一种IC高精度检测输送设备制造技术

本实用新型专利技术提出了一种IC高精度检测输送设备，包括大理石机台，所述大理石机台的端部设有三轴模组、输送模组和联动可调输送装置，所述联动可调输送装置的输送方向与所述输送模组的输送方向垂直；所述联动可输送装置包括底座，所述底座上设有至少两组输送机构，所述输送机构包括固定输送组件和活动输送组件，所述固定输送组件通过支架固定于所述底座上，所述活动输送组件滑动连接于所述底座上，相邻输送机构的活动输送组件之间固定连接有连杆，本设备通过设置了大理石机台，能够保证整个机台的平整度，提高设备精度；设置了联动输送装置，能够同步调整多排输送机构的承载宽度，提高设备适用度。备适用度。备适用度。

【技术实现步骤摘要】
一种IC高精度检测输送设备


[0001]本技术涉及IC芯片输送设备领域，尤其涉及IC高精度检测输送设备。

技术介绍

[0002]IC芯片在检测完毕后，需要再次进行输送并分别输送至不同的产线上，并且由于产线，后续产线为多流道产线，IC需要通过检测不同型号后再输送至不同的流道，但是由于不同阶段输送的载盘型号不一致，现有技术中通常是固定的流道，导致不同规格载盘输送时需要更换输送装置，并且后部有多组流道，调整时极为繁琐，并且导致整个设备精度较差。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本技术提出了一种IC高精度检测输送设备，包括大理石机台，所述大理石机台的端部设有三轴模组、输送模组和联动可调输送装置，所述联动可调输送装置的输送方向与所述输送模组的输送方向垂直；所述联动可输送装置包括底座，所述底座上设有至少两组输送机构，所述输送机构包括固定输送组件和活动输送组件，所述固定输送组件通过支架固定于所述底座上，所述活动输送组件滑动连接于所述底座上，相邻输送机构的活动输送组件之间固定连接有连杆。
[0004]优选的，所述输送模组包括丝本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种IC高精度检测输送设备，其特征在于，包括大理石机台，所述大理石机台的端部设有三轴模组、输送模组和联动可调输送装置，所述联动可调输送装置的输送方向与所述输送模组的输送方向垂直；所述联动可输送装置包括底座，所述底座上设有至少两组输送机构，所述输送机构包括固定输送组件和活动输送组件，所述固定输送组件通过支架固定于所述底座上，所述活动输送组件滑动连接于所述底座上，相邻输送机构的活动输送组件之间固定连接有连杆。2.根据权利要求1所述的IC高精度检测输送设备，其特征在于，所述输送模组包括丝杆机构，所述丝杆机构两侧设有第一滑轨，所述丝杆机构的滑块卡于所述第一滑轨上并沿所述第一滑轨滑动，所述滑块上设有传送装置。3.根据权利要求2所述的IC高精度检测输送设备，其特征在于，所述传送装置包括平行设置的固定板和活动板，所述固定板和活动板上设有第一皮带，且所述第一皮带上连接有驱动机构，所述固定板和活动板之间设有顶升机构，所述顶升机构包括固定于所述滑块上的顶升气缸，所述顶升气缸输...

【专利技术属性】
技术研发人员：王成才，刘瑜，
申请(专利权)人：联烁半导体科技苏州股份有限公司，
类型：新型
国别省市：