本申请涉及单晶炉技术领域，尤其是涉及一种夹具，基座，基座固定；夹块，夹块具有两个，两个夹块相对设置，在两个夹块之间形成夹持空间，其中，至少一个夹块滑移连接于基座上，且滑移方向与两个夹块的设置方向平行；以及驱动组件，驱动组件固定于基座上，且作用于可滑移的夹块上。本申请的有益技术效果：夹块滑移连接于基座上，且调节块与夹块之间通过连杆连接，连杆的两端分别与调节块、夹块转动连接，通过驱动调节块相对于基座的位置，实现两个夹块对晶棒的夹持或放开，解决了现有技术中大尺寸的单晶炉取棒不便的技术问题，达到方便大尺寸单晶炉取棒的技术效果。晶炉取棒的技术效果。晶炉取棒的技术效果。
【技术实现步骤摘要】
基板连接于所述固定板上，且所述固定板与所述第一基板之间容置所述调节块。
[0013]作为优选，所述第一驱动件包括：第一丝杆，所述第一丝杆连接于所述固定板或第 一基板上，所述第一丝杆位于两个所述夹块的对称轴上，第一丝杆垂直于所述第一基板， 且所述第一丝杆通过螺纹连接所述调节块；第一电机，所述第一电机连接并作用于所述 第一丝杆的一端。
[0014]作为优选，所述夹块与所述基座之间设置有第一滑移组件，所述第一滑移组件包括： 第一滑轨，所述第一滑轨固定于所述第一基板的远离所述固定板的一面上；第一滑块， 第一滑块具有两个，每个所述第一滑块对应固定于所述夹块上，且两个所述第一滑块均 与所述第一滑轨滑移配合。
[0015]第二方面，本申请提供的一种晶棒抓取装置，采用如下的技术方案：
[0016]一种晶棒抓取装置，包括：抓取机构，所述抓取机构包括：固定座；夹具，所述夹 具为所述的夹具，所述夹具具有一个或多个，每个所述夹具固定连接于所述固定座，且 所有夹具的夹持空间位于同一竖直空间；升降机构，所述升降机构连接于所述固定座上， 所述升降机构具有一个竖直方向上移动的自由度，通过所述升降机构使得所述抓取机构 能够在竖直方向上移动；以及旋转机构，所述旋转机构连接于所述升降机构上，所述旋 转机构具有一个水平面上旋转的自由度，通过所述旋转机构使得所述抓取机构能够在水 平面上转动。
[0017]作为优选，所述升降机构包括：第二基板；升降座，所述升降座滑移连接于所述第 二基板上，滑移方向呈竖直方向，且所述升降座连接于所述固定座上；以及第二驱动件， 所述第二驱动件固定连接于所述第二基板上，且所述第二驱动件作用于所述升降座上， 通过所述第二驱动件使得所述升降座在所述第二基板上发生滑移。
[0018]作为优选，所述旋转机构包括：旋转体，所述旋转体呈竖直方向设置且可绕轴旋转， 所述旋转体与所述第二基板固定连接；第三驱动件，所述第三驱动件连接并作用于所述 旋转体，通过所述第三驱动件使得所述旋转体发生旋转。
[0019]作为优选，所述装置还包括推进机构，所述推进机构设置于所述抓取机构与所述升 降机构之间，所述推进机构包括：第三基板，所述第三基板呈水平设置，所述第三基板 滑移连接于所述升降座上，且所述第三基板与所述固定座固定连接；第四驱动件，所述 第四驱动件固定连接于所述升降座上，且所述第四驱动件作用于所述第三基板，通过第 四驱动件使得所述第三基板相对于所述升降座在水平滑移。
[0020]作为优选，所述装置还包括底托机构，所述底托机构包括：托板，所述托板呈水平 设置，所述托板固定连接于所述固定座的底端，且所述托板与所述夹具的夹持空间的正 下方。
[0021]第三方面，本申请提供的一种单晶炉，采用如下的技术方案：
[0022]一种单晶炉，包括：机架；单晶炉本体；所述单晶炉本体设置在所述机架上，所述 单晶炉本体包括：主炉室，所述主炉室的内部具有主炉腔；副炉室，所述副炉室位于所 述主炉室的上方，所述副炉室内设置有可容置一晶棒的副炉腔，所述副炉腔和所述主炉 腔连通；此外，所述副炉室的侧面相对于副炉腔设置有一可开闭的通道；以及提升装置； 所述提升装置用于从主炉腔中牵引并提升晶棒；晶棒抓取装置，所述晶棒抓取装置设置 在机架上；其中，所述晶棒抓取装置位于所述通道的外侧，通过通道使得所述晶棒抓取 装置运动
到副炉腔中。
[0023]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0024]1、本申请中，夹块滑移连接于基座上，且调节块与夹块之间通过连杆连接，连杆 的两端分别与调节块、夹块转动连接，通过驱动调节块相对于基座的位置，从而通过连 杆拉动夹块使得两个夹块相互靠近，或通过连杆推动夹块使得两个夹块相互远离，从而 实现两个夹块对晶棒的夹持或放开，有利于夹具进入到单晶炉的副炉室中夹取晶棒，解 决了现有技术中大尺寸的单晶炉取棒不便的技术问题，达到方便大尺寸单晶炉取棒的技 术效果。
[0025]2、在两个夹块夹持晶棒时，针对8英寸、12英寸等大尺寸，两个夹块夹持晶棒时， 晶棒的重量分担在两夹块和第一滑轨上，第一丝杆、连杆以及调节块上不受到由于晶棒 重量而带来的作用力，减少第一丝杆由于外部受力而造成的磨损，从而提高第一丝杆对 调节块的控制精度、延长第一丝杆的使用寿命，同时，通过电机控制第一丝杆旋转，在 任意时间均可控制两个夹块之间的距离，从而实现夹具的自锁。
