一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘制造技术

本发明专利技术公开了一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，解决现有水冷天线对自身使用局限性以及对金刚石生长的不利影响。本发明专利技术包括锥形天线盘，与锥形天线盘相连的工艺气体进气管，以及套设于工艺气体进气管外并与锥形天线盘相连的水冷管；锥形天线盘内设有冷却水腔，锥形天线盘设有与工艺气体进气管相连的气流分散盘，水冷管包括同轴套设于工艺气体进气管外的冷却进水管、以及同轴套设于冷却进水管外的冷却回水管，冷却进水管和冷却回水管均与冷却水腔相连通。本发明专利技术结构简单、设计科学合理、使用方便，能够有效带走天线使用过程中产生的的热量，同时可均匀布气保证了生长的金刚石材料的质量稳定性。石材料的质量稳定性。石材料的质量稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘


[0001]本专利技术属于金刚石加工
，具体涉及一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘。

技术介绍

[0002]微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)是制备高品质金刚石的首选方法，已在现在工业量产中取得了大量的应用。这是因为与产生等离子体的其他方法相比，微波激发的等离子体具有无电极物质污染、可控性好、等离子体密度高等一系列优点。MPCVD装置的核心部件之一是用于模式转换的天线，微波天线的设计结构直接影响着MPCVD装置内等离子体的分布和稳定性。
[0003]现阶段常用的圆柱形谐振腔由采用TM013的谐振模式，采用一块圆片状的石英板作为微波窗口，形成的等离子体位于石英板的正下方且距离较近，等离子体产生的活性离子对石英板产生严重的轰击，刻蚀掉的硅原子污染生长气氛，造成金刚石的硅污染。并且石英板受到等离子体的烘烤温度可达200℃以上，石英板上用于密封用的橡胶圈在高温下很容易老化造成漏气。同时，石英窗与等离子体区域之间出现微波电场的次强区，在输入的微波功率较高时、或者腔体压力和输入功率不匹配时，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，包括锥形天线盘(1)，与锥形天线盘(1)相连的工艺气体进气管(2)，以及套设于工艺气体进气管(2)外并与锥形天线盘(1)相连的水冷管(3)；锥形天线盘(1)内设有冷却水腔(4)，锥形天线盘(1)设有与工艺气体进气管(2)相连的气流分散盘(6)，水冷管(3)包括同轴套设于工艺气体进气管(2)外的冷却进水管(31)、以及同轴套设于冷却进水管(31)外的冷却回水管(32)，冷却进水管(31)和冷却回水管(32)均与冷却水腔(4)相连通。2.根据权利要求1所述的一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，冷却水腔(4)内设有隔水板(5)，隔水板(5)将冷却水腔(4)由上而下分隔为回水腔(41)和冷却腔(42)，隔水板(5)外缘周向均布设有若干个用于连通冷却腔(42)和回水腔(41)的回水缺口(51)。3.根据权利要求2所述的一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，隔水板(5)中心开设有与冷却进水管(31)相适配的进水通孔(52)，冷却进水管(31)密封嵌装于进水通孔(52)内并与冷却腔(42)相连通，冷却回水管(32)穿设至锥形天线盘(1)内并与回水腔(41)相连通。4.根据权利要求1所述的一种具有水冷却和进气功能的微波锥形天线盘，其特征在于，气流分散盘(6)上均布有若干个布气通孔(61)。5.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁稳，袁良，郑怡，
申请(专利权)人：成都稳正科技有限公司，
类型：发明
国别省市：