一种可减少层厚差异的LTCC滤波器及其制备方法技术

技术编号:32835263 阅读:17 留言:0更新日期:2022-03-26 20:54
本发明专利技术公开了一种可减少层厚差异的LTCC滤波器及其制备方法,该LTCC滤波器包括均匀堆叠的若干功能层,功能层包括上下堆叠的功能带和生瓷带,功能带包括交替排列设置的金属电极和陶瓷浆料印刷层。该LTCC滤波器的制备方法主要为通过印刷陶瓷浆料技术,直接避过覆盖的金属电极而将陶瓷浆料印刷于生瓷带上,避免生胚烧结时因金属电极厚度及生瓷磁带收缩问题造成的层厚差异,避免LTCC滤波器电性上发生频偏。偏。

【技术实现步骤摘要】
一种可减少层厚差异的LTCC滤波器及其制备方法


[0001]本专利技术属于LTCC滤波器
,具体涉及到一种可减少层厚差异的LTCC滤波器及其制备方法。

技术介绍

[0002]射频(Radio frequency,简称RF),又称无线电频率、无线射频、高周波,为在3kHz~300GHz之间频率范围内震荡频率,这个频率相当于无线电波的频率,以及携带着无线电信号的交流电频率。LTCC滤波器,是由电感和电容组成的滤波电路所构成,它允许有用信号的电流通过,对频率较高的干扰信号则有较大的衰减,因此作为无线射频组件,移动通信设备等领域得到广泛的应用,例如:手机、WLAN、蓝牙、功率放大器、汽车电子等。
[0003]LTCC技术,是将微波介质陶瓷粉料制成厚度精确而且致密的生瓷带,LTCC技术设计影响频率准确性的主要原因在于生瓷带烧结后的陶瓷介层,而生瓷带的传统生产工艺是将乙醇、甲苯、聚醚磷酸酯、聚乙烯醇缩丁醛和邻苯二甲酸二异丁酯、LTCC微波介质陶瓷粉料按比例称取后进行球磨,再将浆料进行真空除泡,将真空除泡后得到的浆料在流延机上进行流延,流延过程需使用乘载膜将浆料涂布在生瓷带上,乘载膜烘干干燥后得到LTCC生瓷带;其中浆料瓷粉固含量可以达到40%~60%。
[0004]在生瓷带上利用激光打孔技术形成通孔、模具孔及对准孔。通孔是在生瓷片上打出的小孔,用在不同层上以互连电路。利用厚膜印刷技术对导体浆料进行印刷和烘干。通孔填充和导体图形按相关工艺温度和时间进行烘干。在生瓷带上制出所需要的电路图形,然后叠压在一起,接续排胶后于900℃下烧结,可进一步将电路小型化与高密度化,特别适合用于高频通讯用组件。
[0005]在LTCC滤波器特性中,频率是其极为重要点,而且影响频偏主要原因是生瓷带烧结后的陶瓷介层厚度的问题,因为在生瓷带上印刷6μm~18μm的金属电极的堆叠和烧结过程中,金属电极于生瓷带上的厚度影响,生瓷带因堆栈压力及烧结收缩问题,会造成烧结形成的陶瓷介层厚度差异影响频率。

