一种用于集成电路生产的模块化防震空调机组制造技术

本实用新型专利技术属于空调技术领域，公开了一种用于集成电路生产的模块化防震空调机组，包括：机身；机身一侧设有进风口，另一侧设有出风口，机身内沿风方向设有初级过滤段、表冷挡水段、加热段、加湿段、消声段、风机段及出风室；机身底部配置有减震部，减震部由减震弹簧及减震板组成。该空调机组为模块化构成，其不仅结构简单，维修方便，而且通过减震部不易产生微振动，满足集成电路生产的环境要求。满足集成电路生产的环境要求。满足集成电路生产的环境要求。

【技术实现步骤摘要】
一种用于集成电路生产的模块化防震空调机组


[0001]本技术涉及空调
，特别涉及一种用于集成电路生产的模块化防震空调机组。

技术介绍

[0002]中央空调机组是制造企业，特别是有净化参数要求的洁净厂房的空气中央处理关键设备。洁净厂房常用于电子、食品、芯片等行业。洁净厂房对送入生产区域的空气有温度、湿度、微粒数等的控制要求，这些参数均通过中央空调机组来控制。
[0003]在集成电路行业，微小震动都会对集成电路的生产工艺造成影响。而空调机组所产生的气流及电机运行均会产生微震动，因此，减小空调机组的微振动，对提升集成电路的生产合格率有着巨大的影响。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中存在的不足之处，本技术的目的是提供一种用于集成电路生产的模块化防震空调机组，其不仅维修方便，而且不易产生微振动，满足集成电路生产的环境要求。
[0005]为了实现根据本技术的上述目的和其他优点，提供了一种用于集成电路生产的模块化防震空调机组，包括：机身；机身一侧设有进风口，另一侧设有出风口，机身内沿风运动方向设有初级过滤段、表冷挡水段、加热段、加湿段、消声段、风机段及出风室；
[0006]机身底部配置有减震部，减震部由减震弹簧及减震板组成。
[0007]作为优选，风机与出风室设有均流段，高级过滤段。
[0008]作为优选，均流段内沿风向方向设有多组尺寸依次减小的“八”字形均流板。
[0009]作为优选，高级过滤段包括一安装箱体，所述安装箱体为由两个上下侧板、两个前后侧板围成的两端开口的箱体结构。安装箱体的中部竖直设有一讲安装箱体内分隔成两个空间的隔板，隔板与安装箱体的输入端之间安装有中效过滤段，隔板与安装箱体的输出端之间设有亚高效过滤段。
[0010]作为优选，安装箱体的两端分别设有法兰框。
[0011]作为优选，中效过滤段为密褶式结构，中效过滤段是由滤芯板呈往复V字形折叠构成，滤芯板与前后侧板之间相胶黏，滤芯板的上下两端与上下侧板相胶黏。
[0012]作为优选，初级过滤段设有多层过滤层，加热段设有加热器，加湿段内设有加湿器，消声段内设有消声器，风机室内设有风机。
[0013]作为优选，风机段的内部一侧安装有凸形导轨，所述凸形导轨的一侧安装有可拆卸密封门，所述密封门的两侧开设有卡槽，所述卡槽与所述凸形导轨相匹配。
[0014]作为优选，风机段的风机为无蜗壳风机。
[0015]作为优选，无蜗壳风机上安装有减震器，所述减震器为防剪切弹簧减震器。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0017]本技术中，空气处理设备采用组合式空调机组箱体，为模块化机组，空气首先进入进风口，然后依次通过机组箱体内的初级过滤、表冷、加热、加湿处理再经均流板、高级过滤段进行均流、高级过滤后通过出风口进入生产区，结构简单、操作方便。此外，该空调机组安装有减震部，减小了空调机组在使用时的震动，一方面，避免了震动对集成电路生产造成影响；另一方面，通过减震，减少了噪音的产生。
附图说明
[0018]图1为根据本技术所述的用于集成电路生产的模块化防震空调机组的连接结构示意图。
[0019]图2为根据本技术所述的均流段的剖面结构示意图。
[0020]图3为根据本技术所述的安装箱体的剖面结构示意图。
[0021]图4为根据本技术所述的风机段的俯视结构示意图。
[0022]图中：1、机身；101、进风口；102、初级过滤段；103、表冷挡水段；104、加热段；105、加湿段；106、消声段；107、风机段；1071、凸形导轨；1072、密封门；1073、卡槽；108、均流段；1081、均流板；109、高级过滤段；1091、安装箱体；1092、隔板；1093、滤芯板；1094、封板；1095、法兰过滤器；1096、进风管；1097、出风管；1098、法兰框；110、出风室；111、出风口；112、减震部；1121、减震弹簧；1122、减震板。
