对基板作业机制造技术

一种对基板作业机，对基板进行预定的作业，对基板作业机具备：等离子体单元，产生等离子体；存储装置，存储有条件数据；以及控制装置，基于条件数据来调整由等离子体单元向基板照射的等离子体的照射量。照射的等离子体的照射量。照射的等离子体的照射量。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】对基板作业机


[0001]本公开涉及一种对基板进行预定的作业的对基板作业机。

技术介绍

[0002]以往，关于上述对基板作业机，提出了各种技术。
[0003]例如，下述专利文献1所记载的技术是一种元件安装装置，至少包括基板供给单元、焊料层形成单元以及固定单元，构成预定的电气元件向基板安装的安装线，该基板供给单元供给具有由导电性金属构成的预定的布线图案的基板，该焊料层形成单元在所述布线图案的预定的区域形成焊料层，该固定单元为了通过软钎焊将所述电气元件安装于所述基板而利用所述焊料层将电气元件相对于所述基板进行固定，该元件安装装置的特征在于，至少在所述布线图案的形成有焊料层的区域组装有在大气压下照射等离子体的等离子体照射装置。
[0004]根据该结构，在构成至少进行焊料层向基板的形成、电气元件向基板的固定以及软钎焊的元件安装线的元件安装装置中，由于组装有在大气压下照射等离子体的等离子体照射装置，因此能够在对基板进行一系列的处理的一个阶段中向布线图案的形成有焊料层的区域照射等离子体而进行表面改性。通过该等离子体照射，能够实现焊料被粘接面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种对基板作业机，对基板进行预定的作业，所述对基板作业机具备：等离子体单元，产生等离子体；存储装置，存储有条件数据；以及控制装置，基于所述条件数据来调整由所述等离子体单元向所述基板照射的等离子体的照射量。2.一种对基板作业机，对基板进行预定的作业，所述对基板作业机具备：等离子体单元，产生等离子体；通信电路，设为能够与存储有条件数据的外部设备进行通信；以及控制装置，基于所述条件数据来调整由所述等离子体单元向所述基板照射的等离子体的照射量。3.根据权利要求1或2所述的对基板作业机，其中，所述控制装置根据对所述基板的等离子体照射时间来调整所述照射量。4.根据权利要求3所述的对基板作业机，其中，所述对基板作业机具备搬运所述基板的搬运装置，所述控制装置根据由所述搬运装置搬运所述基板的速度而改变所述照射时间。5.根据权利要求3所述的对基板作业机，其中，所述对基板作业机具备使所述等离子体单元移动的移动装置，所述控制装置根据通过所述移动装置使所述等离子体单元移动的速度而改变所述照射时间。6.根据权利要求1或2所述的对基板作业机，其中，所述对基板作业机具备用于向所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：土谷祐介，太田桂资，神藤高广，
申请(专利权)人：株式会社富士，
类型：发明
国别省市：