促动模块和第二促动模块，通过所述第一促动模块和第二促动模块交替执行所述转动与钳止，响应于将所述第一促动模块从钳止状态切换为分离状态，通过所述第二促动模块钳止载台。3.根据权利要求2所述的压电摆台，其特征在于，所述第一促动模块和第二促动模块分别被配置为沿顺时针方向和逆时针方向转动载台，通过所述第二促动模块钳止顺时针方向转动的载台，响应于将所述第二促动模块从钳止状态切换为分离状态，通过所述第一促动模块钳止逆时针转动的载台。4.根据权利要求3所述的压电摆台，其特征在于，所述第一促动模块和第二促动模块设置在轴承或载台的圆形轮廓的周侧，并相对于所述轴承或载台的圆形轮廓形成镜像分布，以实现分别沿顺时针方向和逆时针方向转动载台。5.根据权利要求2所述的压电摆台，其特征在于，所述第一促动模块和第二促动模块分别包括柔性驱动机构和支撑座，所述柔性驱动机构包括压电单元和柔性铰链，所述压电单元连接柔...

【专利技术属性】
技术研发人员：缪晖华，
申请(专利权)人：上海精测半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：