具体实施方式
[0023]下面结合附图对本技术做进一步的详细说明，本技术的前述和其它目的、特征、方面和优点将变得更加明显，以令本领域技术人员参照说明书文字能够据以实施。在附图中，为清晰起见，可对形状和尺寸进行放大，并将在所有图中使用相同的附图标记来指示相同或相似的部件。在下列描述中，诸如中心、厚度、高度、长度、前部、背部、后部、左边、右边、顶部、底部、上部、下部等用词为基于附图所示的方位或位置关系。特别地，“高度”相当于从顶部到底部的尺寸，“宽度”相当于从左边到右边的尺寸，“深度”相当于从前到后的尺寸。这些相对术语是为了说明方便起见并且通常并不旨在需要具体取向。涉及附接、联接等的术语(例如，“连接”和“附接”)是指这些结构通过中间结构彼此直接或间接固定或附接的关系、以及可动或刚性附接或关系，除非以其他方式明确地说明。
[0024]参照图1，用于集成电路生产的模块化防震空调机组，包括：机身1，机身一侧设有进风口101，另一侧设有出风口111，机身1内沿风方向设有初级过滤段102、表冷挡水段103、加热段104、加湿段105、消声段106、风机段107及出风室110。其中，风机段107与出风室110之间设置有均流段108及高级过滤段。由减震板集成电路生产中所需的风从进风口进入，之后依据设定参数，经初级过滤、挡水、加热、加湿后再经设置于机组箱体末端的均流段和高级过滤段进行均流和高级过滤后通过出风室及出风口排出进入生产区。此外，在机身的底端安装有减震部112，减震部112由减震弹簧1121和减震板1122组成，通过减震部，能够消除空调机组在使用时产生的震动，满足了集成电路在生产过程中无振动的要求。
[0025]在一些优选的实施例中，参照图2，均流段108在沿风方向设有多组尺寸依次减小的“八”字形均流板1081，均流板1081使得在经过均流段108的空气在均流板1081被多次打散、混合，最终实现均流的目的，防止了空气流动过于集中。此外，也避免了过于集中的空气
经过高级过滤段109时对高级过滤段109内的滤芯造成局部损坏，均流段的设置提升了高级过滤段109的使用寿命及过滤性能。
[0026]在一些优选的实施例中，参照图3，高级过滤段109包括一安装箱体1091，安装箱体1091的中部竖直设有一将安装箱体1091内分隔成两个空间的隔板1092，隔板1092与安装箱体1091的输入端之间安装有中效过滤段，隔板1092与安装箱体1091的输出端之间设有亚高效过滤段，经由高级过滤段109的空气首先通过中效过滤段进行再次过滤，再通过亚高效过滤段进行终端过滤，本技术提高空调机组送风空气质量，满足送风机组净化要求，结构简单，操作方便，将中效过滤段、亚高效过滤段叠加组合使用并拼装在一个安装箱体1091过滤器框架单元作为一个高级过滤段109，不但可以有效的降低机身1整体占用空间，而且还提高高级过滤段的过滤效率、过滤本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于集成电路生产的模块化防震空调机组，其特征在于，包括：机身；所述机身一侧设有进风口，另一侧设有出风口，所述机身内沿风运动方向设有初级过滤段、表冷挡水段、加热段、加湿段、消声段、风机段及出风室；所述机身底部配置有减震部，所述减震部由减震弹簧及减震板组成。2.根据权利要求1所述的用于集成电路生产的模块化防震空调机组，其特征在于，所述风机与出风室设有均流段，高级过滤段。3.根据权利要求2所述的用于集成电路生产的模块化防震空调机组，其特征在于，所述均流段内沿风向方向设有多组尺寸依次减小的“八”字形均流板。4.根据权利要求2所述的用于集成电路生产的模块化防震空调机组，其特征在于，所述高级过滤段包括一安装箱体，所述安装箱体为由两个上下侧板、两个前后侧板围成的两端开口的箱体结构；所述安装箱体的中部竖直设有一讲安装箱体内分隔成两个空间的隔板，所述隔板与安装箱体的输入端之间安装有中效过滤段，所述隔板与安装箱体的输出端之间设有亚高效过滤段。5.根据权利要求4所述的用于集成电路生产的模块化防震空调机组，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋乃军，
申请(专利权)人：江苏苏净工程建设有限公司，
类型：新型
国别省市：