一种第三代半导体检测用自动翻转装置制造方法及图纸

技术编号:32685482 阅读:19 留言:0更新日期:2022-03-17 11:46
本实用新型专利技术公开了一种第三代半导体检测用自动翻转装置,包括、机架,机架的一端设置有主动轴和用于驱动主动轴旋转的驱动电机;机架另一端外侧固定设置有调节气缸,调节气缸的伸缩端与滑动设置于所述机架底板上的移动台固定连接,移动台的截面为L形其水平部与机架的底板滑动配合,移动台的竖直部上可转动的设置有与主动轴轴线相重合的从动轴;主动轴和从动轴相对的一端分别固定设置有夹紧装置,各夹紧装置包括分别与所述主动轴或所述从动轴的端部固定连接的连接盘,各连接盘的外侧对称的设置有两个夹紧气缸,夹紧气缸的伸缩端延伸至所述连接盘的内部并分别设置有夹紧块。本实用新型专利技术调节方便快捷,适用性高,利于提高检测效率。利于提高检测效率。利于提高检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种第三代半导体检测用自动翻转装置


[0001]本技术涉及半导体检测
,尤其涉及一种第三代半导体检测用自动翻转装置。

技术介绍

[0002]二十一世纪以来,以氮化镓(GaN)和碳化硅(SiC)、氧化锌(ZnO)、金刚石为四大代表的第三代半导体材料开始初露头角。第三代半导体材料可以实现更好的电子浓度和运动控制,更适合于制作高温、高频、抗辐射及大功率电子器件,在光电子和微电子领域具有重要的应用价值。
[0003]为了保证半导体的出厂质量,在生产过程中需要对其进行全方位检测,因此需要在检测时对半导体进行翻转,然而现阶段由于生产的不同批次的半导体其尺寸、长度规格均存在一些差异,现有的检测用翻转装置无法进行快速调节,影响检测作业的工作效率。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种第三代半导体检测用自动翻转装置,解决上述
技术介绍
中提到的技术问题。
[0005]为解决上述技术问题,本技术采用如下技术方案:
[0006]本技术一种第三代半导体检测用自动翻转装置,包括截面为U字形的机架,所述机架的一端可转动的设置有主动轴和用于驱动所述主动轴旋转的驱动电机;所述机架的另一端的外侧固定设置有水平的调节气缸,所述调节气缸的伸缩端贯穿所述机架的侧板与滑动设置于所述机架底板上的移动台固定连接,所述移动台的截面为L形其水平部与所述机架的底板滑动配合,所述移动台的竖直部上可转动的设置有与所述主动轴轴线相重合的从动轴;所述主动轴和所述从动轴相对的一端分别固定设置有用于夹持半导体的夹紧装置,各所述夹紧装置包括分别与所述主动轴或所述从动轴的端部固定连接的连接盘,各所述连接盘的外侧对称的设置有两个夹紧气缸,各所述夹紧气缸沿所述连接盘的径向设置,所述夹紧气缸的伸缩端延伸至所述连接盘的内部并分别设置有夹紧块。
[0007]进一步的,所述驱动电机的驱动轴延伸至所述机架的外侧并且端部设置有主动齿轮,所述主动轴远离所述连接盘的一端延伸至所述机架的外侧并设置有与所述主动齿轮相适配的从动齿轮。
[0008]进一步的,所述机架的底板上对称的设置有两道滑轨,所述移动台的底部对称的设置有两个分别与两道所述滑轨相适配的滑块。
[0009]与现有技术相比,本技术的有益技术效果:
[0010]本技术在使用时,将待检测的半导体两端分别放置在两个连接盘内,各个夹紧气缸伸长通过相对设置的夹紧块实现对半导体的稳定夹持,之后驱动电机驱动主动轴旋转,从而实现半导体在检测过程中的自动翻转。另外,本技术的从动轴安装在可移动调节的移动台上,在夹装半导体前根据待检测的半导体的长度规格确定调节气缸的伸缩距离
将移动台移动到相应位置即可,调节方便快捷,适用性高,利于提高检测效率。
附图说明
[0011]下面结合附图说明对本技术作进一步说明。
[0012]图1为本技术结构示意图;
[0013]图2为夹紧装置结构示意图;
[0014]附图标记说明:1、机架;2、主动轴;3、驱动电机;4、调节气缸;5、移动台;6、滑轨;7、滑块;8、从动轴;9、连接盘;10、夹紧气缸;11、夹紧块;12、主动齿轮;13、从动齿轮。
具体实施方式
[0015]如图1

