【技术实现步骤摘要】
氮化铜粉体制备方法
[0001]本专利技术涉及材料
,特别指一种氮化铜粉体制备方法。
技术介绍
[0002]氮化铜不但可以作为一种新型的半导体材料具有很好的光电特性,氮化铜在热处理后会反应生成高质量的铜,这种高质量的铜具有较好的导电性和致密度,配合集成电路印刷工艺,可以将氮化铜浆料以铜导体前驱体的形式形成电路电极、导线结构,可用于集成电路芯片制造、封装等。通过氮化铜浆料的方式印刷铜电极前驱体能够减小空气对铜的氧化效果,增强铜导体电极的抗氧化性,提供高质量的铜导体。其中,制造氮化铜浆料必须拥有氮化铜粉体的制造技术。
[0003]如公开号为CN102491290A的中国专利技术专利公开说明书提出了一种氮化铜粉体制备方法,包括以下步骤:以铜氧化物、铜盐为原料加入到耐高压反应器中,排出反应器内空气后,同时向反应器中加入溶剂介质以及氮化剂,对反应器进行加热升温至50~350℃,反应器压力保持在0.1~35.0Mpa,并在该状态下反应0.5~5.0h,在加热状态下,降低反应器内压力至0~0.5Mpa,分离出固体粉末,即得到 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种氮化铜粉体制备方法,其特征在于,包括以下步骤:构建衬底,所述衬底包括至少一层支撑层和设于所述支撑层上的至少一层牺牲层,牺牲层被配置为可通过外界条件改变而改性;在所述牺牲层上培育薄膜并使其生长;改变外界条件使所述牺牲层改性并得到单独薄膜;对得到的单独薄膜进行清洗并干燥处理,再通过研磨、过筛,得到氮化铜粉体。2.如权利要求1所述的氮化铜粉体制备方法,其特征在于,还包括以下步骤:对过筛后的氮化铜粉体进行二次干燥,所述二次干燥在真空或者氮气环境下进行,温度为50
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80摄氏度,时间3
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10h。3.根据权利要求1所述的氮化铜粉体制备方法,其特征在于:构建所述衬底后对所述衬底进行清洗,包括以下步骤:去离子水、有机溶剂反复冲洗3
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5次,且最后一次冲洗为去离子水清洗。4.根据权利要求3所述的氮化铜粉体制备方法,其特征在于:所述清洗方式为冲洗或超声清洗。5.根据权利要求1所述的氮化铜粉体制备方法,其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员:邢孟江,杨晓东,代传相,邢孟道,刘永红,
申请(专利权)人:电子科技大学长三角研究院湖州,
类型:发明
国别省市:
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