一种异质结电池PECVD吸嘴组件、吸盘机构及吸嘴印改善方法技术

本发明专利技术提供一种异质结电池PECVD吸嘴组件、吸盘机构及吸嘴印改善方法，吸嘴组件包括吸嘴和吸嘴杆；吸嘴杆包括相互连接的连接部、滑动部、转动部和螺纹部，转动部外部套设弹簧；弹簧外部套设螺纹套筒；螺纹套筒外部设置上固定螺母和下固定螺母；吸盘机构包括分别设置于N/P板上料机械臂上的多个N/P板上料吸盘组件和设置于下料机械臂上的多个下料吸盘组件；改善方法包括：采用改进结构的吸盘机构，载板采用碳纤维材质；自动化上料拉片和翻转机构的台阶包覆耐磨胶带；载板、硅片传输机构和吸嘴保证水平；上料机械臂和下料机械臂各由一路CDA供气。本发明专利技术通过优化吸盘来实现吸嘴印的减轻，来提升最终电池片的效率以及外观。来提升最终电池片的效率以及外观。来提升最终电池片的效率以及外观。

【技术实现步骤摘要】
一种异质结电池PECVD吸嘴组件、吸盘机构及吸嘴印改善方法


[0001]本专利技术涉及太阳能电池制造领域，特别涉及一种异质结电池PECVD吸嘴组件、吸盘机构及吸嘴印改善方法。

技术介绍

[0002]在异质结太阳能电池的生产过程中，PECVD无疑是最为关键的工序，该工序制作的PN结是发生光生伏特效应的基础，由于PECVD为沉积式镀膜，因此此过程中任何与电池片接触的机构都可能在电池片表面形成印记，此种印记包括但不限于不同位置的划伤、执行上下料动作的吸盘或吸嘴形成的吸盘印或吸嘴印等，这些都将与PN结表面载流子复合效率以及最终电池片的外观过审息息相关。
[0003]由于有较好镀膜均一性，因此目前异质结电池片生产所用的CVD设备主要为板式PECVD。主流的生产制程分两种：一种是进行过表面清洗和织构化处理的N型单晶硅片经自动化装置从花篮上料到N型专用载板进CVD设备，依次制作本征非晶硅层和N型掺杂层，然后回到自动化装置经过翻转机构将硅片翻面再上料至P型专用载板后进CVD设备，依次制作本征非晶硅层和P型掺杂层，最后回到自动化装置从P型专用载板下料至花篮完成制程；另一种是不经过翻转机构，但是需要两台CVD设备分别用来制作本征非晶硅层加N型掺杂层和本征非晶硅层加P型掺杂层；无论哪种方式，均需要2套上下料机构，来执行N型载板上的上下料动作和P型载板上的上下料动作。上下料机构普遍采用四脚吸盘，利用真空发生器形成负压将硅片吸附在吸盘四脚的吸嘴上来完成硅片的移动，由于吸嘴与硅片的直接接触，所以很容易在硅片上留下吸嘴印。吸嘴印对于后续PN结表面载流子复合效率以及最终电池片的外观过审产生影响。
[0004]基于此，现有技术确实有待于改进。

