温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供了一种压电摆台及半导体设备，该压电摆台包括：载台、轴承以及压电促动模块，载台与轴承连接，压电促动模块被配置为沿载台的转动轴线的周向切线方向上产生位移，使其沿周向切线方向在钳止和分离的两状态之间切换，以钳止或转动载台；当从钳止状切换...
该专利属于上海精测半导体技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海精测半导体技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。