一种晶圆运载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆运载装置，其特征在于，包括：两个导轮组件，两个所述导轮组件彼此相面对的一侧，定义为第一导轮侧，各个所述导轮组件相反与所述第一导轮侧的一侧定义为第二导轮侧，所述第一导轮侧设置有相连的第一导轮和第一侧向导轮，所述第二导轮侧设置有相连的第二导轮和第二侧向导轮；活动模块，所述活动模块设置有夹爪，所述活动模块电性连接有一控制模块，所述控制模块控制夹爪运动，导轮组件的设置使本实用新型专利技术可以同时兼容三种盘片尺寸的夹爪导轮结构，在更换产品时，可以减少工作量，对于大批量机器而言，可以节省很多时间，减少人工操作及生产管理成本，产品质量不会随人为因素而变化导致质量不稳定。量不会随人为因素而变化导致质量不稳定。量不会随人为因素而变化导致质量不稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆运载装置


[0001]本技术涉及夹具领域，具体是指一种晶圆运载装置。

技术介绍

[0002]随着发光二极管的发展，晶圆切割成多个晶粒(die or chip，又称为芯片)后，须依其质量、性能、产品特性予以分级分类，以将等级互异的晶粒应用于不同的领域，特别是在发光二极管(Light Emitted Diode,LED)的产业中，二极管的发光亮度、波长、色温、操作电压等会因制程条件的些许差异，即使在同一片LED生产晶圆上，各个晶粒之间多少都会存在着些许微小差异。而随着发光二极管的分类要求渐趋于精细，目前已经发展出150类的分类细目，为求效率，一般会使用机械手臂进行分类。因此，晶粒的挑拣分类速度便直接影响到生产速度，已知技术的晶粒的挑拣设备，利用单一挑拣臂结构于一取晶平台上进行晶粒的分类撷取，现有技术中，晶粒的分类撷取是通过夹爪夹取。
[0003]公开号为CN207947261U的技术公开了一种夹爪装置及包含夹爪装置的晶圆载运装置。夹爪装置包含两个夹爪组件及一活动模块。两个夹爪组件彼此相对的一侧分别形成有第一夹持结构，各夹爪组件的另一侧形成有第二夹持结构。两个夹爪组件能活动地设置于活动模块，活动模块电性连接控制模块，控制模块能通过活动模块控制两个夹爪组件彼此靠近或彼此远离。两个夹爪组件被控制为彼此相互靠近时，两个第一夹持结构能夹持第一晶圆载具的辅助构件。两个夹爪组件被控制为彼此相互远离时，两个第二夹持结构能夹持第二晶圆载具的辅助构件，然而，该夹爪装置不能灵活夹取晶圆，会发生晶圆掉落的现象。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是克服现有技术中的不足之处，提供一种能够兼容各种尺寸、灵活夹取晶圆的晶圆运载装置。
[0005]本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：
[0006]一种晶圆运载装置，包括：
[0007]两个导轮组件，两个所述导轮组件彼此相面对的一侧，定义为第一导轮侧，各个所述导轮组件相反与所述第一导轮侧的一侧定义为第二导轮侧，所述第一导轮侧设置有相连的第一导轮和第一侧向导轮，所述第二导轮侧设置有相连的第二导轮和第二侧向导轮；
[0008]活动模块，所述活动模块设置有夹爪，所述活动模块电性连接有一控制模块，所述控制模块控制夹爪运动。
[0009]进一步的，所述导轮组件还设置有弹簧。
[0010]进一步的，所述夹爪连接有升降装置，所述升降装置设置有夹爪防松紧装置，所述夹爪防松紧装置连接固定有夹爪。
[0011]进一步的，所述升降装置设置有气缸，所述气缸为动力元件，所述控制模块控制气缸在竖直方向做往复直线运动。
[0012]进一步的，所述升降装置上安装有晶圆检测传感器。
[0013]进一步的，所述夹爪上安装有夹爪检测传感器。
[0014]进一步的，所述导轮组件上安装有导轮检测传感器。
[0015]本技术相比现有技术具有以下优点及有益效果：
