质量流量计校准系统技术方案

本发明专利技术公开了一种质量流量计校准系统，包含：气源模块，气源模块用于输出测量用的气体；调压过滤模块，调压过滤模块与气源模块相连，用于对气源模块输出的气体进行过滤调压；电子测量模块，电子测量模块与调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；物理测量模块，物理测量模块与调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；控制模块，控制模块与调压过滤模块、电子测量模块以及物理测量模块相连。本发明专利技术弥补了国内高精度气体质量流量计的校准空白，使用物理与电子两种测试结合的方式，来对气体质量流量计进行校准，保证校准的精确度。保证校准的精确度。保证校准的精确度。

【技术实现步骤摘要】
质量流量计校准系统


[0001]本专利技术涉及流量计校准
，特别涉及一种质量流量计校准系统。

技术介绍

[0002]目前国内对于高精度气体质量流量计的校准处于空白，无法对高精度气体质量流量计进行精准的校准，使得只能借助外国的校准技术进行高精度气体质量的校准，从而来满足12寸芯片生产的矫正服务，并且现有的高精度气体质量流量计的校准精度不高，难以实现精确的校准。
[0003]
技术实现思路

[0004]根据本专利技术实施例，提供了一种质量流量计校准系统，包含：气源模块，气源模块用于输出测量用的气体；调压过滤模块，调压过滤模块与气源模块相连，用于对气源模块输出的气体进行过滤调压；电子测量模块，电子测量模块与调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；物理测量模块，物理测量模块与调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；控制模块，控制模块与调压过滤模块、电子测量模块以及物理测量模块相连。
[0005]进一步，气源模块包含：气体钢瓶，气体钢瓶与调压过滤模块相连，用于输出测量的气体。
[0006]进一步，调压过滤模块包含：第一调压器，第一调压器的一端与气源模块相连；第一压力变送器，第一压力变送器的一端与第一调压器的另一端相连，第一压力变送器与控制模块信号连接；过滤组件，过滤组件与第一压力变送器的另一端相连，用于过滤气体；第二调压器，第二调压器的一端与过滤组件相连；温度变送器，温度变送器的一端与第二调压器的另一端相连，温度变送器与控制模块信号连接；第二压力变送器，第二压力变送器的一端与温度变送器的另一端相连，第二压力变送器的另一端与电子测量模块、物理测量模块相连，第二压力变送器与控制模块信号连接。
[0007]进一步，过滤组件包含：气体过滤器，气体过滤器的一端与第一压力变送器的另一端相连；第一手动阀门，第一手动阀门的一端与气体过滤器的另一端相连；气体纯化器，气体纯化器的一端与第一手动阀门的另一端相连；第二手动阀门，第二手动阀门的一端与气体纯化器的另一端相连，第二手动阀门
的另一端与第二调压器的一端相连。
[0008]进一步，电子测量模块包含：第一气动阀门，第一气动阀门的一端与调压过滤模块相连，第一气动阀门与控制模块电性连接；第一校准置物位，第一校准置物位的一端与第一气动阀门的另一端相连，用于放置待测的流量计；第二气动阀门，第二气动阀门的一端与第一校准置物位的另一端相连，第二气动阀门与控制模块电性连接；流量计量器，流量计量器与第二气动阀门的另一端相连，流量计量器与控制模块信号连接。
[0009]进一步，物理测量模块包含：第三气动阀门，第三气动阀门的一端与调压过滤模块相连；第二校准置物位，第二校准置物位的一端与第三气动阀门的另一端相连，用于放置待测的流量计；第四气动阀门，第四气动阀门的一端与第二校准置物位的另一端相连，第四气动阀门与控制模块电性连接；真空物理测量箱，真空物理测量箱的一端与第四气动阀门的另一端相连；抽真空组件，抽真空组件与真空物理测量箱、控制模块相连，用于对真空物理测量箱抽真空；第五气动阀门，第五气动阀门的一端与真空物理测量箱相连，第五气动阀门与控制模块电性连接；压力信号传感器，压力信号传感器与第五气动阀门的另一端相连，压力信号传感器与控制模块信号连接。
[0010]进一步，第五气动阀门和压力信号传感器的数量相匹配，均可为多个。
[0011]进一步，抽真空组件包含：真空阀门，真空阀门的一端与真空物理测量箱相连，真空阀门与控制模块电性连接；真空泵，真空泵与真空阀门的另一端相连。
[0012]进一步，控制模块包含：控制器，控制器与调压过滤模块、电子测量模块物理测量模块相连。
[0013]根据本专利技术实施例的质量流量计校准系统，本案弥补了国内高精度气体质量流量计的校准空白，使用物理与电子两种测试结合的方式，来对气体质量流量计进行校准，保证校准的精确度。
[0014]要理解的是，前面的一般描述和下面的详细描述两者都是示例性的，并 且意图在于提供要求保护的技术的进一步说明。
[0015]附图说明
[0016]图1为根据本专利技术实施例质量流量计校准系统的整体结构框图。
[0017]具体实施方式
