一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法技术

本发明专利技术是一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，包括以下步骤：a来货检查；b纯水浸泡；c异丙醇擦拭；d第一次表面喷砂；e第一次高压水洗；f硝酸和氢氟酸清洗；g纯水浸泡；h表面研磨；i第二次表面喷砂；j表面检查；k第二次高压水洗。本发明专利技术使用物理喷砂可以去除表面沉积的氟化物，并减少部件的损耗；使用硝酸和氢氟酸浸泡部件，可以去除部件表面玷污的微量金属；使用表面研磨加表面喷砂处理的方式，可以使部件表面的平面度及粗糙度的均匀性更好；使用超声波清洗和超纯氮气清扫部件表面，可以有效减少表面的颗粒污染物。效减少表面的颗粒污染物。

【技术实现步骤摘要】
一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法


[0001]本专利技术涉及半导体设备精密备件清洗领域，尤其涉及一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法。

技术介绍

[0002]目前，应用于半导体制程设备中化学气相沉积工艺腔体中，沉积在备件上的膜质一般都是氧化物和氮化物，针对氧化物和氮化物的清洗工艺已比较成熟，而清洗氧化物和氮化物的清洗溶剂对清洗氟化物的清洗效果较差，并且沉积氟化物的部件基材是铝，铝的耐腐蚀性很差，这就给部件的清洗带来很大困难。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在解决现有技术的不足，而提供一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法。
[0004]本专利技术为实现上述目的，采用以下技术方案：一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，包括以下步骤：
[0005]a来货检查
[0006]对待清洗部件进行表面检查，确认表面有无缺损；
[0007]b纯水浸泡
[0008]将待清洗的部件浸入纯水中，浸泡30分钟以上；
[0009]c异丙醇擦拭
[0010]使用无尘布蘸取异丙醇对部件表面进行整体擦拭，擦至无尘布表面没有黑色印痕，对擦拭完毕的部件，使用水枪对部件进行全面冲洗，然后使用气枪将部件表面水分吹扫干净；
[0011]d第一次表面喷砂
[0012]对加热器部件进行喷砂处理，去除加热器表面氟化物；
[0013]e第一次高压水洗
[0014]将喷砂完毕的加热器部件放入高压水洗槽中，使用高压水枪对部件进行整体冲洗，冲洗完毕后，使用气枪将部件表面水迹吹干；
[0015]f硝酸和氢氟酸清洗
[0016]将高压水洗完毕的部件浸入硝酸和氢氟酸的混合溶液中浸泡1
‑
2分钟，然后立即取出，使用纯水进行冲洗；
[0017]g纯水浸泡
[0018]将部件浸入纯水中浸泡30分钟以上，然后使用压缩空气吹干表面水份；
[0019]h表面研磨
[0020]使用360#、800#氧化铝磨料的打磨片，研磨加热器表面，保证加热器表面无凸起，至粗糙度达到Ra≤2um；
[0021]i第二次表面喷砂
[0022]对加热器部件进行喷砂处理，增加加热器表面粗糙度；
[0023]j表面检查
[0024]依次使用粗糙度测量仪、膜厚测量仪、平面度测量仪测试加热器表面的粗糙度、膜厚、平面度；
[0025]k第二次高压水洗
[0026]将测量合格的部件转入高压水洗工段，使用高压水枪对加热器部件，进行高压水洗，然后使用压缩空气吹干表面水份；
[0027]l超声波清洗
[0028]对部件进行超声波清洗；
[0029]m氮气吹扫
[0030]对冲洗完毕的部件，使用99.999％纯度的氮气进行表面吹扫，去除部件表面的水迹；
[0031]n干燥
[0032]将吹扫完毕的部件转移至洁净的干燥箱中，使用150℃的温度干燥2个小时，待部件自然冷却后，将部件取出。
[0033]特别的，步骤d中，对加热器部件进行喷砂处理用的喷砂机的参数为：压力：3
‑
4kg/cm2,喷砂枪头离部件距离15
‑
20厘米，角度60
‑
90度；时间：5
‑
10分钟；喷砂介质：氧化铝；粒径：0.06
‑
0.08毫米；
[0034]特别的，步骤i中，对加热器部件进行喷砂处理用的喷砂机的参数为：压力：3
‑
4kg/cm2，喷砂枪头离部件距离15
‑
20厘米，角度60
‑
90度；时间：3
‑
5分钟；喷砂介质：氧化铝；粒径：0.06
‑
0.08毫米。
[0035]特别的，步骤f中，硝酸、氢氟酸和水的体积比为硝酸：氢氟酸：水＝1：1：2。
[0036]特别的，步骤l中，将部件流转至100级洁净间，然后将部件放入超声波清洗槽中，清洗30分钟，超声波清洗的参数如下：超声波频率：40KHz；超声波的功率密度：6
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10瓦/平方英寸，槽内纯水保持溢流；溢流流量：20升/分钟。
