本实用新型专利技术涉及半导体芯片技术领域，且公开了一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，包括外壳，所述外壳的内部安装有过滤机构，所述外壳的外壁一侧安装有回收机构，所述回收机构的外壁安装有出液口，所述出液口的底部安装有雾化，所述外壳的顶部两侧均安装有调节机构。该半导体芯片用光阻液喷涂装置，通过储液箱、固定环、滤网、第一水泵、水管、储存箱、第二水泵和连接管的设置，在使用时将滤网与固定环安装到储液箱内部进行固定，以便于对使用后的光阻液进行一定的过滤作用，并且使用后的光阻液有一定量存放在储液箱内部时，发动第一水泵带动光阻液进入到储存箱内部进行回收，再发动第二水泵带动回收后的光阻液进行二次使用喷涂，可以有效的节约光阻液的浪费。有效的节约光阻液的浪费。有效的节约光阻液的浪费。
【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片用光阻液喷涂装置
[0001]本技术涉及半导体芯片
，具体为一种半导体芯片用光阻液喷涂装置。
技术介绍
[0002]半导体芯片，在半导体片材上进行浸蚀，布线，制成的能实现某种功能的半导体器件，不只是硅芯片，常见的还包括砷化镓，锗等半导体材料，半导体也像汽车有潮流，二十世纪七十年代，因特尔等美国企业在动态随机存取内存市场占上风，为了满足量产上的需求，半导体的电性必须是可预测并且稳定的，因此包括掺杂物的纯度以及半导体晶格结构的品质都必须严格要求，常见的品质问题包括晶格的位错、孪晶面或是堆垛层错都会影响半导体材料的特性，对于一个半导体器件而言，材料晶格的缺陷通常是影响元件性能的主因，在半导体芯片的生产过程中，需要对半导体芯片进行光阻液喷涂，故此需要使用到半导体芯片用光阻液喷涂装置。
[0003]传统的半导体芯片用光阻液喷涂装置，在喷涂光阻液时，光阻液会快速落下，无法快速粘连到半导体芯片上，会导致光阻液大量的浪费情况，造成生产成本提高，并且无法做到节约资源的作用，使用较为不便利。
技术实现思路
[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本技术提供了一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，以解决上述
技术介绍
中提出传统的半导体芯片用光阻液喷涂装置，在喷涂光阻液时，光阻液会快速落下，无法快速粘连到半导体芯片上，会导致光阻液大量的浪费情况，造成生产成本提高，并且无法做到节约资源的作用，使用较为不便利的问题。
[0006](二)技术方案
[0007]为实现上述的目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，包括外壳，所述外壳的内部安装有过滤机构，所述外壳的外壁一侧安装有回收机构，所述回收机构的外壁安装有出液口，所述出液口的底部安装有雾化头，所述外壳的顶部两侧均安装有调节机构。
[0008]优选的，所述过滤机构包括储液箱、固定环和滤网，所述储液箱安装在外壳内部，所述储液箱的内壁焊接有固定环，所述固定环的内壁安装有滤网，通过储液箱、固定环和滤网的设置，在使用时将滤网与固定环安装到储液箱内部进行固定，以便于对使用后的光阻液进行一定的过滤作用，避免光阻液内部掺杂杂质，导致无法进行二次使用。
[0009]优选的，所述回收机构包括第一水泵、水管、储存箱、第二水泵和连接管，所述第一水泵连接在储液箱的内部，所述第一水泵的一端连接有水管，所述水管的另一端连接在储存箱的底部，所述储存箱的顶部连接有第二水泵，所述第二水泵的一端连接有连接管，通过储液箱、固定环和滤网的设置，在使用后的光阻液有一定量存放在储液箱内部时，发动第一
水泵带动光阻液进入到储存箱内部进行回收，再发动第二水泵带动回收后的光阻液进行二次使用喷涂，可以有效的节约光阻液的浪费。
[0010]优选的，所述出液口与连接管之间相连通，且雾化头焊接在出液口底部，通过出液口与雾化头的设置，在使用时可以对喷涂出的光阻液进行雾化处理，可以极大程度上的减少光阻液的浪费，避免光阻液较为厚重的喷涂到半导体芯片上，导致光阻液无法迅速凝结在半导体芯片上，雾化喷射可以有效的避免这类情况发生。
[0011]优选的，所述调节机构包括固定杆、电动转盘、连接块、电动伸缩套杆、卡板和棉垫，所述固定杆均焊接在外壳顶部两侧，所述固定杆的外壁一侧安装有电动转盘，所述电动转盘的旋转端上安装有连接块，所述连接块的一端焊接有电动伸缩套杆，所述电动伸缩套杆的伸缩端上安装有卡板，所述卡板的内壁安装有棉垫，通过固定杆、电动转盘和连接块的设置，在使用时发动电动转盘，带动卡板与固定的半导体芯片进行自动翻转换面的作用，无需人工手动反面，节约了大量的工作时间。
