镀膜尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种镀膜尾气处理装置，包括处理室与沿尾气的流动路径依次排列的加热组件、冷却组件与过滤组件，处理室设置有与处理腔连通的尾气入口、尾气出口、蒸汽入口，加热组件包括加热管与多个第一滞板，冷却组件包括多个间隔的冷却单元，冷却单元包括冷却板与多个第二滞板，冷却板开设有过气孔，相邻冷却板的过气孔相互错开，过滤组件包括滤芯。本实用新型专利技术中，使尾气中的TMA在处理腔内充分反应，冷却组件对尾气进行降温，TMA所生成的粉尘以及尾气中的原有粉尘接触水蒸气而凝结、沉淀，第一滞板与第二滞板拦截尾气，过滤组件对尾气过滤，降低进入真空泵内的粉尘含量，提高真空泵的使用寿命。泵的使用寿命。泵的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
镀膜尾气处理装置


[0001]本技术涉及镀膜设备尾气处理
，尤其涉及一种镀膜尾气处理装置。

技术介绍

[0002]氧化铝具有较高的电荷密度，能够对电池P型表面提供良好的钝化，使较为普遍的PERC(Passivated Emitterand Rear Cell)电池生产钝化材料，TMA(三甲基铝)是氧化铝镀膜的主要反应成分，TMA反应过程中产生的氧化铝粉尘，进入尾气中，并且尾气含有未进行反应的TMA，相关技术中，将尾气通入过滤装置过滤后进入真空泵，但尾气不能在过滤装置中充分反应，粉尘从过滤装置排出，并进入真空泵，并造成真空泵堵塞，影响真空泵的使用寿命。

