一种晶圆运载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种晶圆运载装置，其特征在于，包括：两个导轮组件，两个所述导轮组件彼此相面对的一侧，定义为第一导轮侧，各个所述导轮组件相反与所述第一导轮侧的一侧定义为第二导轮侧，所述第一导轮侧设置有相连的第一导轮和第一侧向导轮，所述第二导轮侧设置有相连的第二导轮和第二侧向导轮；活动模块，所述活动模块设置有夹爪，所述活动模块电性连接有一控制模块，所述控制模块控制夹爪运动，导轮组件的设置使本实用新型专利技术可以同时兼容三种盘片尺寸的夹爪导轮结构，在更换产品时，可以减少工作量，对于大批量机器而言，可以节省很多时间，减少人工操作及生产管理成本，产品质量不会随人为因素而变化导致质量不稳定。量不会随人为因素而变化导致质量不稳定。量不会随人为因素而变化导致质量不稳定。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆运载装置


[0001]本技术涉及夹具领域，具体是指一种晶圆运载装置。

技术介绍

[0002]随着发光二极管的发展，晶圆切割成多个晶粒(die or chip，又称为芯片)后，须依其质量、性能、产品特性予以分级分类，以将等级互异的晶粒应用于不同的领域，特别是在发光二极管(Light Emitted Diode,LED)的产业中，二极管的发光亮度、波长、色温、操作电压等会因制程条件的些许差异，即使在同一片LED生产晶圆上，各个晶粒之间多少都会存在着些许微小差异。而随着发光二极管的分类要求渐趋于精细，目前已经发展出150类的分类细目，为求效率，一般会使用机械手臂进行分类。因此，晶粒的挑拣分类速度便直接影响到生产速度，已知技术的晶粒的挑拣设备，利用单一挑拣臂结构于一取晶平台上进行晶粒的分类撷取，现有技术中，晶粒的分类撷取是通过夹爪夹取。
[0003]公开号为CN207947261U的技术公开了一种夹爪装置及包含夹爪装置的晶圆载运装置。夹爪装置包含两个夹爪组件及一活动模块。两个夹爪组件彼此相对的一侧分别形成有第一夹持结构，各夹爪组件的另一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆运载装置，其特征在于，包括：两个导轮组件，两个所述导轮组件彼此相面对的一侧，定义为第一导轮侧，各个所述导轮组件相反与所述第一导轮侧的一侧定义为第二导轮侧，所述第一导轮侧设置有相连的第一导轮和第一侧向导轮，所述第二导轮侧设置有相连的第二导轮和第二侧向导轮；活动模块，所述活动模块设置有夹爪，所述活动模块电性连接有一控制模块，所述控制模块控制夹爪运动。2.根据权利要求1所述的晶圆运载装置，其特征在于：所述导轮组件还设置有弹簧。3.根据权利要求2所述的晶圆运载装置，其特征在于：所述夹...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢国强，
申请(专利权)人：深圳市优界科技有限公司，
类型：新型
国别省市：