一种多晶硅基体金属消解加热装置制造方法及图纸

技术编号:32881244 阅读:19 留言:0更新日期:2022-04-02 12:14
本实用新型专利技术公开了一种多晶硅基体金属消解加热装置,包括加热盘、控制台、传动机构以及通风橱,加热盘可转动地设置在控制台上,传动机构连接转轴;加热盘的上表面设有多个样品放置区域,所有的样品放置区域沿周向间隔地设置在加热盘上的与转轴同轴的同一个圆周上;加热盘设于通风橱内,且通风橱的顶部开设有正投影落于样品放置区域所在的圆周上的试剂加入孔。本实用新型专利技术采用旋转式的加热盘固定在通风橱内,在加热盘旋转的过程中,各样品可随加热盘进行转动,在加入试剂时,只需在通风橱上固定的试剂加入孔操作加入试剂即可,可以为各样品的消解过程创造一个相对稳定、一致的环境,减少消解过程中对样品的污染,保证多晶硅基体金属检测的稳定性。属检测的稳定性。属检测的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种多晶硅基体金属消解加热装置


[0001]本技术涉及多晶硅检测
,尤其涉及一种多晶硅基体金属消解加热装置。

技术介绍

[0002]多晶硅基体金属检测属于痕量检测,检测结果达到ppt(part per trillion,万亿分率)级别,检测过程中有效控制污染是获得准确数据的有效方法。
[0003]现有技术中,多晶硅样品消解过程中的加热装置采用的是电热板,通过固定装置将电热板固定在试验台上,各样品在电热板上的摆放位置始终固定不变。试剂加入过程中,人的身体部位经过试剂杯上方极易造成污染物落入消解样品中,因此,此种固定的加热装置不利于试剂的加入,也导致消解过程中每个样品所处环境不同,空白及平行样检测结果均有一定差距。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术存在的不足,本技术提供了一种多晶硅基体金属消解加热装置,可以为各样品的消解过程创造一个相对稳定、一致的环境,减少消解过程中对样品的污染,保证多晶硅基体金属检测的稳定性。
[0005]为了实现上述的目的,本技术采用了如下的技术方案:
[0006]一种多晶硅基体金属消解加热装置,包括加热盘、控制台、传动机构以及内设容纳空间的通风橱,所述加热盘通过其底部的转轴可转动地设置在所述控制台上,所述传动机构连接所述转轴以驱动所述加热盘绕其轴心旋转;所述加热盘的上表面设有多个样品放置区域,所有的所述样品放置区域沿周向间隔地设置在所述加热盘上的与所述转轴同轴的同一个圆周上;所述加热盘设于所述通风橱内,且所述通风橱的顶部开设有正投影落于所述样品放置区域所在的所述圆周上的试剂加入孔。
[0007]作为其中一种实施方式,所述传动机构包括驱动马达、连接所述驱动马达的主动齿轮以及固定在所述转轴上、与所述主动齿轮啮合的从动齿轮,所述驱动马达固定在所述控制台上,用于驱动所述主动齿轮转动,以带动所述加热盘旋转。
[0008]作为其中一种实施方式,所述控制台容纳于所述通风橱内。
[0009]作为其中一种实施方式,所述多晶硅基体金属消解加热装置还包括设于所述通风橱外的线控装置,所述通风橱的侧壁开设有过线孔,所述传动机构的信号线穿过所述过线孔后与所述线控装置连接。
[0010]作为其中一种实施方式,所述试剂加入孔为多个,间隔地设置在所述通风橱的顶部。
[0011]作为其中一种实施方式,所述控制台包括顶板和自所述顶板背向所述加热盘延伸的筒状侧壁,所述筒状侧壁的底部固定在所述通风橱的底板上,与所述顶板配合将所述传动机构包围于其中。
[0012]作为其中一种实施方式,所述通风橱的左右两侧侧壁上分别开设有进气孔和排气孔。
[0013]作为其中一种实施方式,所述加热盘还包括设于其上表面的对位标记,所述通风橱的顶部内表面固定有传感器,所述传感器与所述对位标记正对时,所述试剂加入孔与其中一个所述样品放置区域正对。
[0014]本技术采用旋转式的加热盘固定在通风橱内,在加热盘旋转的过程中,其上的多个部位的样品可随加热盘进行转动,在加入试剂时,只需在通风橱上固定的试剂加入孔操作加入试剂即可,可以为各样品的消解过程创造一个相对稳定、一致的环境,减少消解过程中对样品的污染,保证多晶硅基体金属检测的稳定性。
附图说明
[0015]图1为本技术实施例的一种多晶硅基体金属消解加热装置的局部剖视图;
[0016]图2为本技术实施例的一种多晶硅基体金属消解加热装置的局部结构示意图;
[0017]图3为本技术实施例的一种多晶硅基体金属消解加热装置的内部结构示意图。
具体实施方式
