本发明专利技术涉及提供能够使需要进行真空措施的零件减少，而进行对准动作及层叠动作的真空层叠装置及层叠体的制造方法。本发明专利技术的解决手段的真空层叠装置(100)具备：运送板(1)，保持工件(W)；对准机构(30)，固定支撑运送板(1)，并且进行运送板(1)所保持的工件(W)的对位；层叠机构(50)，于真空下将已对位的工件(W)层叠；及运送机构(40)，于工件(W)保持于运送板(1)的状态下，固定支撑运送板(1)，并且将工件(W)从对准机构(30)运送至层叠机构(50)；运送板(1)可与对准机构(30)及运送机构(40)进行拆装，且将工件(W)带电固定于一侧，另一侧与运送机构(40)磁性固定。据此，能够使需要进行真空措施的零件减少，而进行对准动作及层叠动作。而进行对准动作及层叠动作。而进行对准动作及层叠动作。
【技术实现步骤摘要】
真空层叠装置及层叠体的制造方法
[0001]本专利技术特别是关于具有可拆装的运送板的真空层叠装置及层叠体的制造方法。
技术介绍
[0002]真空层叠装置为将构成电子零件的多片工件(workpiece)进行层叠的装置，具有对准(alignment)机构及层叠机构。此对准机构在通过层叠机构将工件进行层叠之前，通过进行各工件的对位而能够抑制要形成的层叠体的各工件彼此的偏移。另外，层叠机构要进行工件的层叠动作时，通过在真空下进行层叠而防止空气混入工件的层间。于如此的真空下，为了使工件吸附固定，乃采用例如带电固定等负压抽吸以外的机构。
[0003]在此说明，于专利文献1记载有：一种真空层叠装置，于真空室内具备带电机构及对准机构，使一方的工件带电固定于带电机构，并将另一方的工件载置于对准机构，于设成真空下的真空室(vacuumchamber)内进行对准动作或层叠动作。
[0004][现有技术文献][0005][专利文献][0006]专利文献1：日本特开2013
‑
167712号公报。
技术实现思路
[0007][专利技术所欲解决的课题][0008]然而，于专利文献1中，因对于由多数个零件构成的带电机构及对准机构施予用以维持密封性或滑动性等真空措施，会有造成增加成本之忧。
[0009]本专利技术鉴于上述课题而完成，目的在于提供一种真空层叠装置及层叠体的制造方法，该真空层叠装置及层叠体的制造方法能够使需要进行真空措施的零件减少，而进行对准动作及层叠动作。
[0010][用以解决课题的手段][0011]为了解决上述课题，本专利技术的真空层叠装置为将多片工件依次层叠的真空层叠装置，具备：运送板，保持前述工件；对准机构，固定支撑前述运送板，并且进行前述运送板所保持的前述工件的对位；层叠机构，于真空下将已对位的前述工件层叠于层叠台上；及运送机构，移动于前述对准机构与前述层叠机构之间，于前述工件保持于前述运送板的状态下，固定支撑前述运送板，并且将前述工件从前述对准机构运送至前述层叠机构；前述运送板可与前述对准机构及前述运送机构各自拆装，且将前述工件带电固定于一侧，另一侧与前述运送机构磁性固定。
[0012]另外，上述真空层叠装置中，也可设成前述运送板由磁性体构成，并且前述运送板的一侧设有绝缘体。
[0013]另外，上述真空层叠装置中，也可设成前述运送板将与具有粘着性的前述工件的第一面为相反之侧的非粘着性的第二面予以带电固定。
[0014]另外，上述真空层叠装置中，也可设成前述对准机构具备对准台及设于前述对准
台上的设置区块，前述运送板以使前述工件与前述对准台呈非接触状态的方式载置于前述设置区块。
[0015]另外，上述真空层叠装置中，也可设成使前述运送机构抵接于前述层叠机构而形成密闭空间，并且于设成真空下的前述密闭空间内，通过前述运送机构使前述运送板移动而将前述工件层叠。
[0016]另外，上述真空层叠装置也可设成更具备运送板回收机构，前述运送板回收机构可对前述运送板进行除电而将前述运送板自前述工件剥离，并将前述运送板回收。
[0017]为了解决上述课题，本专利技术的层叠体的制造方法为将多片工件依次层叠的层叠体的制造方法，包含：将前述工件带电固定于前述运送板的一侧的步骤；于将前述运送板固定支撑于对准台的状态下，进行被前述运送板带电固定的前述工件的对位的步骤；在将前述工件带电固定于前述运送板的一侧的状态下，将前述运送板的另一侧磁性固定，并将已对位的前述工件自前述对准台运送至层叠台的步骤；及于真空下，将已对位的前述工件层叠于前述层叠台上的步骤。
