下载一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备的技术资料

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本实用新型公开了一种高孔隙率多孔二氧化硅减反射膜生产设备,包括壳体、水箱、导流组件和沉积箱,壳体的内部安装有沉积箱,沉积箱的底部安装有加热箱,加热箱内部的底部两侧安装有加热管,沉积箱的内部安装有导流组件,导流组件内安装有安装架,安装架的一侧...
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