一种等离子除胶装置制造方法及图纸

技术编号:32766004 阅读:11 留言:0更新日期:2022-03-23 19:16
本实用新型专利技术属于除胶装置技术领域,尤其是一种等离子除胶装置,针对现有等离子除胶装置使用不便的问题,现提出如下方案,其包括除胶装置,所述除胶装置为中空结构,所述除胶装置的内壁上滑动连接有框架,所述框架的顶部固定安装有齿条,所述除胶装置内设有两个链轮,两个链轮上套设有同一个链条,位于右侧位置的链轮的底部固定安装有带动齿轮,所述带动齿轮与齿条相啮合,所述除胶装置的顶部固定安装有定位盘,所述除胶装置的左侧转动连接有门板,所述门板为中空结构,所述门板的内壁上设有定位机构,本实用新型专利技术在门板上按动按动杆,按动杆可对门板进行解锁,然后再打开门板,门板就可将框架带出,方便对框架填充物品。方便对框架填充物品。方便对框架填充物品。

【技术实现步骤摘要】
一种等离子除胶装置


[0001]本技术涉及除胶装置
,尤其涉及一种等离子除胶装置。

技术介绍

[0002]等离子去胶法,去胶气体为氧气。其工作原理是将硅片置于真空反应系统中,通入少量氧气,加1500 V高压,由高频信号发生器产生高频信号,使石英管内形成强的电磁场,使氧气电离,形成氧离子、活化的氧原子、氧分子和电子等混合物的等离子体的辉光柱。活化氧(活泼的原子态氧)可以迅速地将聚酰亚胺膜氧化成为可挥发性气体,被机械泵抽走,这样就把硅片上的聚酰亚胺膜去除了。等离子去胶的优点是去胶操作简单、去胶效率高、表面干净光洁、无划痕、成本低、环保。
[0003]现有技术中的等离子除胶装置使用不便,在使用时需要先打开装置的门板,再将装置内的框架取出才可往框架内放置待除胶的物品,因此,我们提出一种等离子除胶装置,用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在等离子除胶装置使用不便,在使用时需要先打开装置的门板,再将装置内的框架取出才可往框架内放置待除胶的物品的缺点,而提出的一种等离子除胶装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种等离子除胶装置,包括除胶装置,所述除胶装置为中空结构,所述除胶装置的内壁上滑动连接有框架,所述框架的顶部固定安装有齿条,所述除胶装置内设有两个链轮,两个链轮上套设有同一个链条,位于右侧位置的链轮的底部固定安装有带动齿轮,所述带动齿轮与齿条相啮合,所述除胶装置的顶部固定安装有定位盘,所述除胶装置的左侧转动连接有门板,所述门板为中空结构,所述门板的内壁上设有定位机构,所述定位机构与定位盘相配合,所述除胶装置内设有传动机构,所述传动机构与链轮相配合。
[0007]优选的,所述定位机构包括按动杆、控制杆、弹簧、托块、中心杆和定位杆,所述按动杆滑动连接在门板的内壁上,所述控制杆与滑动连接在门板的内壁上,所述弹簧和托块的数量均为两个,所述托块与弹簧固定连接,所述弹簧与控制杆固定连接,所述中心杆与控制杆固定连接,所述中心杆与按动杆相配合,定位机构用于对门板进行定位,门板在打开后可自动对门板进行定位,使得门板不会妨碍对框架填充物品,门板与框架连接,也实现了对框架的定位,增加框架的稳定性。
[0008]优选的,所述传动机构包括连接齿轮、配合齿轮和半齿轮,所述连接齿轮、配合齿轮和半齿轮均与除胶装置转动连接,所述半齿轮与门板固定连接,所述半齿轮与配合齿轮相啮合,所述配合齿轮与连接齿轮相啮合,传动机构用于将门板和框架连接起来,使得门板在打开时可将框架带出,在带出后再自动对框架进行定位,同时门板关闭也可自动将框架带入。
[0009]优选的,所述按动杆的右侧为锥形结构,所述中心杆的左侧固定安装有配合块,所述按动杆的右侧与配合块的右侧滑动接触,使得按动杆在向右侧移动时可按动中心杆下降,按动杆在门板内只能向左侧或者向右侧移动,而中心杆则只能向下或者向上移动,在按动杆向右侧移动时,按动杆的右侧与配合块的左侧接触,按动杆就会向下按动配合块,配合块再带动中心杆下降。
[0010]优选的,所述定位盘的底部开设有等间距排列的多个定位槽,所述定位杆的顶端与定位槽的内壁滑动接触,在定位杆与定位盘啮合时,定位盘不可转动,因此定位杆也就不可转动,定位杆就可将门板定位住,来阻挡门板转动,实现对门板的定位。
[0011]优选的,所述连接齿轮的底部固定安装有连接轴,所述连接轴的底端与左侧位置的链轮固定连接,连接轴用于连接连接齿轮和左侧位置的链轮,使得连接齿轮在转动时可带动左侧位置的链轮转动,实现对左侧位置链轮的传动。
[0012]有益效果:
[0013]1、通过定位机构,定位机构用于对门板进行定位,门板在打开后可自动对门板进行定位,使得门板不会妨碍对框架填充物品,门板与框架连接,也实现了对框架的定位,增加框架的稳定性;
[0014]2、通过传动机构,传动机构用于将门板和框架连接起来,使得门板在打开时可将框架带出,在带出后再自动对框架进行定位,同时门板关闭也可自动将框架带入;
[0015]本技术在门板上按动按动杆,按动杆可对门板进行解锁,然后再打开门板,门板就可将框架带出,方便对框架填充物品,松开按动杆后,按动杆还可以自锁,将框架的位置定位住,方便使用框架。
附图说明
[0016]图1为本技术提出的一种等离子除胶装置的三维示意图;
[0017]图2为本技术提出的一种等离子除胶装置的主视示意图;
[0018]图3为本技术提出的一种等离子除胶装置的局部俯视示意图;
[0019]图4为本技术提出的一种等离子除胶装置的A放大示意图。
[0020]图中:1除胶装置、2门板、3定位盘、4按动杆、5带动齿轮、6齿条、7框架、8链轮、9链条、10控制杆、11弹簧、12托块、13中心杆、14配合块、15连接齿轮、16配合齿轮、17定位杆、18半齿轮。
具体实施方式
[0021]下面将结合本技术实施例中的附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例。
[0022]参照图1

