诱导腐蚀基板及制作方法及侦测蚀刻液诱导腐蚀的方法技术

本申请提供一种诱导腐蚀基板、诱导腐蚀基板的制作方法及侦测蚀刻液诱导腐蚀的方法，包括：提供衬底；在所述衬底上镀设金属膜层；在所述金属膜层表面构造异物粒子；在所述金属膜层的表面形成蚀刻阻挡层，所述蚀刻阻挡层还覆盖所述异物粒子，得到诱导腐蚀基板。本申请提供的诱导腐蚀基板的制作方法、诱导腐蚀基板及侦测蚀刻液诱导腐蚀的方法，通过获取当前蚀刻参数，能够获得蚀刻液由于异物粒子的存在是否会引起蚀刻异常、以及能够获得由于异物粒子的形态不同是否会引起蚀刻异常，进而评估所述待侦测的蚀刻液诱导腐蚀的敏感度，从而将蚀刻异常拦截在蚀刻液的开发初期。拦截在蚀刻液的开发初期。拦截在蚀刻液的开发初期。

【技术实现步骤摘要】
诱导腐蚀基板及制作方法及侦测蚀刻液诱导腐蚀的方法


[0001]本申请涉及显示面板制造
，尤其涉及一种诱导腐蚀基板、诱导腐蚀基板的制作方法及侦测蚀刻液诱导腐蚀的方法。

技术介绍

[0002]在TFT LCD面板行业，薄膜晶体管包括多个图案化的金属层，图案化的金属层一般是采用化学湿蚀刻工艺得到，因生产环境及设备无法保证完全无异物类的污染，若生产环境及设备有异物粒子引入至显示面板的生产过程，异物粒子会使得湿蚀刻时发生诱导腐蚀，机理如下：金属成膜前后或成膜过程中若有异物粒子引入，则会使得成膜过程形成微观孔隙，因孔隙内外蚀刻液会有浓度差，从而造成浓差电池效应，浓差电池效应会使得孔隙位置腐蚀速率加快。这种因异物粒子诱导产生的浓差电池反应，造成局部蚀刻异常，易形成金属断线、不均匀蚀刻等异常，对显示面板的导电性产生影响。
[0003]因此，现有技术存在缺陷，急需解决。

技术实现思路

[0004]本申请提供一种诱导腐蚀基板、诱导腐蚀基板的制作方法及侦测蚀刻液诱导腐蚀的方法，能够获得蚀刻液由于异物粒子的存在是否会发生诱导腐蚀，进而判断本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种诱导腐蚀基板的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：提供衬底；在所述衬底上镀设金属膜层；在所述金属膜层表面构造异物粒子；在所述金属膜层的表面形成蚀刻阻挡层，所述蚀刻阻挡层还覆盖所述异物粒子，得到诱导腐蚀基板。2.根据权利要求1所述的诱导腐蚀基板的制作方法，其特征在于，所述异物粒子是通过溅射的方式形成。3.根据权利要求2所述的诱导腐蚀基板的制作方法，其特征在于，所述异物粒子的材质是氧化铟锡，所述异物粒子形成的方法包括：在所述金属膜层上形成氧化铟锡膜层；设置退火参数，对所述氧化铟锡膜层进行退火；以及利用蚀刻溶液对氧化铟锡膜层进行蚀刻，以得到所述异物粒子。4.一种诱导腐蚀基板，其特征在于，所述诱导腐蚀基板由权利要求1
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3任意一项所述的诱导腐蚀基板的制作方法制作形成。5.一种侦测蚀刻液诱导腐蚀的方法，其特征在于，包括：提供如权利要求4所述的诱导腐蚀基板；提供待侦测的蚀刻液，将所述诱导腐蚀基板置于蚀刻...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭芳，
申请(专利权)人：TCL华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：