一种硅晶片进出花篮自动调节输送装置制造方法及图纸

技术编号:32693294 阅读:15 留言:0更新日期:2022-03-17 12:05
本实用新型专利技术涉及一种硅晶片进出花篮自动调节输送装置。本实用新型专利技术包括底板,所述底板上设有:传输机构,所述传输机构包括:两个移动轨道、两个伸缩板、两个传输皮带,所述移动轨道滑动连接于底板,所述伸缩板滑动连接于移动轨道;传输驱动机构,所述传输驱动机构驱动所述传输皮带在伸缩板上传动;X轴驱动机构,所述X轴驱动机构驱动所述伸缩板在移动轨道沿X轴滑动;Y轴驱动机构,所述Y轴驱动机构驱动所述两个移动轨道沿Y轴相对或相向滑动。本实用新型专利技术改变传统单一轨道智能运输单一的硅片尺寸,应用本实用新型专利技术的装置能调节宽度并适用目前市场不同的硅片尺寸,能够达到最佳传输宽度,具有实现高产能、适用范围广等优点。适用范围广等优点。适用范围广等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种硅晶片进出花篮自动调节输送装置


[0001]本技术涉及硅片制备
,尤其是指一种硅晶片进出花篮自动调节输送装置。

技术介绍

[0002]硅片是太阳能电池片的载体,硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低,太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换,而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内,在850

900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器,通过三氯氧磷和硅片进行反应,得到磷原子。经过一定时间,磷原子从四周进入硅片的表面层,并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散,形成了N型半导体和P型半导体的交界面,也就是PN结。
[0003]在硅片加工过程中,需要将硅片输送至工作位置,加工完成后再下料。在现有技术中,单个运输装置只能针对花篮中单一的硅片尺寸进行运输,无法对不同尺寸的硅片运输,适应性较低,影响产能。

