一种镀膜载具以及PECVD设备制造技术

本申请涉及镀膜技术领域，具体而言，涉及一种镀膜载具以及PECVD设备。镀膜载具包括载板，载板具有承载面和与承载面相对的连接面，承载面用于承载镀膜元件；载板还设置有第一连接件；支撑架，支撑架与载板的连接面抵持，且支撑架和连接面围成空腔；支撑架设置有第二连接件，第一连接件与第二连接件滑动连接；以及加热装置，加热装置安装于空腔内。本申请通过在载板与支撑架之间形成用于安装加热装置的空腔，可以直接对载板进行加热以实现热量的快速传递至载板以及保持载板的温度在预设温度范围内，有利于提高镀膜质量。支撑架的第二连接件与载板的第一连接件滑动连接，便于更换加热装置。装置。装置。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜载具以及PECVD设备


[0001]本申请涉及镀膜
，具体而言，涉及一种镀膜载具以及PECVD设备。

技术介绍

[0002]现有的PECVD等镀膜设备的加热装置一般是采用在镀膜腔室内安装加热源，通过热辐射的方式将热量传递至镀膜载具上；上述方式普遍存在镀膜载具升温较慢而导致设备耗能大以及生产效率低等问题；同时，在镀膜过程中，由于镀膜腔室内的气体常存在热对流的情况使得镀膜载具受热不稳定，从而导致电池片出现性能波动大等问题。