技术实现思路

[0006]本专利技术的目的是提供一种可减少层厚差异的LTCC滤波器及其制备方法,可以通过印刷陶瓷浆料技术,避免生胚烧结时,因金属电极厚度及生瓷带收缩问题造成层厚差异,进而导致LTCC滤波器电性上发生频偏的问题。
[0007]为达上述目的,本专利技术提供了一种可减少层厚差异的LTCC滤波器,包括均匀堆叠的若干功能层,功能层包括上下堆叠的功能带和生瓷带,功能带包括交替排列设置的金属电极和陶瓷浆料印刷层。
[0008]进一步地,金属电极和陶瓷浆料印刷层的厚度均为6~18μm,生瓷带的厚度为15~120μm。
[0009]进一步地,陶瓷浆料印刷层的的材料为陶瓷浆料,陶瓷浆料包括以下重量份组分:
LTCC微波介质陶瓷粉50~90份、高分子树脂3~5份和有机溶剂5~45份,陶瓷浆料的黏度为40~300Pa
·
s,固含量为50~90%。
[0010]进一步地,LTCC微波介质陶瓷粉包括以下重量份组分:SiO
2 40~56份、Al2O
3 40~44份、B2O
3 0~1份以及TiO
2 0~2份,LTCC微波介质陶瓷粉的粒径为0.8~4.0μm。
[0011]进一步地,高分子树脂为乙基纤维素、聚乙烯醇缩丁醛树脂和甲基丙烯酸异丁酯树脂中的一种或几种
[0012]进一步地,有机溶剂为松油醇、二乙二醇丁醚和二乙二醇单乙基醚醋酸酯中的一种或几种。
[0013]一种可减少层厚差异的LTCC滤波器的制备方法,包括以下步骤:
[0014](1)于生瓷带上通过激光打孔、微孔注浆以及精密印刷制备出电路图形,将电路图形加热烘干后制得覆盖有金属电极的生瓷带;
[0015](2)将陶瓷浆料印刷层印刷于步骤(1)制备的覆盖有金属电极的生瓷带上,制得交替排列覆盖有金属电极和陶瓷浆料印刷层的生瓷带;
[0016](3)将步骤(2)制得的生瓷带加热烘干后叠压,再于250~450℃条件下排胶,并于850~950℃条件下烧结,即可制得可减少层厚差异的LTCC滤波器。
[0017]进一步地,激光打孔具体为利用激光于生瓷带上打出通孔、模具孔以及对准孔。
[0018]进一步地,步骤(1)中的加热温度为75~85℃,加热时间为8~12min。
[0019]进一步地,步骤(3)中的加热温温度为90~110℃,加热时间为8~12min。
[0020]综上所述,本专利技术具有以下优点:
[0021]本专利技术通过印刷陶瓷浆料技术,取代利用流延工艺乘载膜乘载制作生瓷带的技术,其中直接印刷可缩减整个工艺流程,并且不须使用乘载膜,也可避过印刷的金属电极将陶瓷浆料印刷于生瓷带上,准确减少金属电极于生瓷带上的厚度影响,以及生瓷带因堆栈压力和烧结收缩问题造成的层厚差异。同时可以避免生坯在烧结时因为6~18μm的层厚差异造成产品发生1~5GHz的频偏,因此避免了LTCC滤波器电性上频偏的发生,大幅度提高了LTCC滤波器的产品质量。
附图说明
[0022]图1为本专利技术中功能层的示意图;
[0023]图2为可减少层厚差异的LTCC滤波器功能层堆叠的示意图。
具体实施方式
[0024]以下结合实施例对本专利技术的原理和特征进行描述,所举实例只用于解释本专利技术,并非用于限定本专利技术的范围。实施例中未注明具体条件者,按照常规条件或制造商建议的条件进行。所用试剂或仪器未注明生产厂商者,均为可以通过市售购买获得的常规产品。
[0025]实施例1
[0026]本实施例提供了一种可减少层厚差异的LTCC滤波器的制备方法,包括以下步骤:
[0027](1)于生瓷带上通过激光打孔、微孔注浆以及精密印刷制备出电路图形,将电路图形加热烘干后制得覆盖有金属电极的生瓷带;其中加热温度为80℃,加热时间为10min。
[0028](2)将陶瓷浆料印刷层印刷于步骤(1)制备的覆盖有金属电极的生瓷带上,制得交
替排列覆盖有金属电极和陶瓷浆料印刷层的生瓷带,如图1所示;
[0029](3)将步骤(2)制得的生瓷带加热烘干后叠压,接续排胶后再于900℃条件下烧结,即可制得可减少层厚差异的LTCC滤波器,如图2所示。其中加热温度为100℃,加热时间为10min,排胶的温度为250℃。
[0030]其中,陶瓷浆料的固含量为50%,粘度为48Pa
·
s,陶瓷浆料包括以下重量份组分:LTCC微波介质陶瓷粉50份、乙基纤维素5份和松油醇45份。LTCC微波介质陶瓷粉包括以下重量份组分:SiO
2 54份、Al2O
3 43份、B2O
3 1份以及TiO
2 2份。
[0031]实施例2
[0032]本实施例提供了一种可减少层厚差异的LTCC滤波器的制备方法,包括以下步骤:
[0033](1)于生瓷带上通过激光打孔、微孔注浆以及精密印刷制备出电路图本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可减少层厚差异的LTCC滤波器,其特征在于,包括均匀堆叠的若干功能层,所述功能层包括上下堆叠的功能带和生瓷带,所述功能带包括交替排列设置的金属电极和陶瓷浆料印刷层。2.如权利要求1所述的可减少层厚差异的LTCC滤波器,其特征在于,所述金属电极和陶瓷浆料印刷层的厚度均为6~18μm,所述生瓷带的厚度为15~120μm。3.如权利要求1所述的可减少层厚差异的LTCC滤波器,其特征在于,所述陶瓷浆料印刷层的的材料为陶瓷浆料,所述陶瓷浆料包括以下重量份组分:LTCC微波介质陶瓷粉50~90份、高分子树脂3~5份和有机溶剂5~45份,所述陶瓷浆料的黏度为40~300Pa
·
s,固含量为50~90%。4.如权利要求3所述的可减少层厚差异的LTCC滤波器,其特征在于,所述LTCC微波介质陶瓷粉包括以下重量份组分:SiO
2 40~56份、Al2O
3 40~44份、B2O
3 0~1份以及TiO
2 0~2份,所述LTCC微波介质陶瓷粉的粒径为0.8~4.0μm。5.如权利要求3所述的可减少层厚差异的LTCC滤波器,其特征在于,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:庄乃川林建志王洪洋钱可伟
申请(专利权)人:江苏飞特尔通信有限公司
类型:发明
国别省市:

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