放射线检测模块、放射线检测器和放射线检测模块的制造方法技术

本发明专利技术的实施方式所涉及的放射线检测模块包括具有多个光电转换部的阵列基板、覆盖设置有所述多个光电转换部的区域且俯视时的尺寸大于设置有所述多个光电转换部的区域的闪烁体、以及设置在所述闪烁体上并能够吸收可见光的吸光部。在俯视时，所述吸光部设置在设置有所述多个光电转换部的区域的外侧。有所述多个光电转换部的区域的外侧。有所述多个光电转换部的区域的外侧。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】放射线检测模块、放射线检测器和放射线检测模块的制造方法


[0001]本专利技术的实施方式涉及放射线检测模块、放射线检测器和放射线检测模块的制造方法。

技术介绍

[0002]放射线检测器的一个例子包括X射线检测器。在X射线检测器上设置有用于将X射线转换为荧光的闪烁体和用于将荧光转换为电荷的阵列基板。在这种情况下，在阵列基板上设置有多个光电转换部。闪烁体设置在阵列基板的设置有多个光电转换部的区域(有效像素区域)上。这里，仅在有效像素区域上形成闪烁体是困难的。因此，闪烁体还设置在有效像素区域的外侧附近。在这种情况下，X射线有时也入射到位于有效像素区域外侧的闪烁体。因此，有时在位于有效像素区域外侧的闪烁体中也会产生荧光。另外，来自外部的光有时会侵入闪烁体。
[0003]为了提高X射线图像的品质，优选将在各光电转换部上方产生的荧光转换为电荷。然而，在位于有效像素区域的外侧的闪烁体中产生的荧光有时在闪烁体的侧面等进行反射，并入射到光电转换部。在位于有效像素区域的外侧的闪烁体中产生的荧光和从外部侵入的光成为噪声的主要原因，因此当这些光入射到光电转换部时，X射线图像的品质有可能降低。因此，希望开发出一种能够提高放射线图像的品质的技术。现有技术文献专利文献
[0004]专利文献1：日本专利特开2009－128023号公报

