一种对接检测装置及方法制造方法及图纸

本申请涉及一种对接检测装置及方法，属于针孔对接检测技术领域。其中，一种对接检测装置，包括：位移传感组件、控制组件和柔性组件；位移传感组件用于检测对接组件与固定件之间的对接距离；控制组件根据各个位移传感组件采集的对接距离，计算每两个对接距离之间的差值，确定任一差值是否大于预设阈值；柔性组件用于当控制组件确定任一差值大于预设阈值时，在控制组件作用下调整对接组件的位置。通过控制组件计算每两个对接距离之间的差值，当任一差值大于预设阈值时，控制柔性组件调整对接组件的位置，使对接组件与固定件可以准确对接，解决了固定件与对接组件对接的技术问题，提高了被测器件的测试准确性和可靠性，提高了测试效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种对接检测装置及方法


[0001]本申请涉及针孔对接检测
，尤其涉及一种对接检测装置及方法。

技术介绍

[0002]随着当前集成电路测试需求的不断发展，应用于芯片量产测试环节的国产超大规模集成电路测试设备发展市场空间广阔。其中，高密度高可靠的测试接入技术是开展超大规模集成电路测试设备研制不可或缺的技术因素，测试对接装置在集成电路测试设备中起到实现测试设备硬件资源与安装被测器件的测试接口板信号通路互连作用(在对接过程中，测试设备硬件资源位置固定，也可称为固定件，被测器件与安装被测器件的测试接口板可一起称为对接组件)，因此需要重点解决所需研制测试设备的高密度高可靠的测试对接接入问题，解决测试设备内部的高速高密度多类型测试信号与测试接口板之间的资源对接过程，保证信号传输完整性。

技术实现思路

[0003]为了解决固定件与对接组件对接的技术问题，本申请提供了一种对接检测装置及方法。
[0004]第一方面，本申请提供了一种对接检测装置，包括：位移传感组件、控制组件和柔性组件；
[0005]所述位移传感组件用于检测对本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种对接检测装置，其特征在于，包括：位移传感组件、控制组件和柔性组件；所述位移传感组件用于检测对接组件与固定件的对接距离；所述位移传感组件的数量至少为三个；所述控制组件根据各个所述位移传感组件采集的对接距离，计算每两个所述对接距离之间的差值，确定任一所述差值是否大于预设阈值；所述柔性组件用于当所述控制组件确定任一所述差值大于所述预设阈值时，在所述控制组件作用下调整所述对接组件的位置。2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述控制组件包括第一控制器和第二控制器；所述第一控制器连接所述位移传感组件；所述第一控制器的输出端连接所述第二控制器，所述第二控制器连接所述柔性组件；所述第一控制器用于控制所述位移传感组件工作，以及根据各个所述位移传感组件采集的对接距离，计算每两个所述对接距离之间的差值，确定任一所述差值是否大于预设阈值；所述第二控制器用于根据从所述第一控制器获取大于所述预设阈值的所述差值，控制所述柔性组件，以调整所述对接组件的位置。3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述位移传感组件的数量为四个；所述位移传感组件分别设置于所述对接检测装置的不同位置。4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述位移传...

【专利技术属性】
技术研发人员：周欣萍，周静，郝改萍，冯建呈，田楠，刘俊涛，董雪起，刘树凯，周慧，吕延军，周李成，
申请(专利权)人：北京航天测控技术有限公司，
类型：发明
国别省市：