[0037]本专利技术的有益效果是：本专利技术使用物理喷砂可以去除表面沉积的氟化物，并减少部件的损耗；使用硝酸和氢氟酸浸泡部件，可以去除部件表面玷污的微量金属；使用表面研磨加表面喷砂处理的方式，可以使部件表面的平面度及粗糙度的均匀性更好；使用超声波清洗和超纯氮气清扫部件表面，可以有效减少表面的颗粒污染物。
具体实施方式
[0038]下面结合具体实施例对本专利技术作进一步说明：
[0039]一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，包括以下步骤：
[0040]a来货检查
[0041]对待清洗部件进行表面检查，确认表面有无缺损；
[0042]b纯水浸泡
[0043]将待清洗的部件浸入纯水中，浸泡30分钟以上；
[0044]c异丙醇擦拭
[0045]使用无尘布蘸取异丙醇对部件表面进行整体擦拭，擦至无尘布表面没有黑色印痕，对擦拭完毕的部件，使用水枪对部件进行全面冲洗，然后使用气枪将部件表面水分吹扫干净；
[0046]d第一次表面喷砂
[0047]对加热器部件进行喷砂处理，去除加热器表面氟化物；喷砂机的参数为：压力：3
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4kg/cm2,喷砂枪头离部件距离15
‑
20厘米，角度60
‑
90度；时间：5
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10分钟；喷砂介质：氧化铝；粒径：0.06
‑
0.08毫米；
[0048]e第一次高压水洗
[0049]将喷砂完毕的加热器部件放入高压水洗槽中，使用高压水枪对部件进行整体冲洗，冲洗完毕后，使用气枪将部件表面水迹吹干；
[0050]f硝酸和氢氟酸清洗
[0051]将高压水洗完毕的部件浸入硝酸和氢氟酸的混合溶液中浸泡1
‑
2分钟，然后立即取出，使用纯水进行冲洗；硝酸、氢氟酸和水的体积比为硝酸：氢氟酸：水＝1：1：2；
[0052]g纯水浸泡
[0053]将部件浸入纯水中浸泡30分钟以上，然后使用压缩空气吹干表面水份；
[0054]h表面研磨
[0055]使用360#、800#氧化铝磨料的打磨片，研磨加热器表面，保证加热器表面无凸起，至粗糙度达到Ra≤2um；
[0056]i第二次表面喷砂
[0057]对加热器部件进行喷砂处理，增加加热器表面粗糙度；喷砂机的参数为：压力：3
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4kg/cm2，喷砂枪头离部件距离15
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20厘米，角度60
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90度；时间：3
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5分钟；喷砂介质：氧化铝；粒径：0.06
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0.08毫米；
[0058]j表面检查
[0059]依次使用粗糙度测量仪、膜本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种去除铝基材表面的氟化物的清洗方法，其特征在于，包括以下步骤：a来货检查对待清洗部件进行表面检查，确认表面有无缺损；b纯水浸泡将待清洗的部件浸入纯水中，浸泡30分钟以上；c异丙醇擦拭使用无尘布蘸取异丙醇对部件表面进行整体擦拭，擦至无尘布表面没有黑色印痕，对擦拭完毕的部件，使用水枪对部件进行全面冲洗，然后使用气枪将部件表面水分吹扫干净；d第一次表面喷砂对加热器部件进行喷砂处理，去除加热器表面氟化物；e第一次高压水洗将喷砂完毕的加热器部件放入高压水洗槽中，使用高压水枪对部件进行整体冲洗，冲洗完毕后，使用气枪将部件表面水迹吹干；f硝酸和氢氟酸清洗将高压水洗完毕的部件浸入硝酸和氢氟酸的混合溶液中浸泡1
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2分钟，然后立即取出，使用纯水进行冲洗；g纯水浸泡将部件浸入纯水中浸泡30分钟以上，然后使用压缩空气吹干表面水份；h表面研磨使用360#、800#氧化铝磨料的打磨片，研磨加热器表面，保证加热器表面无凸起，至粗糙度达到Ra≤2um；i第二次表面喷砂对加热器部件进行喷砂处理，增加加热器表面粗糙度；j表面检查依次使用粗糙度测量仪、膜厚测量仪、平面度测量仪测试加热器表面的粗糙度、膜厚、平面度；k第二次高压水洗将测量合格的部件转入高压水洗工段，使用高压水枪对加热器部件，进行高压水洗，然后使用压缩空气吹干表面水份；l超声波清洗对部件进行超声波清洗；m氮气吹扫对冲洗完毕的部件，使用99.999％纯度的氮气进行表面吹扫，去除部件表面的水迹；n干燥将吹扫完毕的部件转移至洁净的干燥箱中，使用150℃的温度干燥2个小时，待部件自然冷却后，将部...

【专利技术属性】
技术研发人员：穆帅帅，张代龙，
申请(专利权)人：富乐德科技发展天津有限公司，
类型：发明
国别省市：