【技术实现步骤摘要】
所述复合络合剂为绿原酸、苹果酸以及琥珀酸的复合物, 在使用时绿原酸、苹果酸以及琥珀酸的质量浓度比为2:1:1,绿原酸2
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12g/L、苹果酸1
‑
6g/L、琥珀酸1
‑
6g/L;其中,所述复合稳定剂为3,5
‑
二硝基水杨酸(DNS)和烟酸(NA)复合物,且二者在使用时的质量浓度比为1:2,DNS为10
‑
30mg/L,NA为20
‑
60mg/L;其中,所述pH控制由质量浓度5%的氢氧化钠和体积浓度5%浓硫酸的溶液进行调节。
[0009]其中,所述分散剂为2
‑
氨基
‑
(4
‑
氮杂吲哚基)
‑4‑
甲基噻唑啉,该分散剂在电流和启镀剂的作用下,均匀吸附在基体表面,且该分散剂同时分解产生还原态氨,促进亚硫酸金离子的吸附和还原,金原子的有序沉积并得到的金层致密平整。
[0010]其中,所述金盐为亚硫酸金钠;所述加速剂为氧化钛,以提供钛离子;所述抗氧化剂为维生素C;所述启镀剂为1,4
‑
丁二醇,启镀剂促进金晶间的结合并利于分散剂分解的还原氨吸附,实现金晶核的连续成核;所述金盐为亚硫酸金钠。
[0011]其中,所述的一种应用于晶圆级封装的无氰电镀金配方,该金盐的制备方法如下,以1g黄金计:第一:用醋酸和乙醇混合溶液进行超声清洗3
‑
10min;第二:黄金溶解,采用双氧水和盐酸进行溶解;第三:制备氯金酸,得到的黄金溶液直接加热蒸发至晶体析 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种应用于晶圆级封装的无氰电镀金配方,其特征在于,包括以下质量浓度的组分:金盐
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ1‑
20g/L加速剂
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
10
‑
15mg/L复合络合剂
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ4‑ꢀ
24g/L抗氧化剂
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
15
‑
45mg/L复合稳定剂
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
30
‑
90mg/L分散剂
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
30
‑
60mg/L启镀剂
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
10
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60mg/L余量为纯水pH为5.6
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6.5操作温度25
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35℃电流密度为0.5
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4.5A/dm2所述复合络合剂为绿原酸、苹果酸以及琥珀酸的复合物, 在使用时绿原酸、苹果酸以及琥珀酸的质量浓度比为2:1:1,绿原酸2
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12g/L、苹果酸1
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6g/L、琥珀酸1
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6g/L;所述复合稳定剂为3,5
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二硝基水杨酸(DNS)和烟酸(NA)复合物,且二者在使用时的质量浓度比为1:2,DNS为10
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30mg/L,NA为20
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60mg/L;所述pH控制由质量浓度5%的氢氧化钠和体积浓度5%浓硫酸的溶液进行调节。2.根据权利要求1所述的一种应用于晶圆级封装的无氰电镀金配方,其特征在于,所述分散剂为2
‑
氨基
‑
(4
‑
氮杂吲哚基)
‑4‑
甲基噻唑啉,该分散剂在电流和启镀剂的作用下,均匀吸附在基体表面,且该分散剂同时分解产生还原态氨并促进亚硫酸金离子的吸附和还原,金原子的有序沉积并得到致密平整的金层。3.根据权利要求1所述的一种应用于晶圆级封装的无氰电镀金配方,其特征在于,所述金盐为亚硫酸金钠;所述加速剂为氧化钛,以提供钛离子;所述抗氧化剂为维生素C;所述启镀剂为1,4
‑
丁二醇,启镀剂促进金晶间的结合并利于分散剂分解的还原氨吸附,实现金晶核的连续成核;所述金盐为亚硫酸金钠。4.根据权利要求3所述的一种应用于晶圆级封装的无氰电镀金配方,其特征在于,该金盐的制备方法如下,以1g黄金计:第一:用醋酸和乙醇混合溶液进行超声清洗3
‑
10min;第二:黄金溶解,采用双氧水和盐酸进行溶解;第三:制备氯金酸,得到的黄金溶液直接加热蒸发至晶体析出为止,再加入纯水溶解,逐渐冷却至常温,配制约体积50毫升;第四:制备氢氧化金,得到纯的氯金酸溶液加入3.5g氧化银,氧化银溶解并和氯离...
【专利技术属性】
技术研发人员:姚玉,
申请(专利权)人:深圳市创智成功科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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