[0026]3、针对不同型号、尺寸的单晶炉本申请中的旋转机构和升降机构均作用于抓取机 构上，通过旋转机构调节抓取机构与单晶炉之间的相对距离，通过升降机构调节抓取机 构适应于副炉室的高度，都能准确的奖抓取机构驱动至合适位置对晶棒进行抓取，提高 取棒的便捷性。
[0027]4、由于轴主体呈硬性质地，在旋转过程中轴主体不会发生晃动，其连接的单晶在 高晶转下不会发生明显的晃动，这将使得晶体的氧含量和电阻率径向均匀性改善的工艺 窗口加大；同时，设定的提升速度更为精确地传递到晶体生长界面，减小减晶体生长界 面的实际提升速度与设定的提升速度之间存在误差，从而提高拉晶品质。
附图说明
[0028]图1是本申请所述夹具的基座示意图；
[0029]图2是本申请所述夹具的夹块的第一种示意图；
[0030]图3是本申请所述夹具的夹块的第一滑移组件示意图；
[0031]图4是本申请所述夹具的夹块的第二种示意图；
[0032]图5是图4中A的放大图；
[0033]图6是本申请所述夹具的调节块的示意图；
[0034]图7是本申请所述夹具的侧视图；
[0035]图8是图7的剖视图；
[0036]图9是本申请所述夹具的第一限位件示意图；
[0037]图10是本申请所述夹具的第二限位件示意图；
[0038]图11是本申请所述夹具的传感限位件示意图；
[0039]图12是本申请所述晶棒抓取装置的示意图；
[0040]图13是本申请所述晶棒抓取装置的抓取机构的示意图；
[0041]图14是本申请所述晶棒抓取装置的底托机构的示意图；
[0042]图15是图14的爆炸图；
[0043]图16是本申请所述晶棒抓取装置的升降机构的示意图；
[0044]图17是图16的剖视图；
[0045]图18是图17中B的放大图；
[0046]图19是本申请所述晶棒抓取装置的旋转机构的示意图；
[0047]图20是本申请所述晶棒抓取装置的推进机构的示意图；
[0048]图21是图20的剖视图；
[0049]图22是图21中C的放大图；
[0050]图23是本申请所述单晶炉的立体示意图；
[0051]图24是本申请所述单晶炉的副炉室示意图；
[0052]图25是本申请所述单晶炉的第二机架和调平板的示意图；
[0053]图26是本申请所述单晶炉的调平组件示意图；
[0054]图27是图26中D的放大图；
[00本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种夹具，其特征在于，包括：基座，所述基座固定；夹块，所述夹块具有两个，两个所述夹块相对设置，在两个所述夹块之间形成夹持空间，其中，至少一个所述夹块滑移连接于所述基座上，且滑移方向与两个所述夹块的设置方向平行；以及驱动组件，所述驱动组件固定于所述基座上，且作用于可滑移的夹块上，所述驱动组件包括：调节块，所述调节块相对于所述基座位置可移动；连杆，所述连杆的数量与可滑移的夹块的数量一致，所述连杆位于所述调节块与每个可滑移的夹块之间，每个所述连杆的第一端转动连接于所述调节块上，每个所述连杆的第二端转动连接于可滑移的夹块上；以及第一驱动件，所述第一驱动件固定于所述基座上，所述第一驱动件连接并作用于所述调节块上，所述第一驱动件的作用方向垂直于两个所述夹块的设置方向，通过所述第一驱动件使得所述连杆带动可滑移的夹块在基座上移动。2.根据权利要求1所述的一种夹具，其特征在于，两个所述夹块均滑移连接于所述基座上，两个所述夹块对称设置，且两个所述夹块的对称轴经过所述调节块；所述连杆具有两个，两个所述连杆对称设置，且两个所述连杆的对称轴经过所述调节块。3.根据权利要求2所述的一种夹具，其特征在于，所述基座包括：固定板，所述固定板的位置固定；第一基板，所述第一基板连接于所述固定板上，且所述固定板与所述第一基板之间容置所述调节块。4.根据权利要求3所述的一种夹具，其特征在于，所述第一驱动件包括：第一丝杆，所述第一丝杆连接于所述固定板或第一基板上，所述第一丝杆位于两个所述夹块的对称轴上，第一丝杆垂直于所述第一基板，且所述第一丝杆通过螺纹连接所述调节块；第一电机，所述第一电机连接并作用于所述第一丝杆的一端。5.一种晶棒抓取装置，其特征在于，包括：抓取机构，所述抓取机构包括：固定座；夹具，所述夹具为权利要求1
‑
4任意一项中所述的夹具，所述夹具具有一个或多个，每个所述夹具固定连接于所述固定座，且所有夹具的夹持空间位于同一竖直空间；升降机构，所述升降机构连接于所述固定座上，所述升降机构具有一个竖直方向上移动的自由度，通过所述升降机构使得所述抓取机构能够在竖直方向上移动；以及旋转机构，所述旋转机构连接于所述升降机构上，所述旋转机构具...
【专利技术属性】
技术研发人员：叶钢飞，曹建伟，傅林坚，朱亮，倪军夫，梁晋辉，叶雷江，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。