一种芯片生产用自动化程度高的注入机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种芯片生产用自动化程度高的注入机，包括底座和注入机本体，所述底座的顶部固定连接有支架，所述支架表面的两侧均活动连接有活动套，两个活动套的顶部均活动连接有弹性板。本实用新型专利技术通过底座、注入机本体、支架、活动套、弹性板、第一弹簧、活动柱、第二弹簧、第一活动板、支撑杆、支撑板、第二活动板、箱体、第一电机、螺杆、螺纹套、支杆、防滑垫、第二电机、第一传动杆、第一凸轮、第一链轮、第二传动杆、第二凸轮、第二链轮、链条和万向轮的配合使用，解决了注入机仅仅是通过滑轮与地面接触进行支撑，就会导致注入机运行时的稳定性变差，容易产生位移，降低了注入机实用性的问题。问题。问题。

【技术实现步骤摘要】
一种芯片生产用自动化程度高的注入机


[0001]本技术涉及注入机
，具体为一种芯片生产用自动化程度高的注入机。

技术介绍

[0002]随着集成电路制造技术的飞速发展，对半导体工艺设备提出了越来越高的要求，为满足新技术的需要，作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一的离子注入机在束流指标、束能量纯度、注入深度控制、注入均匀性与生产率等方面需要不断地改进提高，离子注入机是半导体生产过程中所使用的一种设备，其基本结构包括离子源、气体箱、萃取系统、加速系统、硅片放置装置，为了节省人力资源，注入机的自动化程度也在逐渐提高，而现有芯片生产用自动化程度高的注入机为了便于对其进行移动，通常都是通过滑轮进行支撑的，但是由于仅仅是滑轮与地面接触进行支撑，就会导致注入机运行时的稳定性变差，容易产生位移，降低了注入机的实用性。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种芯片生产用自动化程度高的注入机，具备稳定性好的优点，解决了注入机仅仅是通过滑轮与地面接触进行支撑，就会导致注入机运行时的稳定性变差，容易产生位移，降低了注入机的实用性的问题。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种芯片生产用自动化程度高的注入机，包括底座（1）和注入机本体（2），其特征在于：所述底座（1）的顶部固定连接有支架（3），所述支架（3）表面的两侧均活动连接有活动套（4），两个活动套（4）的顶部均活动连接有弹性板（5），所述支架（3）表面且位于活动套（4）的外侧套设有第一弹簧（6），所述注入机本体（2）底部的两侧均固定连接有活动柱（7），所述活动柱（7）的底部贯穿至底座（1）内腔的顶部，且固定连接有限位板，所述活动柱（7）的表面套设有第二弹簧（8），所述底座（1）两侧的顶部均活动连接有第一活动板（9），所述第一活动板（9）顶部的两侧均固定连接有支撑杆（10），所述支撑杆（10）远离第一活动板（9）的一端贯穿至底座（1）的顶部，且固定连接有支撑板（11），所述底座（1）内腔两侧的底部均活动连接有第二活动板（12），所述第二活动板（12）的底部固定连接有箱体（13），所述箱体（13）内腔的底部固定连接有第一电机（14），所述第一电机（14）的输出端固定连接有螺杆（15），所述螺杆（15）表面相对的一侧均螺纹连接有螺纹套（16），所述螺纹套（16）相反一侧的顶部与底部均固定连接有支杆（17），所述支杆（17）远离螺纹套（16）的一端贯穿至箱体（13）的外部，且固定连接有防滑垫（18），所述底座（1）内腔背面的右侧固定连接有第二电机（19），所述第二电机（19）的输出端固定连接有第一传动杆（20），所述第一传动杆（20）表面的前侧固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾先兵，
申请(专利权)人：顾先兵，
类型：新型
国别省市：