技术实现思路

[0005]本专利技术需解决的技术问题是减轻板式PECVD装置的上下料机构产生的吸嘴印。
[0006]为了解决上述问题，本专利技术提供一种异质结电池PECVD吸嘴组件，其采用的技术方案如下：
[0007]一种异质结电池PECVD吸嘴组件，包括吸嘴和吸嘴杆，所述吸嘴包括吸嘴头以及将吸嘴头与吸嘴杆连接的吸嘴套；所述吸嘴杆包括相互连接的连接部、滑动部、转动部和螺纹部，所述滑动部的横截面为六边形，所述转动部中下段外部套设弹簧，所述螺纹部通过连接螺母与真空气管连接；所述弹簧外部套设螺纹套筒；螺纹套筒外部设置上固定螺母和下固定螺母。
[0008]在上述技术方案中，所述连接部、滑动部、转动部和螺纹部一体成型。
[0009]在上述技术方案中，所述螺纹套筒靠近滑动部一端的内径小于滑动部横截面所在圆的直径。
[0010]在上述技术方案中，所述螺纹套筒靠近滑动部一端内壁形成用于容纳弹簧的凹
槽，其靠近吸嘴杆的螺纹部的一端形成多个滑槽，滑槽内设置多个滚珠。
[0011]在上述技术方案中，所述螺纹套筒内壁的滑槽槽底为弧形。
[0012]在上述技术方案中，所述滚珠与吸嘴杆的转动部接触。
[0013]在上述技术方案中，所述吸嘴杆的连接部与吸嘴套连接，装配后，所述上固定螺母和下固定螺母分别与安装板的顶底面接触。
[0014]在上述技术方案中，所述吸嘴头采用双层丁晴橡胶或硅胶材质；所述吸嘴套和吸嘴杆采用铜镀镍材质。
[0015]本专利技术提供一种异质结电池PECVD吸盘机构，其采用的技术方案如下：
[0016]一种异质结电池PECVD的吸盘机构，包括设置于N板上料机械臂上的多个N板上料吸盘组件、设置于P板上料机械臂上的多个P板上料吸盘组件和设置于下料机械臂上的多个下料吸盘组件；所述N板上料吸盘组件、P板上料吸盘组件和下料吸盘组件均包括安装板、设置于安装板顶部中间的连接杆以及多个吸嘴组件，所述N板上料吸盘组件和P板上料吸盘组件均呈对角线设置两个吸嘴组件，且N板上料吸盘组件和P板上料吸盘组件上的吸嘴组件交错设置；所述下料吸盘组件上设置四个吸嘴组件，且分布于安装板的四角。
[0017]本专利技术提供一种异质结电池PECVD吸嘴印改善方法，其采用的技术方案如下：
[0018](
ⅰ
)使用如权利要求9所述的吸盘机构；
[0019](
ⅱ
)载板采用碳纤维材质；
[0020](
ⅲ
)自动化上料拉片和翻转机构的台阶包覆耐磨胶带；
[0021](
ⅳ
)载板、硅片传输机构以及每个吸嘴(1)保证水平；
[0022](
ⅴ
)上料机械臂和下料机械臂各由一路CDA供气。
[0023]本专利技术的有益效果是：
[0024]本专利技术提供了一种异质结电池PECVD吸嘴组件、吸盘机构及吸嘴印改善方法，针对现有板式PECVD的硬件条件和吸片方式，通过优化吸盘来实现吸嘴印的减轻，来提升最终电池片的效率以及外观。
附图说明
[0025]图1为本专利技术异质结电池PECVD吸嘴组件的结构示意图；
[0026]图2为本专利技术异质结电池PECVD吸嘴组件的局部剖视图；
[0027]图3为本专利技术异质结电池PECVD吸盘机构中N板上料吸盘组件的结构示意图；
[0028]图4为本专利技术异质结电池PECVD吸盘机构中P板上料吸盘组件的结构示意图；
[0029]图5本专利技术异质结电池PECVD吸盘机构中下料吸盘组件的结构示意图。
[0030]其中：
[0031]1 吸嘴
[0032]11 吸嘴头
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
12 吸嘴套
[0033]2 吸嘴杆
[0034]21 滑动部
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
22 连接部
[0035]23 螺纹套筒
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
24 弹簧
[0036]25 连接螺母
ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
26 滚珠
[0037]3 上固定螺母
[0038]4 下固定螺母
[0039]01 吸嘴组件
[0040]02 安装板
[0041]03 连接杆。
具体实施方式
[0042]下面结合附图和实施例，对本专利技术的具体实施方式作进一步详细描述。
[0043]实施例1
[0044]如图1、2所示，本专利技术提供一种异质结电池PECVD吸嘴组件，包括吸嘴1和吸嘴杆2，所述吸嘴1包括吸嘴头11以及将吸嘴头11与吸嘴杆2连接的吸嘴套12；
[0045]所述吸嘴杆2包括相互连接的连接部、滑动部21、转动部22和螺纹部，所述滑动部21的横截面为六边形，所述转动部22中下段外部套设弹簧24，所述螺纹部通过连接螺母25与真空气管连接；所述弹簧24外部套设螺纹套筒23；螺纹套筒23外部设置上固定螺母3和下固定螺母4。
[0046]所述连接部、滑动部21、转动部22和螺纹部一体成型。
[0047]所述螺纹套筒23靠近滑动部21一端的内径小于滑动部21横截面所在圆的直径。
[0048]所述螺纹套筒23靠近本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种异质结电池PECVD吸嘴组件，包括吸嘴(1)和吸嘴杆(2)，其特征在于，所述吸嘴(1)包括吸嘴头(11)以及将吸嘴头(11)与吸嘴杆(2)连接的吸嘴套(12)；所述吸嘴杆(2)包括相互连接的连接部、滑动部(21)、转动部(22)和螺纹部，所述滑动部(21)的横截面为六边形，所述转动部(22)中下段外部套设弹簧(24)，所述螺纹部通过连接螺母(25)与真空气管连接；所述弹簧(24)外部套设螺纹套筒(23)；螺纹套筒(23)外部设置上固定螺母(3)和下固定螺母(4)。2.如权利要求1所述的异质结电池PECVD吸嘴组件，其特征在于，所述连接部、滑动部(21)、转动部(22)和螺纹部一体成型。3.如权利要求1所述的异质结电池PECVD吸嘴组件，其特征在于，所述螺纹套筒(23)靠近滑动部(21)一端的内径小于滑动部(21)横截面所在圆的直径。4.如权利要求1所述的异质结电池PECVD吸嘴组件，其特征在于，所述螺纹套筒(23)靠近滑动部(21)一端内壁形成用于容纳弹簧(24)的凹槽，其靠近吸嘴杆(2)的螺纹部的一端形成多个滑槽，滑槽内设置多个滚珠(26)。5.如权利要求4所述的异质结电池PECVD吸嘴组件，其特征在于，所述螺纹套筒(23)内壁的滑槽槽底为弧形。6.如权利要求4所述的异质结电池PECVD吸嘴组件，其特征在于，所述滚珠(26)与吸嘴杆(2)的转动部(22)接触。7.如权利要求1所述的异质结电池PECVD吸嘴组件，其特征在于，所述吸嘴杆(2)的连接部与吸嘴...

【专利技术属性】
技术研发人员：牛志楠，郭磊，王强强，王明明，王继磊，黄金，白焱辉，师海峰，贾慧君，
申请(专利权)人：晋能光伏技术有限责任公司，
类型：发明
国别省市：