一种半导体icp-ms超净水循环系统技术方案

本实用新型专利技术公开了冷却技术领域的一种半导体icp

【技术实现步骤摘要】
一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统


[0001]本技术涉及冷却
，具体为一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统。

技术介绍

[0002]ICP
‑
MS即电感耦合等离子体质谱，是上世纪80年代发展起来的新的分析测试技术，具有检出限低、精密度高、分析速度快等优点被广泛应用于半导体、生物、医药分析等领域。ICP
‑
MS可进行定性分析、半定量分析和定量分析。ICP
‑
MS工作原理是从10000K高温的等离子体中通过接口提取离子进入真空度约为10
‑
6Torr的质谱仪，样品以液体气溶胶(在激光烧灼中是固体颗粒)形式被引入，在等离子体被电离，在此区域基体和待测元素的离子被引入质谱仪进行分离，最后由离子检测系统进行检测。
[0003]超净水循环系统是降低ICP
‑
MS发热的重要系统，若其管路水流不畅，可导致仪器发热部位温度过高而报错或非正常熄火。超净水循环系统中超净水可以降低水槽及管壁的腐蚀，同时定期更换也可以减弱水中藻类、细菌等的生长(该因素也可能导致管壁的腐蚀)。
[0004]但是现有的超净水循环系统其在循环过程中由于回水热量无法及时散出，所以仍然存在着冷却效果随着循环次数的增加会越来越低的问题，因此需要研发一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统很有必要。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统，通过设有的箱体、盖体、散热机构、出水管和回水管的配合使用，使得箱体内的超净水在经过循环冷却作业后由回水管回到箱体内部时，带着的热量可被散热机构及时散出，从而可保证超净水的冷却效果不受循环次数的影响，相对于现有技术，本技术冷却效果稳定，使用效果更佳，以解决上述
技术介绍
中提出的现有的超净水循环系统其在循环过程中由于回水热量无法及时散出，仍然存在着冷却效果随着循环次数的增加会越来越低的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统，包括箱体和箱盖，所述箱体上设有散热机构，所述箱盖嵌在箱体顶端，所述箱体左侧壁底端焊接有出水管，所述箱体左侧壁顶端焊接有回水管。
[0007]优选的，所述散热机构为散热孔、安装箱、搅拌杆、减速器、连接杆a、锥形齿轮a、驱动电机、锥形齿轮b、连接杆b、锥形齿轮c和扇叶，所述箱盖盖体呈圆形阵列设有多个散热孔，所述箱盖上表面中心位置固定连接有安装箱，所述箱盖中心位置转动连接有搅拌杆，所述搅拌杆底端竖直延伸到箱体内部下方，所述搅拌杆顶端竖直延伸到安装箱内部。
[0008]优选的，所述搅拌杆顶端固定连接在减速器输出端，所述减速器输入端固定连接有连接杆a，所述连接杆a顶端焊接有锥形齿轮a,所述箱盖上表面右侧固定连接有安装块，所述安装块上表面固定连接有驱动电机，所述驱动电机输出端固定连接有转杆，所述转杆左端水平贯穿安装箱右侧壁并且延伸到安装箱内部。
[0009]优选的，所述转杆左端焊接有锥形齿轮b，所述锥形齿轮b与锥形齿轮a相啮合，所
述安装箱顶部中心位置转动连接有连接杆b，所述连接杆b底端焊接有锥形齿轮c，所述锥形齿轮c也与锥形齿轮b相啮合。
[0010]优选的，所述连接杆b顶端竖直延伸出安装箱顶部，所述连接杆b顶端固定连接有扇叶。
[0011]优选的，所述散热孔内部嵌有滤网，所述滤网为HEPA高效滤网。
[0012]优选的，所述散热机构为螺旋冷却管，所述螺旋冷却管管身位于箱体内部，所述螺旋冷却管输出端水平贯穿箱体右侧壁上侧，所述螺旋冷却管输入端水平贯穿箱体右侧壁下侧。
[0013]优选的，所述箱体前侧壁固定连接有液位计，所述液位计前表面设有刻度线。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术通过设有的箱体、盖体、散热机构、出水管和回水管的配合使用，使得箱体内的超净水在经过循环冷却作业后由回水管回到箱体内部时，带着的热量可被散热机构及时散出，从而可保证超净水的冷却效果不受循环次数的影响，相对于现有技术，本技术冷却效果稳定，使用效果更佳，适宜推广使用。