[0012]优选的，所述卡板通过电动伸缩套杆与连接块构成伸缩结构，且卡板为U形结构，通过电动伸缩套杆的设置，在使用时根据半导体芯片的长度，发动电动伸缩套杆带动卡板进行移动至合适位置，对不同尺寸的半导体芯片进行固定作用。
[0013]优选的，所述卡板的内壁尺寸与棉垫的外壁尺寸相吻合，且棉垫的尺寸小于卡板的尺寸，通过棉垫的设置，在使用时可以对固定的半导体芯片进行有效的防护效果，避免半导体芯片长期夹持，发生损坏情况。
[0014](三)有益效果
[0015]与现有技术相比，本技术提供了一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，具备以下有益效果：
[0016]1、该半导体芯片用光阻液喷涂装置，通过储液箱、固定环、滤网、第一水泵、水管、储存箱、第二水泵和连接管的设置，在使用时将滤网与固定环安装到储液箱内部进行固定，以便于对使用后的光阻液进行一定的过滤作用，并且使用后的光阻液有一定量存放在储液箱内部时，发动第一水泵带动光阻液进入到储存箱内部进行回收，再发动第二水泵带动回收后的光阻液进行二次使用喷涂，可以有效的节约光阻液的浪费。
[0017]2、该半导体芯片用光阻液喷涂装置，通过出液口与雾化头的设置，在使用时可以对喷涂出的光阻液进行雾化处理，可以极大程度上的减少光阻液的浪费，避免光阻液较为厚重的喷涂到半导体芯片上，导致光阻液无法迅速凝结在半导体芯片上，雾化喷射可以有效的避免这类情况发生。
[0018]3、该半导体芯片用光阻液喷涂装置，通过固定杆、电动转盘和连接块的设置，在使用时发动电动转盘，带动卡板与固定的半导体芯片进行自动翻转换面的作用，无需人工手动反面，节约了大量的工作时间。
附图说明
[0019]图1为本技术正视剖面结构示意图；
[0020]图2为本技术正视外观结构示意图；
[0021]图3为本技术调节机构结构示意图；
[0022]图4为本技术出液口与雾化头连接图。
[0023]图中：1、外壳；2、过滤机构；201、储液箱；202、固定环；203、滤网；3、回收机构；301、第一水泵；302、水管；303、储存箱；304、第二水泵；305、连接管；4、出液口；5、雾化头；6、调节机构；601、固定杆；602、电动转盘；603、连接块；604、电动伸缩套杆；605、卡板；606、棉垫。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
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4，一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，包括外壳1，外壳1的内部安装有过滤机构2，过滤机构2包括储液箱201、固定环202和滤网203，储液箱201安装在外壳1内部，储液箱201的内壁焊接有固定环202，固定环202的内壁安装有滤网203，通过储液箱201、固定环202和滤网203的设置，在使用时将滤网203与固定环202安装到储液箱201内部进行固定，以便于对使用后的光阻液进行一定的过滤作用，避免光阻液内部掺杂杂质，导致无法本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，包括外壳(1)，其特征在于：所述外壳(1)的内部安装有过滤机构(2)，所述外壳(1)的外壁一侧安装有回收机构(3)，所述回收机构(3)的外壁安装有出液口(4)，所述出液口(4)的底部安装有雾化头(5)，所述外壳(1)的顶部两侧均安装有调节机构(6)。2.根据权利要求1所述的一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：所述过滤机构(2)包括储液箱(201)、固定环(202)和滤网(203)，所述储液箱(201)安装在外壳(1)内部，所述储液箱(201)的内壁焊接有固定环(202)，所述固定环(202)的内壁安装有滤网(203)。3.根据权利要求1所述的一种半导体芯片用光阻液喷涂装置，其特征在于：所述回收机构(3)包括第一水泵(301)、水管(302)、储存箱(303)、第二水泵(304)和连接管(305)，所述第一水泵(301)连接在储液箱(201)的内部，所述第一水泵(301)的一端连接有水管(302)，所述水管(302)的另一端连接在储存箱(303)的底部，所述储存箱(303)的顶部连接有第二水泵(304)，所述第二水泵(304)的一端连接有连接管(305)。4.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴雪燕，
申请(专利权)人：马鞍山思派科创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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