一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备，包括壳体、水箱、导流组件和沉积箱，壳体的内部安装有沉积箱，沉积箱的底部安装有加热箱，加热箱内部的底部两侧安装有加热管，沉积箱的内部安装有导流组件，导流组件内安装有安装架，安装架的一侧安装有两组安装板，安装板的正面等距安装有导流片。本实用新型专利技术通过在安装板的一侧安装有导流片，能够通过导流片对沉积箱内部的气体粒子进行引导，从而可以使气体粒子垂直向下进行移动，进而可以保证气体粒子附着在石墨盘表面形成减反射膜时，减反射膜整体的厚度保持一致，防止装置制备出的减反射膜厚度不均匀，提升了装置对减反射膜的生产效果。对减反射膜的生产效果。对减反射膜的生产效果。

【技术实现步骤摘要】
一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备


[0001]本技术涉及减反射膜生产
，具体为一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备。

技术介绍

[0002]减反射膜是一种用于覆盖在透镜等光学镜片表面，可以减少玻璃表面反光的复合型薄膜，减反射膜在生产制造时根据生产方法不同可分为溶胶——凝胶法、化学气相沉积法和溅射法，而在工业生产中最为成熟也是应用最广泛的为化学气相沉积法，因此，为了便于对减反射膜进行生产制备，我们提出一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备。
[0003]现有的减反射膜生产设备存在的缺陷是：
[0004]1、现有的减反射膜生产设备在使用化学气相沉积法对减反射膜进行制备时，需要将含有特定元素的气体导入装置的内部，使空气中的粒子自由下落至石墨盘的表面，从而生成具有特殊结构的减反射膜，而传统的生产设备在使用气相沉积法进行制备时，气体粒子由于惯性，在进入装置后的移动轨迹较为混乱，进而会出现乱流，会对减反射膜的制备效果造成影响，从而使减反射膜的厚度不便于控制；
[0005]2、现有的减反射膜生产设备在对减反射膜进行制备后，由于气体粒子的扩散面积较大，粒子除了会吸附在石墨盘的表面，还会吸附在装置内部的组件表面，从而需要对装置内部的粒子进行清洗，传统的生产设备在对装置进行清洗时不够便利，并且清洗效果有限，且装置的用水量较大，降低了装置的实用性。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备，包括壳体、水箱、导流组件和沉积箱，所述壳体的底部两侧安装有两组支撑脚，所述壳体的内部安装有保温板，所述壳体的内部安装有沉积箱，所述沉积箱的底部安装有加热箱，所述加热箱内部的底部两侧安装有加热管，所述加热箱的顶部安装有三组延伸至沉积箱内部的铜杆，所述沉积箱的内部安装有导流组件，所述导流组件内安装有安装架，所述安装架的一侧安装有两组安装板，所述安装板的正面等距安装有导流片，所述安装架的一侧安装有导气盘，所述沉积箱的一侧安装有风机箱，所述风机箱的内部安装有抽风机，所述抽风机的输入端安装有延伸出壳体的进气管，所述沉积箱远离风机箱的一侧安装有水箱，所述水箱内部的底部安装有回流箱，所述回流箱的顶部安装有过滤箱，所述过滤箱的内部等距安装有反渗透膜。
[0008]优选的，所述壳体的正面安装有密封盖，且壳体的正面两侧安装有检修盖。
[0009]优选的，所述抽风机的下方安装有真空泵，且真空泵的输出端安装有延伸出壳体的排气管。
[0010]优选的，所述过滤箱的顶部安装有抽水泵，且抽水泵的输出端延伸至沉积箱的内部安装有喷嘴。
[0011]优选的，所述导气盘的底部安装有透气网板，且导气盘的顶部安装有导流管。
[0012]优选的，所述铜杆的顶部安装有限位座，且限位座的顶部安装有石墨盘。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014]1、本技术通过在安装板的一侧安装有导流片，能够通过导流片对沉积箱内部的气体粒子进行引导，从而可以使气体粒子垂直向下进行移动，进而可以保证气体粒子附着在石墨盘表面形成减反射膜时，减反射膜整体的厚度保持一致，防止装置制备出的减反射膜厚度不均匀，提升了装置对减反射膜的生产效果。
[0015]2、本技术通过在回流箱的顶部安装有过滤箱，能够通过过滤箱对回流箱内部的污水进行过滤分离，从而可以使污水中的颗粒物被隔绝在反渗透膜的底部，使水分子透过过滤箱进入抽水泵中对沉积箱的内部进行循环冲洗，不仅可以提升装置自动清洗的便利性，还可以节省水资源，提升了装置的实用性和环保性。
