一种尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种应用于废气处理技术领域的尾气处理装置，所述的尾气处理装置包括燃烧室(1)、喷淋室(2)，燃烧室(1)包括反应腔(3)和冷却腔(4)，反应腔(3)上设置进气口(5)，PCW进口(6)通过管路分别连通冷却腔(4)进口和喷淋室(2)进口，反应腔(3)下端连通喷淋室(2)下部，喷淋室(2)通过排气口(9)连通排风管道(11)，冷却腔(4)出口连通PCW出口(7)，喷淋室(2)出口连通PCW出口(7)，本实用新型专利技术所述的尾气处理装置，结构简单，成本低，废气处理过程中降温效果好，处理效率高，节约成本，降低排气湿度，全面提升废气处理性能。全面提升废气处理性能。全面提升废气处理性能。

【技术实现步骤摘要】
一种尾气处理装置


[0001]本技术属于废气处理
，更具体地说，是涉及一种尾气处理装置。

技术介绍

[0002]当前环保要求越来越严格，在集成电路、太阳能、半导体平面显示及新能源等新兴产业领域，对尾气的排放标准要求也越来越高，为达成排放标准，以上领域，在其工厂内，部分特气设备均在现场设置尾气处理装置(localscrubber)，故，对尾气处理装置的高处理效率性、低功耗性、高安全性需求较高。现有技术问题：当前市场尾气处理装置(特别针对plasma+WET、Burn+WET 类型)，问题一：因其燃烧腔室温度较高(＞800℃)，对燃烧室外壁耐温要求较高，且生产安全考虑，外壁温度需求＜45℃。当下设计采用较昂贵的外壁材料，且采用风冷或水冷，采用风能需求CDA用量较大，采用水冷，其进水与出水口均位于底部，冷却效果不佳，且成本较高。问题二：当下尾气处理设备其水洗部分，采用的多为一段洗水或二段水洗，且多数采用新水，其处理效果不佳，且成本较高。问题三：当下尾气处理装置，在排气部分，因气体经过燃烧及水洗后，温度较高且湿度较大，在经过排气口进入酸排后，因温本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种尾气处理装置，其特征在于：所述的尾气处理装置包括燃烧室(1)、喷淋室(2)，燃烧室(1)包括反应腔(3)和冷却腔(4)，反应腔(3)上设置进气口(5)，PCW进口(6)通过管路分别连通冷却腔(4)进口和喷淋室(2)进口，反应腔(3)下端连通喷淋室(2)下部，喷淋室(2)通过排气口(9)连通排风管道(11)，冷却腔(4)出口连通PCW出口(7)，喷淋室(2)出口连通PCW出口(7)。2.根据权利要求1所述的尾气处理装置，其特征在于：所述的尾气处理装置的进气口(5)与燃烧室(1)的反应腔(3)上部连通，燃烧室(1)的冷却腔(4)进口设置在冷却腔(4)下部位置。3.根据权利要求1或2所述的尾气处理装置，其特征在于：所述的喷淋室(2)内设置多个喷淋头(8)，喷淋室(2)上部设置排气口(9)，排气口(9)外围设置外腔(10)，喷淋室(2)进口设置在外腔(10)下部位置，排气口(9)上端口与排风...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹贺，刘晓佳，吕迅，刘胜芳，赵铮涛，潘倩倩，
申请(专利权)人：安徽熙泰智能科技有限公司，
类型：新型
国别省市：