技术实现思路

[0003]本申请实施例的目的在于提供一种镀膜载具以及PECVD设备，其旨在改善现有的镀膜载具受热不稳定以及升温较慢等问题。
[0004]本申请第一方面提供一种镀膜载具，包括：
[0005]载板，载板具有承载面和与承载面相对的连接面，承载面用于承载镀膜元件；载板还设置有第一连接件。
[0006]支撑架，支撑架与载板的连接面抵持，且支撑架和连接面围成空腔；支撑架设置有第二连接件，第一连接件与第二连接件滑动连接。
[0007]以及
[0008]加热装置，加热装置安装于空腔内。
[0009]本申请通过在载板与支撑架之间形成用于安装加热装置的空腔，使得加热装置可以直接对载板进行加热，以实现热量的快速传递至载板以及保持载板的温度在预设温度范围内，有利于提高镀膜质量、减少耗能以及提高生产效率。支撑架的第二连接件与载板的第一连接件滑动连接，使得第一连接件和第二连接件相互滑动后可以暴露出空腔，从而便于更换加热装置。
[0010]在本申请第一方面的一些实施例中，上述第一连接件包括滑槽；第二连接件包括相互连接的第一连接部和第二连接部，第一连接部和第二连接部均深入滑槽与第一连接部滑动连接，第一连接部的延伸方向与第二连接部的延伸方向不相互平行。
[0011]滑槽的设置使得载板和支撑架的连接方式为插接方式，提高支撑架对载板的支撑稳定性；第一连接部和第二连接部的上述设置方式，使得支撑架分别在沿第一连接部和第二连接部的延伸方向均对载板具有支撑作用，进一步提高支撑架对载板的支撑稳定性。
[0012]在本申请第一方面的一些实施例中，上述滑槽设置于载板的沿垂直于承载面指向连接面的方向的相对两端。
[0013]滑槽设置于载板的沿垂直于承载面指向连接面的方向的相对两端，使得支撑架对载板的相对端部进行支撑，进一步提高支撑架对载板的支撑稳定性。
[0014]在本申请第一方面的一些实施例中，上述空腔的数量为至少两个，且每个空腔内均安装有加热装置。
[0015]上述设置方式使得多个加热装置同时对载板进行加热，进一步提高载板的升温速度并保持载板的温度在预设温度范围内。
[0016]在本申请第一方面的一些实施例中，上述承载面上设置有凹槽。载板还包括至少两个间隔分布于凹槽内的支撑部，每个支撑部远离凹槽底面的表面为凸面；凹槽的侧壁以及每个支撑部均用于抵持镀膜元件。
[0017]支撑部远离凹槽底面的表面为凸面，可以有效减小支撑部与镀膜元件的接触面积以减少支撑部与镀膜元件之间的摩擦区域，从而提高镀膜元件的产品质量；同时，凹槽的侧壁和每个支撑部均用于抵持镀膜元件使得镀膜元件被限位于凹槽内，避免镀膜元件与凹槽之间产生相对位移而导致的镀膜元件表面划伤的情况。
[0018]在本申请第一方面的一些实施例中，至少两个上述支撑部分别与凹槽的相对的两个侧壁连接。
[0019]至少两个支撑部分别与凹槽的相对的两个侧壁连接，使得支撑部与凹槽之间可以形成用于抵持和限位镀膜元件的卡角，进一步避免镀膜元件与凹槽之间产生相对位移而导致的镀膜元件表面划伤的情况。
[0020]在本申请第一方面的一些实施例中，上述凹槽的侧壁的表面为圆弧面；当凹槽的侧壁以及每个支撑部均抵持镀膜元件时，沿垂直于承载面的方向，凹槽的侧壁的投影未遮盖镀膜元件的投影。
[0021]上述设置方式使得镀膜元件与凹槽的侧壁之间接触面积减小，并保证镀膜元件可以方便地放置于载板上或从载板上卸取；同时，在镀膜过程中，镀膜元件的边缘部分不被凹槽的侧壁遮盖以保证镀膜元件的边缘部分被有效镀膜，有利于提高镀膜质量。
[0022]在本申请第一方面的一些实施例中，上述支撑部的远离凹槽底面的表面为圆弧面。
[0023]支撑部的远离凹槽底面的表面为圆弧面，可以使得支撑部与镀膜元件为点接触方式抵触，减少支撑部与镀膜元件之间的摩擦区域，从而有利于提高镀膜元件的产品质量。
[0024]在本申请第一方面的一些实施例中，上述加热装置包括加热电阻丝。
[0025]本申请第二方面提供一种PECVD设备，PECVD设备包括上述第一方面提供的镀膜载具。
[0026]本申请的PECVD设备中的镀膜载具可以实现快速升温，并且在镀膜过程中，保持载板具有稳定的温度，从而有利于提高镀膜质量。镀膜载具中的支撑架的第二连接件与载板的第一连接件滑动连接，使得第一连接件和第二连接件相互滑动后可以暴露出空腔，从而便于更换加热装置，有利于提高生产效率。
附图说明
[0027]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0028]图1示出了本申请实施例1提供的镀膜载具的结构示意图。
[0029]图2示出了本申请实施例1提供的镀膜载具中载板的第一视角的结构示意图。
[0030]图3示出了本申请实施例1提供的镀膜载具中载板的第二视角的结构示意图。
[0031]图4示出了本申请实施例1提供的镀膜载具中支撑架的结构示意图。
[0032]图5示出了本申请实施例1提供的镀膜载具中加热装置的结构示意图。
[0033]图6示出了本申请实施例3提供的PECVD设备的结构示意图。
[0034]图标：100
‑
镀膜载具；110
‑
载板；111
‑
承载面；112
‑
连接面；113
‑
第一连接件；1131
‑
滑槽；114
‑
安装槽；115
‑
凹槽；1151
‑
侧壁；116
‑
支撑部；120
‑
支撑架；121
‑
第二连接件；1211
‑
第一连接部；1212
‑
第二连接部；130
‑
加热装置；140
‑
空腔；150
‑
导电模块；200
‑
PECVD设备；210
‑
镀膜腔室。
具体实施方式
[0035]为使本申请实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜载具，其特征在于，包括：载板，所述载板具有承载面和与所述承载面相对的连接面，所述承载面用于承载镀膜元件；所述载板还设置有第一连接件；支撑架，所述支撑架与所述载板的所述连接面抵持，且所述支撑架和所述连接面围成空腔；所述支撑架设置有第二连接件，所述第一连接件与所述第二连接件滑动连接；以及加热装置，所述加热装置安装于所述空腔内。2.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述第一连接件包括滑槽；所述第二连接件包括相互连接的第一连接部和第二连接部；所述第一连接部和所述第二连接部均伸入所述滑槽与所述第一连接件滑动连接，所述第一连接部的延伸方向与所述第二连接部的延伸方向不相互平行。3.根据权利要求2所述的镀膜载具，其特征在于，所述滑槽设置于所述载板的沿垂直于所述承载面指向所述连接面的方向的相对两端。4.根据权利要求1所述的镀膜载具，其特征在于，所述空腔的数量为至少两个，且每个所述空腔内均安装有所述加热装置。5.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐磊，薛建锋，王金，魏科胜，
申请(专利权)人：通威太阳能安徽有限公司，
类型：新型
国别省市：