附图说明
[0016]图1为本技术的三维立体结构示意图；
[0017]图2为本技术的正面剖面结构示意图；
[0018]图3为本技术的正面外部结构示意图；
[0019]图4为本技术的导流组件局部结构示意图。
[0020]图中：1、壳体；101、保温板；102、支撑脚；103、密封盖；104、检修盖；2、风机箱；201、抽风机；202、进气管；203、排气管；204、真空泵；3、水箱；301、回流箱；302、反渗透膜；303、过滤箱；304、抽水泵；305、喷嘴；4、导流组件；401、安装架；402、导流管；403、导气盘；404、透气网板；405、安装板；406、导流片；5、沉积箱；501、石墨盘；502、铜杆；503、加热管；504、加热箱；505、限位座。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0022]请参阅图1
‑
4，本技术提供的一种实施例：一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备，包括壳体1、水箱3、导流组件4和沉积箱5，壳体1的底部两侧安装有两组支撑脚102，壳体1可以为内部的组件提供安装的位置，支撑脚102可以对壳体1进行支撑，从而增加了装置的稳定性，壳体1的内部安装有保温板101，保温板101可以提升壳体1的保温隔热性能，从而可以防止装置在进行减反射膜的制备时受到外界环境温度的影响，壳体1的内部安装有沉积箱5，沉积箱5可以为内部的组件提供安装的位置，并且可以使用气相沉积法对减反射膜进行制备，沉积箱5的底部安装有加热箱504，加热箱504可以为内部的组件提供安装的位置，并且加热箱504的内部填充有导热液，可以提升热量传导的效率和均匀性，加热箱504内部的底部两侧安装有加热管503，加热管503通电后可以发出热量，从而可以对周围的
组件进行加热，加热箱504的顶部安装有三组延伸至沉积箱5内部的铜杆502，铜杆502可以吸收加热箱504内部的热量，以便于对顶部的组件进行加热，沉积箱5的内部安装有导流组件4，导流组件4可以对进入沉积箱5内部的气体进行引导，从而可以使气体粒子均匀的垂直向下移动，以保证减反射膜的成膜效果，导流组件4内安装有安装架401，安装架401可以为周围的组件提供安装的位置，安装架401的一侧安装有两组安装板405，安装板405可以为导流片406提供安装的位置，安装板405的正面等距安装有导流片406，导流片406可以引导气体粒子均匀的垂直向下移动，进而可以保证气体粒子在石墨盘501的顶部形成减反射膜时减反射膜可以保持厚度均匀，提升了装置对于减反射膜的制备效果，安装架401的一侧安装有导气盘403，导气盘403可以引导气体粒子进入沉积箱5，并且使气体粒子均匀的分布到沉积箱5的内部，沉积箱5的一侧安装有风机箱2，风机箱2可以为内部的组件提供安装的位置，风机箱2的内部安装有抽风机201，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备，包括壳体（1）、水箱（3）、导流组件（4）和沉积箱（5），其特征在于：所述壳体（1）的底部两侧安装有两组支撑脚（102），所述壳体（1）的内部安装有保温板（101），所述壳体（1）的内部安装有沉积箱（5），所述沉积箱（5）的底部安装有加热箱（504），所述加热箱（504）内部的底部两侧安装有加热管（503），所述加热箱（504）的顶部安装有三组延伸至沉积箱（5）内部的铜杆（502），所述沉积箱（5）的内部安装有导流组件（4），所述导流组件（4）内安装有安装架（401），所述安装架（401）的一侧安装有两组安装板（405），所述安装板（405）的正面等距安装有导流片（406），所述安装架（401）的一侧安装有导气盘（403），所述沉积箱（5）的一侧安装有风机箱（2），所述风机箱（2）的内部安装有抽风机（201），所述抽风机（201）的输入端安装有延伸出壳体（1）的进气管（202），所述沉积箱（5）远离风机箱（2）的一侧安装有水箱（3），所述水箱（3）内部的底部安装有回流箱（301），所述回流箱（301）的顶部安装有过滤箱（303）...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗先柱，曾先君，张东旭，
申请(专利权)人：嘉兴昊特新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：