[0016]导轮组件的设置使本技术可以同时兼容三种盘片尺寸的夹爪导轮结构，在更换产品时，可以减少工作量，对于大批量机器而言，可以节省很多时间。粘性膜直接贴附于铁环上面，从而节省掉子母环配件成本，升降装置的设置使夹爪可以灵活夹取晶圆，导向组件可以防止晶圆掉落，减少人工操作及生产管理成本，产品质量不会随人为因素而变化导致质量不稳定，同时方便快捷生产作业，便于对晶圆产品储放以及方便使用，有利于对晶圆产品的环境保护，有效晶圆脏污等品质问题，生产效率高，产品质量稳定。
附图说明
[0017]图1为一种晶圆运载装置示意图；
[0018]图2为一种晶圆运载装置实施例二示意图；
[0019]图3为一种晶圆运载装置实施例三示意图。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]如图1所示，一种晶圆运载装置，包括：两个导轮组件，两个所述导轮组件彼此相面对的一侧，定义为第一导轮侧，各个所述导轮组件相反与所述第一导轮侧的一侧定义为第二导轮侧，所述第一导轮侧设置有相连的第一导轮11和第一侧向导轮9，所述第二导轮侧设置有相连的第二导轮4和第二侧向导轮6；活动模块，所述活动模块设置有夹爪3，所述活动模块电性连接有一控制模块(图中未显示，例如是微处理器、计算机设备等)，所述控制模块控制夹爪3运动，通过导轮组件的第一侧向导轮9和第二侧向导轮5托住产品，所述第一侧向导轮9和第二侧向导轮5在产品的重力作用下向内扩张，对产品起到导向作用。
[0022]所述导轮组件还设置有弹簧10，当第一侧向导轮9和第二侧向导轮5在产品作用下向上收起，然后在弹簧10的作用下向内收紧，起到导向作用。
[0023]所述夹爪3连接有升降装置，所述升降装置设置有夹爪防松紧装置2，所述夹爪防松紧装置2连接固定有夹爪3，夹爪3用于夹取产品。
[0024]所述升降装置设置有气缸1，所述气缸1为动力元件，所述控制模块控制气缸1在竖直方向做往复直线运动。
[0025]所述升降装置上安装有晶圆检测传感器13，用于检测晶圆是否到达指定位置。
[0026]所述夹爪3上安装有夹爪检测传感器12，用于检测夹爪3张开闭合状态。
[0027]所述导轮组件上安装有导轮检测传感器8，用于检测导轮组件是否到位。
[0028]实施例一
[0029]如图1所示，采用本技术的夹爪3夹产品，第一导轮11、第一侧向导轮9、第二导
轮4和第二侧向导轮6起到导正产品上下运动方向的作用，升降装置的气缸1作为夹爪3的动力在控制模块的控制下将产品上下移动运输，可以夹取4寸晶圆铁环7，第一侧向导轮9和第二侧向导轮6在重力作用下向内扩张，然后在弹簧10作用下向内收紧，起到导向4寸晶圆铁环7作用。
[0030]实施例二
[0031]如图2所示，采用本技术的夹爪3夹产品，第一导轮11、第一侧向导轮9、第二导轮4和第二侧向导轮6起到导正产品上下运动方向的作用，升降装置的气缸1作为夹爪3的动力在控制模块的控制下将产品上下移动运输，当夹取BIN铁环71时，第一侧向导轮9和第二侧向导轮6在BIN铁环71作用下向上收起，然后在弹簧10作用下向内收紧，起到导向作用。
[0032]实施例三
[0033]如图3所示，采用本技术的夹爪3夹产品，第一导轮11、第一侧向导轮9、第二导轮4和第二侧向导轮6起到导正产品上下运动方向的作用，升降装置的气缸1作为夹爪3的动力在控制模块的控制下将产品上下移动运输，当夹取6寸晶圆铁环72时，第一侧向导轮9和第二侧向导轮6在6寸晶圆铁环72作用下向上收起，然后在弹簧10作用下向内收紧，起到导向作用。
[0034]需要说明的是本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆运载装置，其特征在于，包括：两个导轮组件，两个所述导轮组件彼此相面对的一侧，定义为第一导轮侧，各个所述导轮组件相反与所述第一导轮侧的一侧定义为第二导轮侧，所述第一导轮侧设置有相连的第一导轮和第一侧向导轮，所述第二导轮侧设置有相连的第二导轮和第二侧向导轮；活动模块，所述活动模块设置有夹爪，所述活动模块电性连接有一控制模块，所述控制模块控制夹爪运动。2.根据权利要求1所述的晶圆运载装置，其特征在于：所述导轮组件还设置有弹簧。3.根据权利要求2所述的晶圆运载装置，其特征在于：所述夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢国强，
申请(专利权)人：深圳市优界科技有限公司，
类型：新型
国别省市：