4,一种等离子除胶装置,包括除胶装置1,除胶装置1为中空结构,除胶装置1的内壁上滑动连接有框架7,框架7的顶部固定安装有齿条6,除胶装置1内设有两个链轮8,两个链轮8上套设有同一个链条9,位于右侧位置的链轮8的底部固定安装有带动齿轮5,带动齿轮5与齿条6相啮合,除胶装置1的顶部固定安装有定位盘3,除胶装置1的左侧转动连接有门板2,门板2为中空结构,门板2的内壁上设有定位机构,定位机构与定位盘3相配合,
除胶装置1内设有传动机构,传动机构与链轮8相配合。
[0023]定位机构包括按动杆4、控制杆10、弹簧11、托块12、中心杆13和定位杆17,按动杆4滑动连接在门板2的内壁上,控制杆10与滑动连接在门板2的内壁上,弹簧11和托块12的数量均为两个,托块12与弹簧11固定连接,弹簧11与控制杆10固定连接,中心杆13与控制杆10固定连接,中心杆13与按动杆4相配合,定位机构用于对门板2进行定位,门板2在打开后可自动对门板2进行定位,使得门板2不会妨碍对框架7填充物品,门板2与框架7连接,也实现了对框架7的定位,增加框架7的稳定性,按动杆4的右侧为锥形结构,中心杆13的左侧固定安装有配合块14,按动杆4的右侧与配合块14的右侧滑动接触,使得按动杆4在向右侧移动时可按动中心杆13下降,按动杆4在门板2内只能向左侧或者向右侧移动,而中心杆13则只能向下或者向上移动,在按动杆4向右侧移动时,按动杆4的右侧与配合块14的左侧接触,按动杆4就会向下按动配合块14,配合块14再带动中心杆13下降,定位盘3的底部开设有等间距排列的多个定位槽,定位杆17的顶端与定位槽的内壁滑动接触,在定位杆17与定位盘3啮合时,定位盘3不可转动,因此定位杆17也就不可转动,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种等离子除胶装置,包括除胶装置(1),其特征在于,所述除胶装置(1)为中空结构,所述除胶装置(1)的内壁上滑动连接有框架(7),所述框架(7)的顶部固定安装有齿条(6),所述除胶装置(1)内设有两个链轮(8),两个链轮(8)上套设有同一个链条(9),位于右侧位置的链轮(8)的底部固定安装有带动齿轮(5),所述带动齿轮(5)与齿条(6)相啮合,所述除胶装置(1)的顶部固定安装有定位盘(3),所述除胶装置(1)的左侧转动连接有门板(2),所述门板(2)为中空结构,所述门板(2)的内壁上设有定位机构,所述定位机构与定位盘(3)相配合,所述除胶装置(1)内设有传动机构,所述传动机构与链轮(8)相配合。2.根据权利要求1所述的一种等离子除胶装置,其特征在于,所述定位机构包括按动杆(4)、控制杆(10)、弹簧(11)、托块(12)、中心杆(13)和定位杆(17),所述按动杆(4)滑动连接在门板(2)的内壁上,所述控制杆(10)滑动连接在门板(2)的内壁上,所述弹簧(11)和托块(12)的数量均为两个,所述托块(12)与弹簧(11)固定连接,所述弹簧(1...

【专利技术属性】
技术研发人员:傅爱国
申请(专利权)人:南京国阳电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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