技术实现思路

[0004]为此,本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术中单个运输装置只能针对花篮中单一的硅片尺寸进行运输,无法对不同尺寸的硅片运输,适应性较低,影响产能的问题。
[0005]为解决上述技术问题,本技术提供了一种硅晶片进出花篮自动调节输送装置,包括底板,所述底板上设有:传输机构,所述传输机构包括:两个移动轨道、两个伸缩板、两个传输皮带,所述移动轨道滑动连接于底板,所述伸缩板滑动连接于移动轨道;传输驱动机构,所述传输驱动机构驱动所述传输皮带在伸缩板上传动;X轴驱动机构,所述X轴驱动机构驱动所述伸缩板在移动轨道沿X轴滑动;Y轴驱动机构,所述Y轴驱动机构驱动所述两个移动轨道沿Y轴相对或相向滑动。
[0006]在本技术的一个实施例中,所述传输机构还包括连接于底板上的第一滑轨、与第一滑轨配合的第一滑块,所述移动轨道通过第一滑块滑动连接于第一滑轨上。
[0007]在本技术的一个实施例中,所述X轴驱动机构包括:连接于移动轨道上的第二滑轨、与第二滑轨配合的第二滑块、气缸、支座、与气缸输出端连接的连接座,所述气缸通过支座安装于移动轨道,所述连接座分别连接伸缩板与第二滑块。
[0008]在本技术的一个实施例中,所述Y轴驱动机构包括调宽手轮、螺杆、螺母、第一轴承座,所述螺杆在Y轴方向上通过螺母连接移动轨道,所述螺杆通过第一轴承座安装于底板,所述调宽手轮与螺杆连接。
[0009]在本技术的一个实施例中,所述Y轴驱动机构的数量为两个,两个Y轴驱动机
构中的两个调宽手轮位于同侧。
[0010]在本技术的一个实施例中,所述传输驱动机构包括:驱动电机、驱动轴、联轴器、第二轴承座,所述驱动电机的输出端通过联轴器与驱动轴连接,所述驱动轴通过第二轴承座安装于底板,所述驱动轴穿过两个移动轨道并与传输皮带驱动连接。
[0011]在本技术的一个实施例中,所述移动轨道内设有第三轴承座,所述第三轴承座内安装有转动导套,所述转动导套套接于驱动轴,所述传输皮带通过转动导套与驱动轴连接。
[0012]在本技术的一个实施例中,所述驱动轴为六角传动杆。
[0013]在本技术的一个实施例中,所述传输机构还包括导板、支撑座,所述支撑座安装于底板,所述导板连接于支撑座,所述导板上端面与伸缩板上端面相衔接。
[0014]在本技术的一个实施例中,所述移动轨道的一端设有第一支座,所述伸缩板的一端设有第二支座,所述导板、第一支座、连接座、第二支座均设有与传输皮带相连接的导向滚轮。
[0015]本技术的上述技术方案相比现有技术具有以下优点:
[0016]本技术所述的一种硅晶片进出花篮自动调节输送装置,适用与光伏行业管镀膜自动化、制绒上下料、刻蚀等,由传统的整个轨道传输改为两个移动轨道并可调节宽度。该装置改变传统单一轨道智能运输单一的硅片尺寸,应用本技术的装置能调节宽度并适用目前市场不同的硅片尺寸,能够达到最佳传输宽度,具有实现高产能、适用范围广等优点。
附图说明
[0017]为了使本技术的内容更容易被清楚的理解,下面根据本技术的具体实施例并结合附图,对本技术作进一步详细的说明,其中
[0018]图1是本技术自动调节输送装置第一视角结构示意图。
[0019]图2是本技术自动调节输送装置第二视角结构示意图。
[0020]图3是本技术自动调节输送装置第三视角结构示意图。
[0021]图4是本技术自动调节输送装置第四视角部分结构示意图。
[0022]说明书附图标记说明:1、底板;2、传输机构;21、移动轨道;211、第三轴承座;212、第一支座;22、伸缩板;221、第二支座;23、传输皮带;24、第一滑轨;25、第一滑块;3、传输驱动机构;31、驱动电机;32、驱动轴;33、联轴器;34、第二轴承座;35、转动导套;36、导板;37、支撑座;4、X轴驱动机构;41、第二滑轨;42、第二滑块;43、气缸;44、支座;45、连接座;5、Y轴驱动机构;51、调宽手轮;52、螺杆;53、螺母;54、第一轴承座;6、导向滚轮。
具体实施方式
[0023]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施,但所举实施例不作为对本技术的限定。
[0024]参照图1至图4所示,本技术的一种硅晶片进出花篮自动调节输送装置,包括底板1,在水平面上,以硅片传输方向为X轴,与X轴相垂直方向为Y轴,所述底板1上设有:
[0025]传输机构2,所述传输机构2包括:两个移动轨道21、两个伸缩板22、两个传输皮带
23,所述移动轨道21滑动连接于底板1,所述伸缩板22滑动连接于移动轨道21,伸缩板22可伸入花篮中;
[0026]传输驱动机构3,所述传输驱动机构3驱动所述传输皮带23在伸缩板22上传动,硅片置于传输皮带23上进行传输;
[0027]X轴驱动机构4,所述X轴驱动机构4驱动所述伸缩板22在移动轨道21沿X轴滑动;
[0028]Y轴驱动机构5,所述Y轴驱动机构5驱动所述两个移动轨道21沿Y轴相对或相向滑动,以调节两个移动轨道21之间的传输宽度。
[0029]具体地,所述传输机构2还包括连接于底板1上的第一滑轨24、与第一滑轨24配合的第一滑块25,所述移动轨道21通过第一滑块25滑动连接于第一滑轨24上。通过上述结构设置,方便移动轨道21在底板1上沿Y轴顺畅地滑动。
[0030]具体地,所述X轴驱动机构4包括:连接于移动轨道21上的第二滑轨41、与第二滑轨41配合的第二滑块42、气缸43、支座44、与气缸43输出端连接的连接座45,所述气缸43通过支座44安装于移动轨道21,所述连接座45分别连接伸缩板22与第二滑块本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅晶片进出花篮自动调节输送装置,其特征在于,包括底板,所述底板上设有:传输机构,所述传输机构包括:两个移动轨道、两个伸缩板、两个传输皮带,所述移动轨道滑动连接于底板,所述伸缩板滑动连接于移动轨道;传输驱动机构,所述传输驱动机构驱动所述传输皮带在伸缩板上传动;X轴驱动机构,所述X轴驱动机构驱动所述伸缩板在移动轨道沿X轴滑动;Y轴驱动机构,所述Y轴驱动机构驱动所述两个移动轨道沿Y轴相对或相向滑动。2.根据权利要求1所述的一种硅晶片进出花篮自动调节输送装置,其特征在于,所述传输机构还包括连接于底板上的第一滑轨、与第一滑轨配合的第一滑块,所述移动轨道通过第一滑块滑动连接于第一滑轨上。3.根据权利要求1所述的一种硅晶片进出花篮自动调节输送装置,其特征在于,所述X轴驱动机构包括:连接于移动轨道上的第二滑轨、与第二滑轨配合的第二滑块、气缸、支座、与气缸输出端连接的连接座,所述气缸通过支座安装于移动轨道,所述连接座分别连接伸缩板与第二滑块。4.根据权利要求1所述的一种硅晶片进出花篮自动调节输送装置,其特征在于,所述Y轴驱动机构包括调宽手轮、螺杆、螺母、第一轴承座,所述螺杆在Y轴方向上通过螺母连接移动轨道,所述螺杆通过第一轴承座安装于底板,所述调宽手轮与螺杆连接。5.根据权利要求4所述的一种硅晶片...

【专利技术属性】
技术研发人员:吴廷斌张学强张建伟罗银兵陈笃林
申请(专利权)人:罗博特科智能科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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