[0018]在本技术中,术语“设置”、“设有”、“连接”应做广义理解。例如,可以是固定连接,可拆卸连接,或整体式构造;可以是机械连接,或电连接;可以是直接相连,或者是通过中间媒介间接相连,又或者是两个装置、元件或组成部分之间内部的连通。对于本领域普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0019]术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本申请和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本申请的限制。
[0020]此外,在本申请的描述中,“多个”的含义是至少两个,例如两个,三个等,除非另有明确具体的限定。
[0021]并且,上述部分术语除了可以用于表示方位或位置关系以外,还可能用于表示其他含义,例如术语“上”在某些情况下也可能用于表示某种依附关系或连接关系。对于本领域普通技术人员而言,可以根据具体情况理解这些术语在本技术中的具体含义。
[0022]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施例,对本技术进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术,并不用于限定本技术。
[0023]参阅图1和图2,本技术实施例提供了一种多晶硅基体金属消解加热装置,包括加热盘10、控制台20、传动机构30以及内设容纳空间的通风橱40,加热盘10呈圆盘状,具有连接其底部的转轴11,转轴11与加热盘10同心,加热盘10通过其底部的转轴11可转动地设置在控制台20上。传动机构30连接转轴11以驱动加热盘10绕其轴心旋转,加热盘10的上
表面设有多个样品放置区域101,所有的样品放置区域101沿周向间隔地设置在加热盘10上的与转轴11同轴的同一个圆周上。加热盘10设于通风橱40内,且通风橱40的顶部开设有正投影落于样品放置区域101所在的圆周上的试剂加入孔400。
[0024]通过将加热盘10的表面布置有若干在周向上间隔的样品放置区域101,使得放置在各样品放置区域101的消解杯1布置在同一个圆周上,又通过在通风橱40的顶部开设的试剂加入孔400正对下方的圆周,使得试剂加入过程中,人的身体部位无需伸入通风橱40内,只需通过通风橱40的试剂加入孔400滴入试剂,即可使得试剂精准落入对应的消解杯1内,而且,通风橱40也隔绝了外部污染物,不会造成污染物落入消解样品中的现象发生。通过控制加热盘10匀速转动,既保证了样品在整个样品消解过程中处于一个相同和稳定的环境,又可以保证在固定的最适宜的点加入试剂,无需复杂的操作。通过对圆形加热盘10上的各样品放置区域101编号,还可以有效解决样品消解过程中造成样品混淆的问题。
[0025]如图2和图3所示,本实施例中,传动机构30包括驱动马达31、连接驱动马达31的主动齿轮32以及固定在转轴11上、与主动齿轮32啮合的从动齿轮33,驱动马达31固定在控制台20上,用于驱动主动齿轮32转动,以带动加热盘10旋转。
[0026]比较优选的是,控制台20也容纳于通风橱4本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅基体金属消解加热装置,其特征在于,包括加热盘(10)、控制台(20)、传动机构(30)以及内设容纳空间的通风橱(40),所述加热盘(10)通过其底部的转轴(11)可转动地设置在所述控制台(20)上,所述传动机构(30)连接所述转轴(11)以驱动所述加热盘(10)绕其轴心旋转;所述加热盘(10)的上表面设有多个样品放置区域(101),所有的所述样品放置区域(101)沿周向间隔地设置在所述加热盘(10)上的与所述转轴(11)同轴的同一个圆周上;所述加热盘(10)设于所述通风橱(40)内,且所述通风橱(40)的顶部开设有正投影落于所述样品放置区域(101)所在的所述圆周上的试剂加入孔(400)。2.根据权利要求1所述的多晶硅基体金属消解加热装置,其特征在于,所述传动机构(30)包括驱动马达(31)、连接所述驱动马达(31)的主动齿轮(32)以及固定在所述转轴(11)上、与所述主动齿轮(32)啮合的从动齿轮(33),所述驱动马达(31)固定在所述控制台(20)上,用于驱动所述主动齿轮(32)转动,以带动所述加热盘(10)旋转。3.根据权利要求2所述的多晶硅基体金属消解加热装置,其特征在于,所述控制台(20)容纳于所述通风橱(40)内。4.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员:岳峥薛心禄杨晓青王志强李升业
申请(专利权)人:青海芯测科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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