一种电容式指纹传感器表面保护方法技术

一种半导体指纹传感器表面防护方法。该方法创造性的在芯片表面上方沉积一层DLC(类金刚石碳涂层)涂层，有效解决传感器表面的疏水性和高耐磨性的困难，实现指纹传感器表面的有效防护。效防护。效防护。

【技术实现步骤摘要】
一种电容式指纹传感器表面保护方法


[0001]本专利技术涉及芯片晶圆封装领域，尤其是涉及一种指纹传感器类芯片的表面防 护工艺。

技术介绍

[0002]电容式指纹传感器是通过手指按压芯片表面的金属阵列感应单元与指纹之 间产生电容值从而转换为相应的指纹图像。传统的工艺通常是采用附图1的塑 封方式进行底层防护，并通过喷涂的耐热油漆来实现表面防护，但是由于油漆层 的表面硬度太低(通常3
‑
4H),长期手指按压使用，仍然会有表面出现损伤。本 专利技术采用类金刚石材料做指纹传感器表面防护，其硬度可以达到7H，实现了对 传感器表面的有效防护。
[0003]同时由于传统防护方式的表面防护材料的总厚度通常高达100um，因此传 感器的成像收到很大影响，导致图像模糊，本专利技术提出的方法可以将这一厚度降 低到10um以下，从而优化指纹图像质量。

技术实现思路

[0004]本专利技术要解决的技术问题是在一个厚度低于10um的表面防护涂层表面实 现7H的表面防护硬度，并满足疏水性要求。
[0005]本专利技术在芯片pa本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体指纹传感器表面防护材料，直接在芯片passivation保护层上方沉积一层保护涂层，而无需采用塑封等保护措施。2.根据权利要求1所述的一种涂层，该保护层为...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘君，
申请(专利权)人：上海图正信息科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：