技术实现思路

专利技术所要解决的技术问题
[0005]本专利技术要解决的问题是提供一种能够提高放射线图像品质的放射线检测模块、放射线检测器和放射线检测模块的制造方法。解决技术问题所采用的技术方案
[0006]实施方式所涉及的放射线检测模块包括：阵列基板，该阵列基板具有多个光电转换部；闪烁体，该闪烁体覆盖设置有所述多个光电转换部的区域，并且俯视时的尺寸大于设置有所述多个光电转换部的区域；以及吸光部，该吸光部设置在所述闪烁体上并能够吸收可见光。在俯视时，所述吸光部设置在设置有所述多个光电转换部的区域外侧。
附图说明
[0007]图1是用于例示本实施方式的X射线检测器的示意立体图。
图2是用于例示X射线检测模块的示意剖视图。图3是X射线检测器的框图。图4是用于例示荧光发生的情况的示意剖视图。
具体实施方式
[0008]下面，参照附图，对实施方式进行例示。另外，各图中，对同样的构成要素标注相同的标号并适当省略详细说明。本专利技术的实施方式的放射线检测器除了X射线以外，还能应用于γ射线等各种放射线。这里，作为一个例子，以放射线中具有代表性的X射线的情况为例进行说明。因此，通过将以下实施方式的“X射线”替换为“其它放射线”，从而也能应用于其它放射线。放射线检测器例如能用于一般医疗等。但放射线检测器的用途并不局限于一般医疗用途。另外，在本说明书中，“俯视”是指从放射线入射侧观察放射线检测器的情况。
[0009](X射线检测器1和X射线检测模块10)图1是用于例示本实施方式的X射线检测器1的示意立体图。为了避免变得复杂，图1中省略了保护层2f、反射部4、防潮部5和粘接部6等来进行描述。图2是用于例示X射线检测模块10的示意剖视图。图3是X射线检测器1的框图。
[0010]如图1和图2所示，在X射线检测器1中可以设置X射线检测模块10和电路基板11。另外，在X射线检测器1上可以设置有图未示出的壳体。X射线检测模块10和电路基板11可以设置在壳体的内部。例如，板状支承板可以设置在壳体的内部，X射线检测模块10可以设置在支承板的X射线的入射侧的面上，电路基板11可以设置在支承板的X射线的入射侧的相反侧的面上。
[0011]在X射线检测模块10中可以设置有阵列基板2、闪烁体3、反射部4、防潮部5、粘接部6和吸光部7。在阵列基板2中可以设置有基板2a、光电转换部2b、控制线(或栅极线)2c1、数据线(或信号线)2c2、布线焊盘2d1、布线焊盘2d2和保护层2f。另外，光电转换部2b、控制线2c1、以及数据线2c2的数量等并不限于所例示的情况。
[0012]基板2a呈板状，能够由无碱玻璃等玻璃形成。基板2a的平面形状可以是四边形。基板2a的厚度例如可以为0.7mm左右。能够在基板2a的一个面侧上设置有多个光电转换部2b。光电转换部2b可以呈矩形，并且设置在由控制线2c1和数据线2c2所划分出的区域中。多个光电转换部2b排列成矩阵状。另外，一个光电转换部2b例如对应于X射线图像中的一个像素(pixel)。
[0013]可以在多个光电转换部2b中分别设置光电转换元件2b1、以及作为开关元件的薄膜晶体管(TFT；Thin Film Transistor)2b2。另外，在光电转换元件2b1中，可以设置存储转换后的信号电荷的未图示的存储电容器。存储电容器例如呈矩形平板状，能设置在各薄膜晶体管2b2的下方。其中，根据光电转换元件2b1的容量，光电转换元件2b1能兼用作存储电
容器。
[0014]光电转换元件2b1例如可以是光电二极管等。薄膜晶体管2b2能够对将电荷存储到存储电容器和从存储电容器释放电荷进行开关。薄膜晶体管2b2具有栅极电极2b2a、漏极电极2b2b以及源极电极2b2c。薄膜晶体管2b2的栅极电极2b2a与对应的控制线2c1电连接。薄膜晶体管2b2的漏极电极2b2b与对应的数据线2c2电连接。薄膜晶体管2b2的源极电极2b2c能够电连接到对应的光电转换元件2b1和存储电容器。此外，光电转换元件2b1的阳极侧和存储电容器可以电连接到接地。此外，光电转换元件2b1的阳极侧和存储电容器也可以电连接到未图示出的偏置线。
[0015]多条控制线2c1可以隔开规定间隔相互平行地设置。例如，控制线2c1可以沿行方向延伸。一条控制线2c1与设置在基板2a的边缘附近的多个布线焊盘2d1中的一个电连接。一个布线焊盘2d2与设置在柔性印刷基板2e1上的多条布线中的一条电连接。设置在柔性印刷基板2e1上的多条布线的另一端可以分别电连接到设置在电路基板11上的读取电路11a。
[0016]多条数据线2c2可以隔开规定间隔相互平行地设置。例如，数据线2c2可以沿与行方向正交的列方向延伸。一条数据线2c2与设置在基板2a的边缘附近的多个布线焊盘2d2中的一个电连接。一个布线焊盘2d2与设置在柔性印刷基板2e2上的多条布线中的一条电连接。设置在柔性印刷基板2e2上的多条布线的另一端能够与设置在电路基板11中的信号检测电路11b分别电连接。控制线2c1、以及数据线2c2例如能使用铝、铬等低电阻金属来形成。
[0017]保护层2f可以具有第一层2f1和第二层2f2。第一层2f1可以覆盖光电转换部2b、控制线2c1和数据线2c2。第二层2f2可以设置在第一层2f1上。第一层2f1和第二层2f2可以由绝缘材料形成。绝缘材料可以是例如氧化物绝缘材料、氮化物绝缘材料、氮氧化合物绝缘材料和树脂等。
[0018]闪烁体3设置在多个光电转换部2b上，将入射的X射线转换为荧光即可见光。闪烁体3能够设置成覆盖基板2a上设有多个光电转换部2b的区域(有效像素区域A)。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种放射线检测模块，其特征在于，包括：阵列基板，该阵列基板具有多个光电转换部；闪烁体，该闪烁体覆盖设置有所述多个光电转换部的区域，并且俯视时的尺寸大于设置有所述多个光电转换部的区域；以及吸光部，该吸光部设置在所述闪烁体上并能够吸收可见光，在俯视时，所述吸光部设置在设置有所述多个光电转换部的区域的外侧。2.如权利要求1所述的放射线检测模块，其特征在于，所述吸光部设置在所述闪烁体的侧面。3.如权利要求1或2所述的放射线检测模块，其特征在于，还包括设置在所述闪烁体上的反射部，在俯视时，所述吸光部设置在所述反射部的外侧。4.如权利要求1至3中任一项所述的放射线检测模块，其特征在于，所述吸光部的颜色是黑色或近似于黑色的颜色。5.如权利要求4所述的放射线检测模块，其特征在于，所述近似于黑色的颜色...

【专利技术属性】
技术研发人员：会田博之，堀内弘，
申请(专利权)人：佳能电子管器件株式会社，
类型：发明
国别省市：