一种气体传感器及其制作方法技术

本发明专利技术公开了一种气体传感器的制作方法，该制作方法包括：对基板进行部分氧化，使被氧化的部分成为气体敏感部；其中，基板由含有金属元素的半导体材料制成，气体敏感部与基板的未被氧化的部分之间形成异质结。本发明专利技术解决了现有的气体传感器的气敏层容易脱落的问题。现有的气体传感器的气敏层容易脱落的问题。现有的气体传感器的气敏层容易脱落的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种气体传感器及其制作方法


[0001]本专利技术涉及气体传感器
，尤其涉及一种具有与基板一体形成的气敏层的气体传感器及其制作方法。

技术介绍

[0002]气体传感器是一种将某种气体体积分数转化成对应电信号的转换器，可应用在多种生活情形中，例如：检测新装修的房间中的甲醛浓度，或者检测酒驾人员的酒精浓度等等。
[0003]现有的气体传感器一般通过在陶瓷基板上涂覆气敏材料层的方法来制作。但是，目前的制作工艺无法保障气敏材料能够均匀地涂覆在陶瓷基板上。所以采用上述的制作方法来制作的气体传感器的气敏层与陶瓷基板之间的结合力不均匀，从而导致气敏层容易脱落，因此采用上述的制作方法来制作的气体传感器不适合在恶劣环境下使用。而且，气敏层的脱落会影响气体传感器的气体灵敏度。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术存在的不足，本专利技术提供了如下的技术方案：
[0005]根据本专利技术的一方面提供了一种气体传感器的制作方法，所述制作方法包括：
[0006]对基板进行部分氧化，使被氧化的所述部分成为气体敏感部；其中，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气体传感器的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：对基板进行部分氧化，使被氧化的所述部分成为气体敏感部；其中，所述基板由含有金属元素的半导体材料制成，所述气体敏感部与所述基板的未被氧化的部分之间形成异质结。2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，对所述部分进行氧化之前，所述制作方法还包括：对所述基板的将被氧化的部分进行表面处理，使所述基板的将被氧化的部分的表面具有微结构。3.根据权利要求1或2所述的制作方法，其特征在于，对所述部分进行氧化后，所述制作方法还包括：在所述气体敏感部上形成第一电极；在所述气体敏感部或者在所述气体敏感部之外的所述基板上形成第二电极。4.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，形成所述第一电极和所述第二电极之后，所述制作方法还包括：在所述气体敏感部之外的所述基板上设置加热单元。5.根据权利要求4所述的制作方法，其特征在于，形成所述加热单元的方法包括：在所述气体敏感部之外的所述基板上...

【专利技术属性】
技术研发人员：潘革波，陈子杨，张少辉，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：