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本实用新型公开了一种晶圆运载装置，其特征在于，包括：两个导轮组件，两个所述导轮组件彼此相面对的一侧，定义为第一导轮侧，各个所述导轮组件相反与所述第一导轮侧的一侧定义为第二导轮侧，所述第一导轮侧设置有相连的第一导轮和第一侧向导轮，所述第二导轮...
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