检查装置、检查系统、检查方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及涉及检查装置、检查系统、检查方法，其目的是提高检查装置的通用性。检查装置(100)包括：投影装置(200)，其根据与检查对象物对应、且用来确定照射到上述检查对象物上的光的图案的图案图像数据，对上述检查对象物照射光；摄像装置(300)，其拍摄受到所述投影装置照射光的所述检查对象物，并输出拍摄的图像数据。数据。数据。

【技术实现步骤摘要】
检查装置、检查系统、检查方法


[0001]本专利技术涉及检查装置、检查系统、检查方法。

技术介绍

[0002]现有的检查装置用光照射检查对象物，将来自检查对象物表面的反射光作为图像数据进行拍摄，根据拍摄的图像数据检测检查对象物中的异常。该检查装置根据检查对象物的种类和形状，固定台座和光源的位置，对设置在台座上的检查对象物上的预定位置照射光。
[0003]现有检查装置每当检查对象物的种类和形状发生变化时，就需要调整光源和台座的位置，根据情况导入新的检查装置等。因此，现有检查装置难以适用于各台检查装置所适用的检查对象物以外的检查对象物的检查，缺乏通用性。

技术实现思路

[0004]本专利技术目的在于提高检查装置的通用性。
[0005]本专利技术提供一种检查装置，其中具有：投影装置，其根据与检查对象物对应、且用来确定照射到上述检查对象物上的光的图案的图案图像数据，对上述检查对象物照射光；以及摄像装置，其拍摄受到所述投影装置照射光的所述检查对象物，并输出拍摄的图像数据。
[0006]本专利技术的效果在于提高检测装置的通用性。
附图说明
[0007]图1是第一实施方式的检查系统的一例系统构成的示意图。
[0008]图2是检查装置的外观图。
[0009]图3是检查装置框部的示意图。
[0010]图4是检查装置的A
‑
A截面图。
[0011]图5是第一实施方式的图案图像数据的示意图。
[0012]图6是第二实施方式的检查装置的剖面图。
[0013]图7是第二实施方式的框体内部的正视图。
[0014]图8是第二实施方式的框体内部的侧视图。
[0015]图9是说明管理装置的处理的第一示意图。
[0016]图10是说明管理装置的处理的第二示意图。
具体实施方式
[0017]<第一实施方式>
[0018]以下参考附图，说明第一实施方式。图1是第一实施方式的检查系统的一例系统构成的示意图。
[0019]本实施方式的检查系统100具有检查装置200和管理装置300。在检查系统100中，检查装置200和管理装置300通过有线或无线等网络连接。
[0020]本实施方式的检查装置200具有投影装置210和摄像装置260。检查装置200基于管理装置300送来的图案图像数据，通过投影装置210，向检查对象物照射光，通过摄像装置260，将检查对象物的反射光作为图像数据进行摄像，将拍摄的图像数据输出(发送)到管理装置300。本实施方式的图案图像数据是用于确定从投影装置210发出的光照射到检查对象物的位置的图像数据。
[0021]管理装置300可以是例如具有运算处理装置和存储装置的一般的信息处理装置。管理装置300具有用来保存每个检查对象物的图案图像数据的图案图像存储装置310。图案图像存储装置310可以是例如管理装置300所具有的存储装置的一部分。
[0022]图案图像存储装置310中按每个检查对象物保存预先生成的图案图像数据。换言之，图案图像存储装置310将识别检查对象物的信息和图案图像数据对应起来保存。
[0023]在本实施方式中，例如，一个检查对象物可以与多个图案图像数据对应。在这种情况下，如果确定了检查对象物，则管理装置300将与检查对象物对应的图案图像数据发送到检查装置200。
[0024]如此，在本实施方式中，通过对检查对象物照射多个图案图像数据并拍摄反射光，可以简单地改变照射到检查对象物上的光的位置。
[0025]在本实施方式中，由于每个检查对象物的图案图像数据被保存在图案图像存储装置310中，所以无论检查对象物的种类和形状如何，都可以用检查装置200进行检查。