附图说明
[0015]图1为本技术实施例一的结构剖视图；
[0016]图2为本技术实施例一的结构主视图；
[0017]图3为本技术实施例一的结构俯视图；
[0018]图4为本技术实施例二的结构剖视图；
[0019]图5为本技术实施例二中散热机构的三维结构示意图。
[0020]图中：1、箱体；1
‑
1、出水管；1
‑
2、回水管；2、箱盖；2
‑
1、散热孔；2
‑1‑
1、滤网；2
‑
2、安装块；3、安装箱；4、搅拌杆；5、减速器；6、连接杆a；7、锥形齿轮a；8、驱动电机；8
‑
1、转杆；9、锥形齿轮b；10、连接杆b；11、锥形齿轮c；12、扇叶；13、螺旋冷却管；14、液位计。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]本技术提供如下技术方案：
[0023]实施例一：
[0024]请参阅图1
‑
3，一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统，包括箱体1和箱盖2，箱体1上设有散热机构，箱盖2嵌在箱体1顶端，箱体1左侧壁底端焊接有出水管1
‑
1，箱体1左侧壁顶端焊接有回水管1
‑
2，可使得经过冷却作业后的超净水由回水管1
‑
2回到箱体1内部，从而形成超净水循环系统，散热机构为散热孔2
‑
1、安装箱3、搅拌杆4、减速器5、连接杆a6、锥形齿轮a7、驱动电机8、锥形齿轮b9、连接杆b10、锥形齿轮c11和扇叶12，箱盖2盖体呈圆形阵列设有多个散热孔2
‑
1，所以经过冷却作业后的超净水带有的热量可由多个散热孔2
‑
1排出，散热孔2
‑
1内部嵌有滤网2
‑1‑
1，滤网2
‑1‑
1为HEPA高效滤网，可有效防止外界灰尘等杂质由散热
孔2
‑
1进入箱体内污染超净水，使得本技术结构设计合理；
[0025]箱盖2上表面中心位置固定连接有安装箱3，箱盖2中心位置转动连接有搅拌杆4，搅拌杆4底端竖直延伸到箱体1内部下方，搅拌杆4顶端竖直延伸到安装箱3内部，搅拌杆4顶端固定连接本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体icp
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ms超净水循环系统，包括箱体(1)和箱盖(2)，其特征在于：所述箱体(1)上设有散热机构，所述箱盖(2)嵌在箱体(1)顶端，所述箱体(1)左侧壁底端焊接有出水管(1
‑
1)，所述箱体(1)左侧壁顶端焊接有回水管(1
‑
2)。2.根据权利要求1所述的一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统，其特征在于：所述散热机构为散热孔(2
‑
1)、安装箱(3)、搅拌杆(4)、减速器(5)、连接杆a(6)、锥形齿轮a(7)、驱动电机(8)、锥形齿轮b(9)、连接杆b(10)、锥形齿轮c(11)和扇叶(12)，所述箱盖(2)盖体呈圆形阵列设有多个散热孔(2
‑
1)，所述箱盖(2)上表面中心位置固定连接有安装箱(3)，所述箱盖(2)中心位置转动连接有搅拌杆(4)，所述搅拌杆(4)底端竖直延伸到箱体(1)内部下方，所述搅拌杆(4)顶端竖直延伸到安装箱(3)内部。3.根据权利要求2所述的一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统，其特征在于：所述搅拌杆(4)顶端固定连接在减速器(5)输出端，所述减速器(5)输入端固定连接有连接杆a(6)，所述连接杆a(6)顶端焊接有锥形齿轮a(7),所述箱盖(2)上表面右侧固定连接有安装块(2
‑
2)，所述安装块(2
‑
2)上表面固定连接有驱动电机(8)，所述驱动电机(8)输出端固定连接有转杆(8
‑
1)，所述转杆(8
...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾霁晨，钟涛，蒋建兵，
申请(专利权)人：上海凯来谱科技有限公司，
类型：新型
国别省市：