一种硅片的高效裂片装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种裂片装置，尤其涉及一种硅片的高效裂片装置。本发明专利技术提供一种操作时能够节省人力，减少人工操作时的体力消耗，从而保证工作效率的硅片的高效裂片装置。本发明专利技术提供了这样一种硅片的高效裂片装置，包括有：底盘、支座、支板、导向框和裂片机构，底盘底部左右两侧均连接有两个支座，底盘顶部左右两侧均连接有两块支板，四块支板之间连接有导向框，底盘上设有裂片机构。通过导向框来放置硅片，放置完毕后，再通过裂片机构来对硅片进行裂片，从而实现对硅片进行裂片的效果。而实现对硅片进行裂片的效果。而实现对硅片进行裂片的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片的高效裂片装置


[0001]本专利技术涉及一种裂片装置，尤其涉及一种硅片的高效裂片装置。

技术介绍

[0002]硅片是现代社会中用来制作晶体管和集成电路的一种重要原料，在进行硅片的生产制作过程时，为了更好的将其加工成晶体管和集成电路，通常需要对硅片进行裂片处理。
[0003]目前，对硅片进行裂片处理的方式通常是由人工先将通过激光在特定的位置刻出划痕，随后再由人工根据划痕的位置来进行敲击，从而实现对硅片进行裂片的效果，上述方式在操作时需要人工频繁的进行敲击，较为耗费人力，并且人工在操作时体力消耗较大，容易疲劳，疲劳操作容易降低工作效率。
[0004]因此，需要研发一种操作时能够节省人力，减少人工操作时的体力消耗，从而保证工作效率的硅片的高效裂片装置。