[0026]在本实施方式中，如果与检查对象物对应的图案图像数据没有被保存在图案图像存储装置310中，则管理装置300只要生成与检查对象物对应的图案图像数据，就可以进行检查。
[0027]与检查对象物相对应的图案图像数据，也可以例如依次切换保存在图案图像存储装置310中的图案图像数据，照射到检查对象物250上，而后决定从摄像装置260得到的图像数据中最合适的图象数据。
[0028]这样，根据本实施方式，即使是在进行例如少量多品种的检查对象物的检查的情况下，也只要根据检查对象物切换图案图像数据，就可以进行各检查对象物的检查，可以提高检查装置200的通用性。
[0029]接着参考图2至图4，说明本实施方式的检查装置200。图2是检查装置的外观图。图3是检查装置框部的示意图。图4是图2所示的检查装置的A
‑
A剖面图。以下，为了方便说明，将图中Z轴方向作为上下方向，Y轴方向作为前后方向，X轴方向作为左右方向。
[0030]本实施方式的检查装置200具有投影装置210(参见图3)、盖罩部件215、框体220、框架部225、226、台座(夹具)230。
[0031]投影装置210被固定在框架部225上，以被盖罩部件215罩住的状态固定在框体220的上部。投影装置210基于检查装置200送来的图案图像数据，向框体220的内部照射光。
[0032]框体220被安装成覆盖框架部226的周围，防止外光照射到检查对象物上。框体220的内侧为黑色。本实施方式由于具有该框体220，可以不受检查装置200的设置场所所带来的环境变化的影响，实施高再现性的检查。
[0033]框体220具有插入台座230的开口部240。
[0034]台座230是针对每个检查对象物250，按照检查对象物250的种类和形状等预先制作的。台座230以其上设置了检查对象物250的状态插入开口部240。
[0035]另外，在图2的示例中基座230是插入开口部240，但不局限于此。在本实施方式的检查装置200中，开口部240既可以形成为前后方向贯通的隧道型，也可以将检查装置200设置成跨越检查对象物250的生产线。也可以使设置有检查对象物250的台座230在前后方向上滑动。
[0036]框架部225是用于固定投影装置210和盖罩部件215的部件。框架部226安装有用来固定摄像装置260的固定部件270。在固定部件270的前端固定了摄像装置260。固定部件270和摄像装置260被配置在不会遮挡照射到检查对象物250(工件)上的光的位置。
[0037]摄像装置260拍摄受到投影装置210所投影的光照射的状态下的检查对象物，将拍摄的图像数据发送到管理装置300。
[0038]接着，参考图5说明本实施方式的管理装置300送往投影装置210的图案图像数据。图5是用来说明第一实施方式的图案图像数据的示意图。
[0039]图5所示的图案图像51、52、53、54分别是投影管理装置300的图案图像存储装置310中保存的图案图像数据时的投影图像。
[0040]图案图像存储装置310中保存的图案图像数据既可以预先在管理装置300本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检查装置，其中具有：投影装置，其根据与检查对象物对应、且用来确定照射到上述检查对象物上的光的图案的图案图像数据，对上述检查对象物照射光；以及摄像装置，其拍摄受到所述投影装置照射光的所述检查对象物，并输出拍摄的图像数据。2.根据权利要求1所述的检查装置，其中具有反射部件，该反射部件用于向所述检查对象物的方向反射所述投影装置照射的光。3.根据权利要求1所述的检查装置，其中具有发散部件，该发散部件被设置成覆盖所述检查对象物和所述摄像装置，用来发散所述投影装置照射的光。4.根据权利要求2所述的检查装置，其中具有覆盖所述检查对象物和所述摄像装置的框体，所述反射部件被设置在所述框体侧面的内侧，使得所述投影装置照射的光反射到所述框体的内侧。5.根据权利要求3所述的检查装置，其中具有覆盖所述检查对象物和所述摄像装置的框体，所述发散部件被设置成在所述框体内覆盖...

【专利技术属性】
技术研发人员：岸秀信，日野真，
申请(专利权)人：株式会社理光，
类型：发明
国别省市：