[0018]另外，上述层叠体的制造方法中，也可设成前述运送工件的步骤使前述运送板磁性固定于具有上壁及侧壁的真空室内，且通过使前述真空室抵接于前述层叠台而形成密闭空间。
[0019][专利技术功效][0020]依据本专利技术，能够提供一种真空层叠装置及层叠体的制造方法，该真空层叠装置及层叠体的制造方法能够使需要施加真空措施的零件减少，而进行对准动作及层叠动作。
附图说明
[0021]图1为显示本专利技术的实施方式的真空层叠装置的俯视示意图。
[0022]图2为于XZ平面截断图1所示的真空层叠装置而得的剖视示意图。
[0023]图3为说明从工件的层叠工序中的带电动作至对准动作为止的剖视示意图，分别为图3的(a)部分显示带电动作，图3的(b)部分显示保护层的剥离及翻转单元所为的翻转动作，图3的(c)部分显示翻转单元所为的运送动作，图3的(d)部分显示对准动作。
[0024]图4为说明工件的层叠工序中的运送单元所为的运送动作的剖视示意图，分别为图4的(a)部分显示运送准备状态，图4的(b)部分显示运送板的磁性固定状态，图4的(c)部分显示与对准台的分离状态，图4的(d)部分显示对层叠台的抵接状态。
[0025]图5为说明工件的层叠工序中的真空下的层叠动作的剖视示意图，分别为图5的(a)部分显示抽真空状态，图5的(b)部分显示层叠状态，图5的(c)部分显示剥离活塞的伸展状态，图5的(d)部分显示运送板的磁性固定解除状态，图5的(e)部分显示剥离活塞的收缩状态。
[0026]图6为说明工件的层叠工序中的运送板的回收动作的剖视示意图的(a)部分～(c)部分、(e)部分及俯视示意图的(d)部分，分别为图6的(a)部分显示大气开放状态，图6的(b)部分显示运送单元与层叠台的分离状态，图6的(c)部分、图6的(d)部分显示运送板的回收动作，图6的(e)部分显示运送板的回收动作结束状态。
[0027]附图标记说明
[0028]1:运送板
[0029]1a:运送板1的一侧
[0030]1b:运送板1的另一侧
[0031]10:翻转单元(翻转机构)
[0032]11:翻转台
[0033]20:带电单元(带电机构)
[0034]21:荷电粒子照射部
[0035]30:对准单元(对准机构)
[0036]31:对准台
[0037]32:设置区块
[0038]33:XYθ轴电动致动器
[0039]34:对准摄像单元
[0040]40:运送单元(运送机构)
[0041]41:真空室
[0042]41s:周壁
[0043]41t:上壁
[0044]42:运送板夹头
[0045]42h:贯穿孔
[0046]42m:磁力部
[0047]43:升降活塞
[0048]44:导轴部
[0049]45:剥离活塞
[0050]50:层叠单元
[0051]51:层叠台
[0052]60:运送板回收单元(运送板回收机构)
[0053]61:把持机构
[0054]62:除电机构
[0055]100:真空层叠装置
[0056]A:带电/翻转位置
[0057]a:粘着层
[0058]B:本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种真空层叠装置，将多片工件依次层叠，该真空层叠装置具备：运送板，保持前述工件；对准机构，固定支撑前述运送板，并且进行前述运送板所保持的前述工件的对位；层叠机构，于真空下将已对位的前述工件层叠于层叠台上；及运送机构，移动于前述对准机构与前述层叠机构之间，于前述工件保持于前述运送板的状态下，固定支撑前述运送板，并且将前述工件从前述对准机构运送至前述层叠机构；前述运送板可与前述对准机构及前述运送机构各自拆装，且将前述工件带电固定于一侧，另一侧与前述运送机构磁性固定。2.根据权利要求1所述的真空层叠装置，其中，前述运送板由磁性体构成，并且前述运送板的一侧设有绝缘体。3.根据权利要求1所述的真空层叠装置，其中，前述运送板将与具有粘着性的前述工件的第一面为相反之侧的非粘着性的第二面予以带电固定。4.根据权利要求1所述的真空层叠装置，其中，前述对准机构具备对准台及设于前述对准台上的设置区块，前述运送板以使前述工件与前述对准台呈非接触状态的方式载置于前述设置区块。5.根据权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：泽田智世，森隆博，
申请(专利权)人：日机装株式会社，
类型：发明
国别省市：
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