[0018]以下将结合附图，详细描述本专利技术的优选实施例，对本专利技术做进一步阐述。
[0019]首先，将结合图1描述根据本专利技术实施例的质量流量计校准系统，用于质量流量计的校准，其应用场景很广。
[0020]如图1所示，本专利技术实施例的质量流量计校准系统，具有气源模块、调压过滤模块、电子测量模块、物理测量模块以及控制模块。
[0021]具体地，如图1所示，在本实施例中，气源模块用于输出测量用的气体，气体采用氮气，调压过滤模块与气源模块相连，用于对气源模块输出的气体进行过滤调压，电子测量模块与调压过滤模块相连，用于运用电子测量方式对待测的流量计进行测量，物理测量模块与调压过滤模块相连，用于运用物理测量方式对待测的流量计进行测量，通过采用电子测量和物理测量双重方式进行校准，可以极大的保证校准精确度，控制模块与调压过滤模块、电子测量模块以及物理测量模块相连，控制模块用于进行控制以及测量数据的显示。
[0022]进一步，如图1所示，在本实施例中，气源模块包含：气体钢瓶11，气体钢瓶11与调压过滤模块相连，用于存放测量的气体，并输出测量的气体。
[0023]进一步，如图1所示，在本实施例中，调压过滤模块包含：第一调压器21、第一压力变送器22、过滤组件、第二调压器24、温度变送器25以及第二压力变送器26。第一调压器21的一端与气源模块相连，第一调压器21用于进行一次压力的调节，第一压力变送器22的一端与第一调压器21的另一端相连，第一压力变送器22与控制模块信号连接，第一压力变送器22用于将检测到的压力数据传送给控制模块，过滤组件与第一压力变送器22的另一端相连，用于过滤气体，进行气体的纯化，第二调压器24的一端与过滤组件相连，第二调压器24用于二次压力的调节，温度变送器25的一端与第二调压器24的另一端相连，温度变送器25与控制模块信号连接，温度变送器25的用于将检测到的温度数据传送至控制模块，第二压力变送器26的一端与温度变送器25的另一端相连，第二压力变送器26的另一端与电子测量模块、物理测量模块相连，第二压力变送器26与控制模块信号连接，第二压力变送器26用于将检测到的压力数据传送至控制模块。
[0024]进一步，如图1所示，在本实施例中，过滤组件包含：气体过滤器231、第一手动阀门232、气体纯化器233以及第二手动阀门234。气体过滤器231的一端与第一压力变送器22的另一端相连，气体过滤器231用于过滤气源气体内的颗粒物，第一手动阀门232的一端与气体过滤器231的另一端相连，第一手动阀门232用于控制气体输送的通断，气体纯化器233的一端与第一手动阀门232的另一端相连，气体纯化器233用于对气源气体进行纯化，纯度大于等于99.99999%，第二手动阀门234的一端与气体纯化器233的另一端相连，第二手动阀本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种质量流量计校准系统，其特征在于，包含：气源模块，所述气源模块用于输出测量用的气体；调压过滤模块，所述调压过滤模块与所述气源模块相连，用于对所述气源模块输出的气体进行过滤调压；电子测量模块，所述电子测量模块与所述调压过滤模块相连，用于测量待测的流量计；物理测量模块，所述物理测量模块与所述调压过滤模块相连，用于测量所述待测的流量计；控制模块，所述控制模块与所述调压过滤模块、所述电子测量模块以及所述物理测量模块相连。2.如权利要求1所述质量流量计校准系统，其特征在于，所述气源模块包含：气体钢瓶，所述气体钢瓶与所述调压过滤模块相连，用于输出测量的气体。3.如权利要求1所述质量流量计校准系统，其特征在于，所述调压过滤模块包含：第一调压器，所述第一调压器的一端与所述气源模块相连；第一压力变送器，所述第一压力变送器的一端与所述第一调压器的另一端相连，所述第一压力变送器与所述控制模块信号连接；过滤组件，所述过滤组件与所述第一压力变送器的另一端相连，用于过滤气体；第二调压器，所述第二调压器的一端与所述过滤组件相连；温度变送器，所述温度变送器的一端与所述第二调压器的另一端相连，所述温度变送器与所述控制模块信号连接；第二压力变送器，所述第二压力变送器的一端与所述温度变送器的另一端相连，所述第二压力变送器的另一端与所述电子测量模块、所述物理测量模块相连，所述第二压力变送器与所述控制模块信号连接。4.如权利要求3所述质量流量计校准系统，其特征在于，所述过滤组件包含：气体过滤器，所述气体过滤器的一端与所述第一压力变送器的另一端相连；第一手动阀门，所述第一手动阀门的一端与所述气体过滤器的另一端相连；气体纯化器，所述气体纯化器的一端与所述第一手动阀门的另一端相连；第二手动阀门，所述第二手动阀门的一端与所述气体纯化器的另一端相连，所述第二手动阀门的另一端与所述第二调压器的一端相连。5.如权利要求1所述质量流量计校准系统，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈峰，
申请(专利权)人：愿慎新材料科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：