图2所示,一种第三代半导体检测用自动翻转装置,包括截面为U字形的机架1,所述机架1的一端可转动的安装有主动轴2和用于驱动所述主动轴2旋转的驱动电机3。
[0016]所述机架1的另一端的外侧固定安装有水平的调节气缸4,所述调节气缸4的伸缩端贯穿所述机架1的侧板与滑动设置于所述机架1的底板上的移动台5固定连接。所述移动台5的截面为L形其水平部与所述机架1的底板滑动配合,具体的,所述机架1的底板上对称的安装有两道滑轨6,所述移动台5的底部对称的固定安装有两个分别与两道所述滑轨6相适配的滑块7。
[0017]所述移动台5的竖直部上可转动的安装有与所述主动轴2的轴线相重合的从动轴8,所述主动轴2和所述从动轴8相对的一端分别固定设置有用于夹持半导体的夹紧装置。各所述夹紧装置包括分别与所述主动轴2或所述从动轴8的端部固定连接的连接盘9,各所述连接盘9的外侧对称的安装有两个夹紧气缸10,各所述夹紧气缸10沿所述连接盘9的径向设置,所述夹紧气缸10的伸缩端延伸至所述连接盘9的内部并分别固定安装有夹紧块11,各所述夹紧块11上开设有V形槽。
[0018]在本实施例中,所述驱动电机3的驱动轴延伸至所述机架1的外侧并且端部安装有主动齿轮12,所述主动轴2远离所述连接盘9的一端延伸至所述机架1的外侧并安装有与所述主动齿轮12相适配的从动齿轮13,驱动电机通过所述从动齿轮13和所述主动齿轮12的传动作用实现对所述主动轴2的驱动。
[0019]本技术在使用时,将待检测的半导体两端分别放置在两个连接盘内,各个夹紧气缸伸长通过相对设置的夹紧块实现对半导体的稳定夹持,之后驱动电机驱动主动轴旋转,从而实现半导体在检测过程中的自动翻转。另外,本技术的从动轴安装在可移动调节的移动台上,在夹装半导体前根据待检测的半导体的长度规格确定调节气缸的伸缩距离将移动台移动到相应位置即可,调节方便快捷,适用性高,利于提高检测效率。
[0020]以上所述的实施例仅是对本技术的优选方式进行描述,并非对本技术的范围进行限定,在不脱离本技术设计精神的前提下,本领域普通技术人员对本技术的技术方案做出的各种变形和改进,均应落入本技术权利要求书确定的保护范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种第三代半导体检测用自动翻转装置,其特征在于:包括截面为U字形的机架,所述机架的一端可转动的设置有主动轴和用于驱动所述主动轴旋转的驱动电机;所述机架的另一端的外侧固定设置有水平的调节气缸,所述调节气缸的伸缩端贯穿所述机架的侧板与滑动设置于所述机架底板上的移动台固定连接,所述移动台的截面为L形其水平部与所述机架的底板滑动配合,所述移动台的竖直部上可转动的设置有与所述主动轴轴线相重合的从动轴;所述主动轴和所述从动轴相对的一端分别固定设置有用于夹持半导体的夹紧装置,各所述夹紧装置包括分别与所述主动轴或所述从动轴的端部固定连接的连接盘,各所...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭志辉张科张天懿许杰杜航张昆
申请(专利权)人:北京国基科航第三代半导体检测技术有限公司
类型:新型
国别省市:

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