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本发明公开了一种超精密空气静压伺服转台，包括支撑体、转动体、制动装置、以及力矩电机；所述转动体可转动地安装在支撑体内，所述力矩电机的定子固定在支撑体上，所述力矩电机的转子固定在转动体上；所述转动体包括轴套、下浮盘、设置在轴套上端的上浮盘；所...
该专利属于北京海普瑞森超精密技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京海普瑞森超精密技术有限公司授权不得商用。

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