对基板作业机制造技术资料下载

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下载对基板作业机的技术资料

文档序号：32708902

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一种对基板作业机，对基板进行预定的作业，对基板作业机具备：等离子体单元，产生等离子体；存储装置，存储有条件数据；以及控制装置，基于条件数据来调整由等离子体单元向基板照射的等离子体的照射量。照射的等离子体的照射量。照射的等离子体的照射量。该专利属于株式会社富士所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社富士授权不得商用。

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