一种超精密空气静压伺服转台制造技术

本发明专利技术公开了一种超精密空气静压伺服转台，包括支撑体、转动体、制动装置、以及力矩电机；所述转动体可转动地安装在支撑体内，所述力矩电机的定子固定在支撑体上，所述力矩电机的转子固定在转动体上；所述转动体包括轴套、下浮盘、设置在轴套上端的上浮盘；所述支撑体上设置有第一压缩气体气路、第二压缩气体气路、的第三压缩气体气路；所述制动装置用于抵顶于转动体上以限制转动体转动。本发明专利技术通过压缩气体流经第一压缩气体气路、第二压缩气体气路、第三压缩气体气路，对转动体形成径向、轴向支撑，可避免转动体与支撑体刚性接触，使其具有旋转精度高、承载能力强、结构紧凑、运转平稳、适用转速范围大、使用寿命长的优点。使用寿命长的优点。使用寿命长的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种超精密空气静压伺服转台


[0001]本专利技术涉及伺服转台领域，具体涉及一种超精密空气静压伺服转台。

技术介绍

[0002]伺服转台普遍应用在精密及超精密数控机床行业中，伺服转台是多种精密数控机床必不可少的基础功能部件，如带有旋转轴的车床、磨床、四轴机床、五轴机床，其伺服转台的精密程度决定了该机床的精度等级。
[0003]对于带有旋转轴的精密超精密数控机床，均要求其配置的伺服转台旋转精度高、刚度高、承载能力大、运转平稳、适用转速范围大、使用寿命长。但现有的伺服转台普遍采用滚动轴承支承，其旋转精度受限制，运转时滚动体与轴承滚道之间摩擦，容易产生振动，且容易磨损，使用一段时间后会降低精度，且承载能力较差。而虽然市面上出现了部分改进型的伺服转台，该改进型的伺服转台旋转精度较高，且承载能力强，但无法对伺服转台的转动体起到制动作用，从而远不能满足行业的高要求。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的不足，本专利技术的目的在于提供一种超精密空气静压伺服转台，其旋转精度高、承载能力强，并可对转动体起到制动作用。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超精密空气静压伺服转台，其特征在于：包括支撑体、转动体、制动装置、以及力矩电机；所述转动体可转动地安装在支撑体内，所述力矩电机的定子固定在支撑体上，所述力矩电机的转子固定在转动体上；所述转动体包括轴套、设置在轴套下端的下浮盘、设置在轴套上端的上浮盘；所述支撑体上设置有朝向于上浮盘下端面并供压缩气体流经的第一压缩气体气路、朝向于下浮盘上端面并供压缩气体流经的第二压缩气体气路、朝向于轴套外侧壁并供压缩气体流经的第三压缩气体气路；所述制动装置用于抵顶于转动体上以限制转动体转动。2.如权利要求1所述的超精密空气静压伺服转台，其特征在于：所述支撑体包括主座体、上轴向浮圈、下轴向浮圈、以及径向浮圈；所述上轴向浮圈、下轴向浮圈、以及径向浮圈均固定在主座体上；所述上轴向浮圈位于上浮盘的下方，所述下轴向浮圈位于下浮盘的上方，所述径向浮圈套设在轴套外。3.如权利要求2所述的超精密空气静压伺服转台，其特征在于：所述第一压缩气体气路包括由上轴向浮圈的底面与主座体围成并供压缩气体流经的上环形压缩气体通道、与上环形压缩气体通道连通并设置在上轴向浮圈上的第一节流孔。4.如权利要求2所述的超精密空气静压伺服转台，其特征在于：所述第二压缩气体气路包括由下轴向浮圈的顶面与主座体围成并供压缩气体流经的下环...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘红兵，李金明，李勤勤，王雪松，
申请(专利权)人：北京海普瑞森超精密技术有限公司，
类型：发明
国别省市：