技术实现思路

[0003]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术提出一种镀膜尾气处理装置，使尾气充分反应，能够有效拦截尾气中的粉尘进入真空泵，延长真空泵的使用寿命。
[0004]根据本技术实施例中的镀膜尾气处理装置，用于处理镀膜尾气，包括：
[0005]处理室，内部具有处理腔，所述处理室设置有尾气入口、尾气出口与蒸汽入口，所述尾气入口、所述尾气出口、所述蒸汽入口均与所述处理腔连通；
[0006]加热组件，包括加热管与多个第一滞板，所述第一滞板与所述加热管连接，多个所述第一滞板间隔分布；
[0007]冷却组件，包括多个冷却单元，多个所述冷却单元层叠设置，相邻的所述冷却单元之间具有间隙，所述冷却单元包括冷却板与多个第二滞板，所述第二滞板连接于所述冷却板的侧部，所述冷却板开设有过气孔，相邻所述冷却板的所述过气孔相互错开；
[0008]过滤组件，包括滤芯，所述尾气出口朝向所述滤芯；
[0009]其中，所述加热组件、所述冷却组件与所述过滤组件均容置于所述处理腔内，且沿所述尾气的流动路径依次排列，所述蒸汽入口靠近所述加热组件设置。
[0010]根据本技术实施例的镀膜尾气处理装置，至少具有如下有益效果：
[0011]本技术实施例中提供的镀膜尾气处理装置，通过加热组件的加热使尾气中的TMA在处理腔内充分反应，TMA所生成的粉尘以及尾气中的原有粉尘接触水蒸气而凝结、沉淀，冷却组件对尾气进行降温，加速粉尘的沉降，第一滞板与第二滞板拦截尾气，增长尾气在处理腔内的停留时间，并吸附粉尘，过滤组件对尾气过滤，进一步对尾气进行净化，降低进入真空泵内的粉尘含量，提高真空泵的使用寿命。
[0012]根据本技术的一些实施例，所述加热组件、所述冷却组件与所述过滤组件从下到上依次设排列，所述尾气入口位于所述处理室的下部，且开设于所述处理室的侧部，所述尾气入口朝向所述加热组件。
[0013]根据本技术的一些实施例，所述加热管盘旋设置，并沿竖直方向分布有多层，
每层所述加热管均连接有所述第一滞板，且所述第一滞板分布于每层所述加热管沿竖直方向的两侧。
[0014]根据本技术的一些实施例，沿朝向所述尾气入口的方向，所述第一滞板逐渐向上倾斜。
[0015]根据本技术的一些实施例，所述冷却组件还包括冷却管与多个第三滞板，所述冷却管包括相互连接的冷却段与安装段，所述冷却段盘绕于所述冷却板的表面，所述安装段远离所述尾气入口设置，所述安装段的侧部间隔连接有多个所述第三滞板。
[0016]根据本技术的一些实施例，所述安装段设置于所述加热组件背离所述尾气入口的一侧，与所述加热组件相邻的所述冷却板的所述过气孔，设置于所述冷却板靠近所述安装段的一侧。
[0017]根据本技术的一些实施例，所述第三滞板沿竖直方向至少设置有两列，靠近所述尾气入口的所述第三滞板，沿朝向所述尾气入口的方向逐渐向上倾斜，远离所述尾气入口的所述第三滞板，沿背离所述尾气入口的方向逐渐向下倾斜。
[0018]根据本技术的一些实施例，相邻的所述冷却单元中，所述过气孔分别设置于两个所述冷却板相对的两侧，远离所述加热组件的所述冷却板的所述过气孔，设置于所述冷却板的中心区域。
[0019]根据本技术的一些实施例，每一所述冷却单元内，靠近所述过气孔的所述第二滞板朝向所述过气孔倾斜，远离所述过气孔的所述第二滞板朝背离所述过气孔的方向倾斜。
[0020]根据本技术的一些实施例，靠近所述过滤组件的所述冷却单元内，所述第二滞板设置于靠近所述相邻所述冷却单元内的所述过气孔的一侧，并且所述第二滞板沿朝向所述过气孔的方向倾斜。
[0021]本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0022]下面结合附图和实施例对本技术做进一步的说明，其中：
[0023]图1为本技术镀膜尾气处理装置一个实施例结构示意图；
[0024]图2为本技术镀膜尾气处理装置一个实施例的爆炸图；
[0025]图3为图1中加热组件与冷却组件的结构示意图；
[0026]图4为图2中加热组件与冷却组件的结构示意图；
[0027]图5为图2中过滤组件隐藏滤芯后的结构示意图。
[0028]附图标记：
[0029]处理室100，处理腔110，尾气入口120，尾气出口130，蒸汽入口140；加热组件200，加热管210，第一滞板220；冷却组件300，冷却单元310，冷却板311，过气孔3111，第二滞板312，冷却管320，冷却段321，安装段322，第三滞板330；过滤组件400，滤芯410，支架420，内层壁421，外层壁422，进气口423；供水组件500，水瓶510，阀门520。
具体实施方式
[0030]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0031]在本技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0032]在本技术的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。
[0033]本技术的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属
技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本技术中的具体含义。
[0034]本技术的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.镀膜尾气处理装置，用于处理镀膜尾气，其特征在于，包括：处理室，内部具有处理腔，所述处理室设置有尾气入口、尾气出口与蒸汽入口，所述尾气入口、所述尾气出口、所述蒸汽入口均与所述处理腔连通；加热组件，包括加热管与多个第一滞板，所述第一滞板与所述加热管连接，多个所述第一滞板间隔分布；冷却组件，包括多个冷却单元，多个所述冷却单元层叠设置，相邻的所述冷却单元之间具有间隙，所述冷却单元包括冷却板与多个第二滞板，所述第二滞板连接于所述冷却板的侧部，所述冷却板开设有过气孔，相邻所述冷却板的所述过气孔相互错开；过滤组件，包括滤芯，所述尾气出口朝向所述滤芯；其中，所述加热组件、所述冷却组件与所述过滤组件均容置于所述处理腔内，且沿所述尾气的流动路径依次排列，所述蒸汽入口靠近所述加热组件设置。2.根据权利要求1所述的镀膜尾气处理装置，其特征在于，所述加热组件、所述冷却组件与所述过滤组件从下到上依次设排列，所述尾气入口位于所述处理室的下部，且开设于所述处理室的侧部，所述尾气入口朝向所述加热组件。3.根据权利要求2所述的镀膜尾气处理装置，其特征在于，所述加热管盘旋设置，并沿竖直方向分布有多层，每层所述加热管均连接有所述第一滞板，且所述第一滞板分布于每层所述加热管沿竖直方向的两侧。4.根据权利要求3所述的镀膜尾气处理装置，其特征在于，沿朝向所述尾气入口的方向，所述第一滞板逐渐向上倾斜。5.根据权利要求2所述的镀膜尾气处理装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：余仲，周湘源，
申请(专利权)人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司，
类型：新型
国别省市：