【技术实现步骤摘要】
旋转靶材绑定间隙探测设备
[0001]本技术涉及旋转靶材领域，尤其涉及一种旋转靶材绑定间隙探测设备。
技术介绍
[0002]随着太阳能、电子芯片、面版行业的不断发展，目前对靶材的质量要求越来越高，同时随着行业的发展，单节旋转靶材的绑定长度已达1米，为了防止客户镀膜出现打火、拉弧、中毒等异常，原有间隙清理使用放大镜及强光手电筒检查，容易导致人为误判及漏检。现有技术专利 CN110468380A 公开了一种靶材溅射装置，通过外加补偿磁铁解决永磁铁产生的磁场的两端和中间不均匀的问题，并且能通过处理模块以及摄像模块实时检测并判断磁场的均匀性，并实时的调节补偿磁场的大小以及夹角，从而确保整个磁场的均匀，从而提高薄膜均匀性以及靶材利用率。现有技术专利CN107883841A 公开了一种矩形靶材间隙检测方法，通过检测矩形靶材和检测块之间的间隙，就能够推算出矩形靶材和防着板之间的间隙，提前发现不良产品，确保安装至溅镀设备上的矩形靶材与防着板之间的间隙在正常范围内。以上两个专利一个是通过摄像头进行检测磁场，一个是通过检测块进行检测间隙，缺少对...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种旋转靶材绑定间隙探测设备，包括有底台（1），底台（1）左右两端设置有靶材旋转夹持机构；底台（1）上设置有行走平台（2），行走平台（2）上设置有探头（3）；其特征在于：所述行走平台（2）底部有滚轮（4）位于底台（1）上左右移动；底台（1）前侧边有左右两个固定柱（5），左右两个固定柱（5）固定设置有环形链条（6），左右两个固定柱（5）位于环形链条（6）内两端；行走平台（2）前侧底部设置有行走电机（7），行走电机（7）后侧连接有行走齿轮（8），行走齿轮（8）位于链条（6）内且与其匹配；行走平台（2）上设置有竖杆（9），竖杆（9）侧面通过侧臂（10）设置有探头（3），探头（3）向下对着靶材旋转夹持机构中间处。2.如权利要求1所述旋转靶材绑定间隙探测设备，其特征在于：所述底台（1）后侧壁凹陷有滑槽（11），行走平台（2）后侧往下设置有后壁（12），后壁（12）前侧设置有导轮（13），导轮（13）位于滑槽（11）内进行滚动。3.如权利要求1所述旋转靶材绑定间隙探测设备，其特征在于：所述竖杆（9）上套有上下两个轴套（14），轴套（14）可转动可上下移动；侧臂（10）设置在下...
【专利技术属性】
技术研发人员：石煜，朱永涯，黄剑，刘玉奇，
申请(专利权)人：芜湖映日科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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