一种半导体icp-ms超净水循环系统技术方案

本实用新型专利技术公开了冷却技术领域的一种半导体icp

【技术实现步骤摘要】
一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统


[0001]本技术涉及冷却
，具体为一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统。

技术介绍

[0002]ICP
‑
MS即电感耦合等离子体质谱，是上世纪80年代发展起来的新的分析测试技术，具有检出限低、精密度高、分析速度快等优点被广泛应用于半导体、生物、医药分析等领域。ICP
‑
MS可进行定性分析、半定量分析和定量分析。ICP
‑
MS工作原理是从10000K高温的等离子体中通过接口提取离子进入真空度约为10
‑
6Torr的质谱仪，样品以液体气溶胶(在激光烧灼中是固体颗粒)形式被引入，在等离子体被电离，在此区域基体和待测元素的离子被引入质谱仪进行分离，最后由离子检测系统进行检测。
[0003]超净水循环系统是降低ICP
‑
MS发热的重要系统，若其管路水流不畅，可导致仪器发热部位温度过高而报错或非正常熄火。超净水循环系统中超净水可以降低水槽及管壁的腐蚀，同时定期更换也可以减弱水本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统，包括箱体(1)和箱盖(2)，其特征在于：所述箱体(1)上设有散热机构，所述箱盖(2)嵌在箱体(1)顶端，所述箱体(1)左侧壁底端焊接有出水管(1
‑
1)，所述箱体(1)左侧壁顶端焊接有回水管(1
‑
2)。2.根据权利要求1所述的一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统，其特征在于：所述散热机构为散热孔(2
‑
1)、安装箱(3)、搅拌杆(4)、减速器(5)、连接杆a(6)、锥形齿轮a(7)、驱动电机(8)、锥形齿轮b(9)、连接杆b(10)、锥形齿轮c(11)和扇叶(12)，所述箱盖(2)盖体呈圆形阵列设有多个散热孔(2
‑
1)，所述箱盖(2)上表面中心位置固定连接有安装箱(3)，所述箱盖(2)中心位置转动连接有搅拌杆(4)，所述搅拌杆(4)底端竖直延伸到箱体(1)内部下方，所述搅拌杆(4)顶端竖直延伸到安装箱(3)内部。3.根据权利要求2所述的一种半导体icp
‑
ms超净水循环系统，其特征在于：所述搅拌杆(4)顶端固定连接在减速器(5)输出端，所述减速器(5)输入端固定连接有连接杆a(6)，所述连接杆a(6)顶端焊接有锥形齿轮a(7),所述箱盖(2)上表面右侧固定连接有安装块(2
‑
2)，所述安装块(2
‑
2)上表面固定连接有驱动电机(8)，所述驱动电机(8)输出端固定连接有转杆(8
‑
1)，所述转杆(8
...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾霁晨，钟涛，蒋建兵，
申请(专利权)人：上海凯来谱科技有限公司，
类型：新型
国别省市：