技术实现思路

[0005]（1）要解决的技术问题本专利技术为了克服上述方式在操作时需要人工频繁的进行敲击，较为耗费人力，并且人工在操作时体力消耗较大，容易疲劳，疲劳操作容易降低工作效率的缺点，本专利技术要解决的技术问题是提供一种操作时能够节省人力，减少人工操作时的体力消耗，从而保证工作效率的硅片的高效裂片装置。
[0006]（2）技术方案为了解决上述技术问题，本专利技术提供了这样一种硅片的高效裂片装置，包括有底盘、支座、支板、导向框和裂片机构，底盘底部左右两侧均连接有两个支座，底盘顶部左右两侧均连接有两块支板，四块支板之间连接有导向框，底盘上设有裂片机构。
[0007]优选地，裂片机构包括有环形支架、L形杆、固定轴、摆杆、限位杆、加压弹簧、拨杆、拨轮和转盘，底盘顶部后侧连接有环形支架，环形支架顶部连接有L形杆，L形杆前侧下部连接有固定轴，固定轴后侧转动式连接有两根摆杆，固定轴后侧连接有两根限位杆，两根摆杆之间连接有两根加压弹簧，两根摆杆顶部均连接有拨杆，L形杆前侧上部转动式连接有拨轮，拨轮上部连接有转盘。
[0008]优选地，还包括有接引机构和磁吸机构，环形支架上设有接引机构，接引机构、环形支架与底盘之间设有磁吸机构。
[0009]优选地，接引机构包括有滑套、卡槽柱、挡杆和连杆，环形支架上转动式连接有两个滑套，两个滑套为上下对称设置，两个滑套相互靠近的一侧均转动式连接有卡槽柱，卡槽柱位于导向框后侧，两根卡槽柱后侧之间连接有挡杆，两个滑套左右两侧之间均连接有连杆。
[0010]优选地，磁吸机构包括有限制磁块、磁柱、磁板和稳定磁块，两侧卡槽柱相互远离的一侧后部均连接有限制磁块，底盘顶部后侧连接有磁柱，环形支架左右两侧均连接有磁
板，两个滑套后侧均连接有稳定磁块。
[0011]优选地，还包括有驱动机构和传动机构，滑套与底盘之间设有驱动机构，滑套与L形杆之间设有传动机构。
[0012]优选地，驱动机构包括有减速电机、缺齿齿轮、滑动座、齿环、连接杆、压辊、抵杆、斜座、辅助板和侧杆，底盘后侧安装有减速电机，减速电机的输出轴上连接有缺齿齿轮，上方的滑套左右两侧均连接有滑动座，两个滑动座之间滑动式连接有齿环，齿环与缺齿齿轮啮合，下方滑套的左右两侧均连接有连接杆，连接杆上转动式连接有压辊，压辊与齿环内弧面接触，连接杆上连接有抵杆，抵杆位于压辊前侧，齿环前后两侧均开有滑槽，抵杆与前侧的滑槽滑动配合，底盘顶部前侧连接有斜座，斜座位于卡槽柱前侧下方，下方滑套的左右两侧均连接有侧杆，侧杆与后侧的滑槽滑动配合，底盘底部前侧连接有辅助板，辅助板位于斜座前侧下方。
[0013]优选地，传动机构包括有主轴、安装板、楔形滑座、卡杆、复位弹簧、传动盘、凸轮、弧形推板、复位杆、皮带轮和平皮带，上方滑套前侧中部连接有安装板，安装板顶部滑动式连接有楔形滑座，两个滑动座上部之间滑动式连接有卡杆，卡杆左右两侧均套有复位弹簧，两根复位弹簧两端分别连接在卡杆左右两侧和两个滑动座顶部，L形杆后侧转动式连接有主轴，主轴上部连接有凸轮，主轴底部连接有传动盘，环形支架左右两侧均连接有复位杆，齿环内弧面沿周向均匀间隔连接有四块弧形推板，主轴和拨轮上均连接有皮带轮，两个皮带轮之间绕有平皮带。
[0014]优选地，还包括有框杆、滚球和扭力弹簧，两侧卡槽柱相互远离的一侧前部均连接有多根框杆，同侧的多根框杆内部之间滑动式连接有滚球，卡槽柱与滑套之间连接有扭力弹簧。
[0015]优选地，还包括有导环、拉动座和拉线，L形杆顶部前后两侧均连接有导环，L形杆后侧也连接有导环，导向框顶部滑动式连接有拉动座，拉动座上连接有拉线，拉线依次穿过三个导环与上方滑套顶部连接。
[0016]（3）有益效果在于：1、通过导向框来放置硅片，放置完毕后，再通过裂片机构来对硅片进行裂片，从而实现对硅片进行裂片的效果。
[0017]2、通过接引机构和磁吸机构来对硅片起到支撑的作用，避免在裂片后硅片直接摔落导致破损，从而对硅片起到支撑的作用。
[0018]3、通过传动机构和驱动机构的配合运作来辅助接引机构中的滑套转动，不需要人工来操作接引机构中的滑套转动，使得人工操作时更加方便。
[0019]4、通过滚珠来辅助接引机构中的卡槽柱倾斜，不需要人工来拉动卡槽柱倾斜，有效的节省了人力。
[0020]5、在操作的过程中，只需要推动硅片移动即可，使得人工在操作时更加的省力，能够降低人工的体力消耗，也更不容易疲劳，从而保证工作效率。
附图说明
[0021]图1为本专利技术的立体结构示意图。
[0022]图2为本专利技术的裂片机构立体结构示意图。
[0023]图3为本专利技术的A处放大图。
[0024]图4为本专利技术裂片机构的爆炸图。
[0025]图5为本专利技术的接引机构立体结构示意图。
[0026]图6为本专利技术的磁吸机构立体结构示意图。
[0027]图7为本专利技术的驱动机构立体结构示意图。
[0028]图8为本专利技术的B处放大图。
[0029]图9为本专利技术驱动机构的爆炸图。
[0030]图10为本专利技术的传动机构第一种部分立体结构示意图。
[0031]图11为本专利技术的C处放大图。
[0032]图12为本专利技术的传动机构第二种部分立体结构示意图。
[0033]图13为本专利技术的第一种局部立体结构示意图。
[0034]图14为本专利技术的第二种局部立体结构示意图。
[0035]附图中的标记为：1
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底盘，2
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支座，3
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支板，4
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导向框，5
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裂片机构，51
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环形支架，52
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L形杆，53
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固定轴，54
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摆杆，55
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限位杆，56
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加压弹簧，57
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拨杆，58
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拨轮，59
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转盘，6
‑
接引机构，61
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滑套，62
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卡槽柱，63
‑
挡杆，64本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片的高效裂片装置，其特征在于，包括有底盘（1）、支座（2）、支板（3）、导向框（4）和裂片机构（5），底盘（1）底部左右两侧均连接有两个支座（2），底盘（1）顶部左右两侧均连接有两块支板（3），四块支板（3）之间连接有导向框（4），底盘（1）上设有裂片机构（5）。2.根据权利要求1所述的一种硅片的高效裂片装置，其特征在于，裂片机构（5）包括有环形支架（51）、L形杆（52）、固定轴（53）、摆杆（54）、限位杆（55）、加压弹簧（56）、拨杆（57）、拨轮（58）和转盘（59），底盘（1）顶部后侧连接有环形支架（51），环形支架（51）顶部连接有L形杆（52），L形杆（52）前侧下部连接有固定轴（53），固定轴（53）后侧转动式连接有两根摆杆（54），固定轴（53）后侧连接有两根限位杆（55），两根摆杆（54）之间均连接有两根加压弹簧（56），两根摆杆（54）顶部均连接有拨杆（57），L形杆（52）前侧上部转动式连接有拨轮（58），拨轮（58）上部连接有转盘（59）。3.根据权利要求2所述的一种硅片的高效裂片装置，其特征在于，还包括有接引机构（6）和磁吸机构（7），环形支架（51）上设有接引机构（6），接引机构（6）、环形支架（51）与底盘（1）之间设有磁吸机构（7）。4.根据权利要求3所述的一种硅片的高效裂片装置，其特征在于，接引机构（6）包括有滑套（61）、卡槽柱（62）、挡杆（63）和连杆（64），环形支架（51）上转动式连接有两个滑套（61），两个滑套（61）为上下对称设置，两个滑套（61）相互靠近的一侧均转动式连接有卡槽柱（62），卡槽柱（62）位于导向框（4）后侧，两根卡槽柱（62）后侧之间连接有挡杆（63），两个滑套（61）左右两侧之间均连接有连杆（64）。5.根据权利要求4所述的一种硅片的高效裂片装置，其特征在于，磁吸机构（7）包括有限制磁块（71）、磁柱（72）、磁板（73）和稳定磁块（74），两侧卡槽柱（62）相互远离的一侧后部均连接有限制磁块（71），底盘（1）顶部后侧连接有磁柱（72），环形支架（51）左右两侧均连接有磁板（73），两个滑套（61）后侧均连接有稳定磁块（74）。6.根据权利要求5所述的一种硅片的高效裂片装置，其特征在于，还包括有驱动机构（8）和传动机构（9），滑套（61）与底盘（1）之间设有驱动机构（8），滑套（61）与L形杆（52）之间设有传动机构（9）。7.根据权利要求6所述的一种硅片的高效裂片装置，其特征在于，驱动机构（8）包括有减速电机（81）、缺齿齿轮（82）、滑动座（83）、齿环（84）、连接杆（85）、压辊（86）、抵杆（87）、斜座（89）、辅助板（80）和侧杆（811）...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘珍珍，
申请(专利权)人：潘珍珍，
类型：发明
国别省市：